一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构的制作方法
1.本发明涉及晶圆解键合设备技术领域，尤其涉及一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构。
背景技术：
2.晶圆解键合设备是利用负压作用实现对晶圆的解键合操作，晶圆平面需要与负压吸盘平面保持绝对水平，现有的负压吸盘的水平调校技术方案有螺丝柱调平方式、中心球体调平方式等，螺丝调平方式收到螺纹精度影响难以实现绝对水平，精度较低；中心球体调平方式存在连接板受热形变问题，寿命短不耐用。
3.现有专利号为(cn216354125u)的发明提出了一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，其装置用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，在连接板的边角加装相互叠套的中空调平螺丝、调平螺母和连接螺丝，解决了加热板受力变形问题，具有操作简单高效、寿命长等优点，但是其装置在调节时候无法保证四个吸盘底端位于同一平面内，而且其装置仅仅使用手动调节，存在误差的可能极大，针对上述问题，本发明提出了一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构来方便人们使用。
技术实现要素：
4.本发明提出的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，解决了目前市场上现有设备无法保证多个吸盘底端处于同一平行的问题，且使用时不够方便。
5.为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，包括安装板，所述安装板的下端固定设置有横板，所述横板的下端固定设置有连接筒，所述连接筒的下端固定设置有套筒，所述套筒的内壁固定设置有固定板，所述套筒的上端内壁固定设置有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁固定设置有从动齿轮，所述螺纹杆的外壁滑动套设有螺纹滑套，所述螺纹滑套的一侧固定设置有连接块，所述连接块的一侧固定设置有移动杆，所述固定板的内部开设有限位孔，所述移动杆的下端固定设置有固定座。
6.所述固定座的下端固定设置有吸盘连接板，所述吸盘连接板的两侧均固定设置有限位杆，所述套筒的内壁开设有限位槽，所述套筒的两侧外壁均固定设置有竖板，所述竖板的两侧开设有导向槽，所述导向槽的内部滑动设置有导向板，所述横板的下端固定设置有支撑柱，所述支撑柱的下端外壁固定设置有固定套，所述固定套的两侧均固定设置有红外线设备。
7.优选的，所述安装板的内部开设有安装孔。
8.优选的，所述套筒的一侧设置有转动杆，所述转动杆靠近从动齿轮的一端外壁固定设置有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮啮合。
9.优选的，所述转动杆远离从动齿轮的一端固定设置有转动块。
10.优选的，所述限位杆靠近限位槽的一侧通至限位槽的内部，所述限位杆的形状为
圆柱。
11.优选的，所述导向板的形状为矩形，所述导向板的下端面与吸盘本体的上端固定连接，所述导向板的外壁固定设置有标记线。
12.优选的，所述支撑柱的数量为两个。
13.优选的，所述套筒的数量为四个。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
15.1、本发明中，通过设置有可以手动调节吸盘本体的结构，当吸盘底端不平衡时，转动转动块，打动螺纹杆转动，带动吸盘本体进行上下移动，方便对吸盘本体的位置进行调节，从而更方便工作。
16.2、本发明中，通过设置有对吸盘本体进行限位的结构，在吸盘本体上下移动过程中可能会出现晃动的情况发生，该装置设置的限位杆以及限位槽，在吸盘本体移动时，限位杆位于限位槽内滑动，可以进行首次限位，不会出现晃动的情况发生。
17.3、本发明中，通过设置有二次限位结构，位于套筒外设置有二次限位结构，而且设置有红外线设备，可以根据红外线输出端照射的标记线位置，来判断吸盘底座是否位于同一平面内，使得后期调节的更加准确，使用相对方便。
附图说明
18.图1为本发明提出的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构的整体结构示意图；
19.图2为本发明提出的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构的局部剖视图；
20.图3为本发明提出的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构的局部剖视图；
21.图4为本发明提出的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构的二次限位结构视图；
22.图5为本发明提出的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构局部结构视图。
23.图中：1、安装板；2、安装孔；3、横板；4、连接筒；5、套筒；6、固定板；7、螺纹杆；8、从动齿轮；9、转动杆；10、主动齿轮；11、螺纹滑套；12、连接块；13、移动杆；14、限位孔；15、固定座；16、吸盘连接板；17、限位杆；18、限位槽；19、吸盘本体；20、竖板；21、导向板；22、导向槽；23、标记线；24、支撑柱；25、固定套；26、红外线设备；27、转动块。
具体实施方式
24.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
25.参考图1-5，一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，包括安装板1，安装板1用来开设安装孔2，安装板1的下端固定设置有横板3，横板3用来设置连接筒4，横板3的下端固定设置有连接筒4，连接筒4的下端固定设置有套筒5，套筒5用来设置螺纹杆7，套筒5的内壁固定设置有固定板6，固定板6用来开设限位孔14，套筒5的上端内壁固定设置
有螺纹杆7，螺纹杆7的外壁固定设置有从动齿轮8，螺纹杆7的外壁滑动套设有螺纹滑套11，螺纹滑套11用来带动移动杆13进行移动，螺纹滑套11的一侧固定设置有连接块12，连接块12的一侧固定设置有移动杆13，固定板6的内部开设有限位孔14，限位孔14用来对移动杆13进行限位，移动杆13的下端固定设置有固定座15。
26.固定座15的下端固定设置有吸盘连接板16，吸盘连接板16用来连接吸盘本体19，吸盘连接板16的两侧均固定设置有限位杆17，套筒5的内壁开设有限位槽18，套筒5的两侧外壁均固定设置有竖板20，竖板20的两侧开设有导向槽22，导向槽22的内部滑动设置有导向板21，横板3的下端固定设置有支撑柱24，支撑柱24的下端外壁固定设置有固定套25，固定套25的两侧均固定设置有红外线设备26。
27.其中，安装板1的内部开设有安装孔2，安装孔2方便安装板1与连接的地方进行稳固的连接。
28.其中，套筒5的一侧设置有转动杆9，转动杆9用来设置主动齿轮10，转动杆9靠近从动齿轮8的一端外壁固定设置有主动齿轮10，主动齿轮10用来带动从动齿轮8转动，主动齿轮10与从动齿轮8啮合。
29.其中，转动杆9远离从动齿轮8的一端固定设置有转动块27，转动块27方便使用者转动转动杆9。
30.其中，限位杆17靠近限位槽18的一侧通至限位槽18的内部，限位杆17的形状为圆柱。
31.其中，导向板21的形状为矩形，导向板21的下端面与吸盘本体19的上端固定连接，导向板21的外壁固定设置有标记线23，标记线23配合红外线设备26，方便操作者检测红外线照射的位置是否一致。
32.其中，支撑柱24的数量为两个。
33.其中，套筒5的数量为四个，四个套筒5可以更好的对物体进行吸附，使用更加方便。
34.工作原理：当选用对吸盘进行手动调节时，转动转动块27，带动转动杆9转动，从而带动主动齿轮10转动，从而带动从动齿轮8转动，从而带动螺纹杆7转动，从而带动螺纹滑套11移动，从而带动移动杆13移动，从而带动吸盘连接板16移动，从而带动限位杆17位于套筒5内壁设置的限位槽18内部进行移动，限位杆17可以从内部对吸盘连接板16进行首次限位，启动红外线设备26，红外线照射点，位于导向板21的标记线23上，当吸盘连接板16移动时，吸盘本体19带动导向板21位于竖板20的内部滑动，通过红外线照射在标记线23上的位置，来检测多个吸盘本体19底端是否位于同一个平面，当红外线照射点不一样时，说明有吸盘本体19位置出现误差，手动调节后，当照射线均位于同一个位置时，吸盘底端平行，从而进行工作。
35.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
36.以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
技术特征：
1.一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，包括安装板(1)，其特征在于，所述安装板(1)的下端固定设置有横板(3)，所述横板(3)的下端固定设置有连接筒(4)，所述连接筒(4)的下端固定设置有套筒(5)，所述套筒(5)的内壁固定设置有固定板(6)，所述套筒(5)的上端内壁固定设置有螺纹杆(7)，所述螺纹杆(7)的外壁固定设置有从动齿轮(8)，所述螺纹杆(7)的外壁滑动套设有螺纹滑套(11)，所述螺纹滑套(11)的一侧固定设置有连接块(12)，所述连接块(12)的一侧固定设置有移动杆(13)，所述固定板(6)的内部开设有限位孔(14)，所述移动杆(13)的下端固定设置有固定座(15)。所述固定座(15)的下端固定设置有吸盘连接板(16)，所述吸盘连接板(16)的两侧均固定设置有限位杆(17)，所述套筒(5)的内壁开设有限位槽(18)，所述套筒(5)的两侧外壁均固定设置有竖板(20)，所述竖板(20)的两侧开设有导向槽(22)，所述导向槽(22)的内部滑动设置有导向板(21)，所述横板(3)的下端固定设置有支撑柱(24)，所述支撑柱(24)的下端外壁固定设置有固定套(25)，所述固定套(25)的两侧均固定设置有红外线设备(26)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，其特征在于，所述安装板(1)的内部开设有安装孔(2)。3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，其特征在于，所述套筒(5)的一侧设置有转动杆(9)，所述转动杆(9)靠近从动齿轮(8)的一端外壁固定设置有主动齿轮(10)，所述主动齿轮(10)与从动齿轮(8)啮合。4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，其特征在于，所述转动杆(9)远离从动齿轮(8)的一端固定设置有转动块(27)。5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，其特征在于，所述限位杆(17)靠近限位槽(18)的一侧通至限位槽(18)的内部，所述限位杆(17)的形状为圆柱。6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，其特征在于，所述导向板(21)的形状为矩形，所述导向板(21)的下端面与吸盘本体(19)的上端固定连接，所述导向板(21)的外壁固定设置有标记线(23)。7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，其特征在于，所述支撑柱(24)的数量为两个。8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，其特征在于，所述套筒(5)的数量为四个。
技术总结
本发明属于吸盘模组防变形领域，尤其是一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，针对目前市场上的现有吸盘组，使用易变形，不方便调节而且无法保证吸盘底端完全平行的情况，现提出如下方案：一种用于晶圆解键合设备上吸盘模组的防变形调平机构，包括安装板，所述安装板的下端固定设置有横板，所述横板的下端固定设置有连接筒，所述连接筒的下端固定设置有套筒，所述套筒的内壁固定设置有固定板。本发明中，通过设置有双层导向装置，在吸盘工作时可以很好的保证不会因为长时间工作导致晃动，变形的情况发生，而且设置有红外线设备，以及标记线，当单个吸盘变形时，可以根据红外线照射点来进行手动调节。红外线照射点来进行手动调节。红外线照射点来进行手动调节。
