喷墨印刷装置、双极性元件印刷方法和显示装置制造方法与流程
1.本公开涉及喷墨印刷装置、用于印刷双极性元件的方法和用于制造显示装置的方法。
背景技术：
2.随着多媒体技术的发展，显示装置的重要性已不断增加。响应于此，已经使用了各种类型的显示装置，诸如有机发光显示器(oled)、液晶显示器(lcd)等。
3.显示装置是用于显示图像的装置，并且包括显示面板，诸如有机发光显示面板或液晶显示面板。发光显示面板可以包括发光元件，例如发光二极管(led)，并且发光二极管的示例包括使用有机材料作为荧光材料的有机发光二极管(oled)和使用无机材料作为荧光材料的无机发光二极管。
技术实现要素：
4.[技术问题]
[0005]
本公开的方面提供了喷墨印刷装置，其在排放的油墨的每单位液滴中包括一致数量的双极性元件。
[0006]
本公开的方面还提供了使用喷墨印刷装置的能够保持分散在单位液滴中的双极性元件的数量恒定的用于印刷双极性元件的方法、以及用于制造包括发光元件的显示装置的方法。
[0007]
应注意的是，本公开的各方面不限于此，并且根据下面的描述，本文未提及的其它方面将对本领域普通技术人员显而易见。
[0008]
[技术方案]
[0009]
根据本公开的实施方式，喷墨印刷装置包括：台；喷墨头，定位在台上方并且包括多个喷嘴，包括双极性元件的油墨通过喷嘴排放，双极性元件具有掺杂成具有部分不同的极性的区域；以及致动器，设置在喷墨头中，并且调节从喷嘴排放的油墨的液滴；以及至少一个感测单元，设置在喷墨头中，并且测量通过喷嘴排放的双极性元件的数量。
[0010]
喷墨头可以包括基础部分、排放部分和内管，在排放部分中，多个喷嘴设置在基础部分中，内管被供应油墨，以及油墨可以被供应到内管并在内管中流动，并且通过喷嘴排放。
[0011]
感测单元可以包括第一感测部分和第二感测部分，其中，第一感测部分测量根据双极性元件的移动在油墨中产生的磁场，第二感测部分将根据通过由第一感测部分测量的磁场计算的双极性元件的数量的信号传递到致动器。
[0012]
致动器可以接收根据由感测单元测量的双极性元件的数量的信号，并调节从喷嘴排放的油墨的液滴。
[0013]
感测单元可以设置在向其供应油墨的内管的入口处。
[0014]
内管的入口在设置感测单元的部分处可以具有比在其它部分处更小的直径。
[0015]
喷墨印刷装置还可以包括设置在喷墨头上并调节油墨在其中流动的内管的直径的子致动器，其中，子致动器可以增加在内管中流动的油墨的流动速度。
[0016]
感测单元可以设置在内管的入口和喷嘴之间。
[0017]
感测单元可以设置在排放部分中。
[0018]
感测单元还可以包括利用光照射双极性元件的光发射部分。
[0019]
感测单元的基础部分可以由透明材料制成。
[0020]
根据本公开的实施方式，用于印刷双极性元件的方法，包括：准备其中分散有多个双极性元件的油墨，并将油墨供应到喷墨头；在从喷墨头排放油墨的同时测量所排放的油墨中的双极性元件的数量；以及当油墨中的双极性元件的数量超过参考设定值时，调节供应到喷墨头的所排放的油墨的液滴。
[0021]
可以通过设置在喷墨头中的至少一个感测单元来执行双极性元件的数量的测量，以及感测单元可以测量根据双极性元件的移动而在油墨中产生的磁场。
[0022]
调节所排放的油墨的液滴可以包括：由感测单元感测双极性元件的数量的变化；以及根据双极性元件的数量的变化来调节每单位工艺排放的油墨的液滴。
[0023]
可以将从喷墨头排放的油墨喷射到目标衬底上，以及用于印刷双极性元件的方法还可以包括将双极性元件安置在目标衬底上。
[0024]
可以在目标衬底上限定多个区域，以及可以根据双极性元件的数量的变化，调节油墨的液滴，使得喷射到多个区域中的双极性元件的数量是一致的。
[0025]
在排放油墨的同时测量所排放的油墨中的双极性元件的数量可以是使用喷墨印刷装置来执行的，以及喷墨印刷装置可以包括：台；喷墨头，定位在台上方并包括多个喷嘴，包括双极性元件的油墨通过喷嘴排放，双极性元件具有掺杂成具有部分不同的极性的区域；致动器，设置在喷墨头中，并且调节从喷嘴排放的油墨的液滴；以及至少一个感测单元，设置在喷墨头中，并且测量通过喷嘴排放的双极性元件的数量。
[0026]
致动器可以根据由感测单元测量的双极性元件的数量的变化来调节从喷嘴排放的油墨的液滴。
[0027]
根据本公开的实施方式，用于制造显示装置的方法包括：准备目标衬底，目标衬底包括彼此划分开的多个区域，并且具有形成在多个区域中的第一电极和第二电极；将油墨喷射到多个区域中，同时根据分散在油墨中的发光元件的数量控制油墨的液滴；以及将发光元件安置在第一电极和第二电极上。
[0028]
喷射油墨可以包括：测量所喷射的油墨中的发光元件的数量；以及当所喷射的油墨中的发光元件的数量可以超过参考设定值时，通过调节喷射到多个区域中的油墨的液滴来控制发光元件的数量。
[0029]
发光元件可以包括掺杂成具有第一极性的第一半导体层、掺杂成具有不同于第一极性的第二极性的第二半导体层、以及设置在第一半导体层和第二半导体层之间的有源层。
[0030]
测量所喷射的油墨中的发光元件的数量可以包括：测量根据发光元件的移动而在油墨中产生的磁场。
[0031]
其它实施方式的细节包括在详细描述和附图中。
[0032]
[有益效果]
[0033]
根据实施方式的喷墨印刷装置包括能够测量排放的油墨中的双极性元件的数量的感测单元。感测单元可以通过各种方法测量在喷墨头中流动的油墨的每单位体积中包括的双极性元件的数量。此外，感测单元可以在排放油墨的同时感测双极性元件的数量的变化，并且可以将感测到的变化反馈回以调节从喷嘴排放的油墨的液滴，从而控制喷射到目标衬底上的双极性元件的数量。
[0034]
因此，在根据实施方式的使用喷墨印刷装置的用于印刷双极性元件的方法中，可以保持排放到单位空间的双极性元件的数量是一致的，并且在包括使用喷墨印刷装置制造的发光元件的显示装置中，可以改善每个像素的发光可靠性。
[0035]
根据实施方式的效果不受以上例示的内容的限制，并且更多的各种效果包括在本公开中。
附图说明
[0036]
图1是根据实施方式的喷墨印刷装置的立体图。
[0037]
图2是根据实施方式的印刷头单元的示意性仰视图。
[0038]
图3是示出根据实施方式的印刷头单元的操作的示意图。
[0039]
图4是示出根据实施方式的油墨循环单元和印刷头单元的示意图。
[0040]
图5是根据实施方式的喷墨头的示意性剖视图。
[0041]
图6是图5的部分a的放大图。
[0042]
图7是示出根据实施方式将从喷墨头排放的油墨喷射到目标衬底上的示意图。
[0043]
图8是示出在喷墨头中流动的双极性元件的数量变化的示意图。
[0044]
图9是示出根据实施方式从喷墨头排放的油墨的量变化的示意图。
[0045]
图10是根据实施方式的探针装置的示意性平面图。
[0046]
图11和图12是示出根据实施方式的探针单元的操作的示意图。
[0047]
图13是示出根据实施方式通过探针装置在目标衬底上产生电场的示意图。
[0048]
图14是示出根据实施方式的用于印刷双极性元件的方法的流程图。
[0049]
图15至图22是示出根据实施方式的用于使用喷墨印刷装置印刷双极性元件的方法的剖视图。
[0050]
图23和图24是根据其它实施方式的喷墨头的剖视图。
[0051]
图25是示出根据另一实施方式的感测单元检测双极性元件的数量的剖视图。
[0052]
图26是示出根据另一实施方式的感测单元检测双极性元件的数量的剖视图。
[0053]
图27和图28是示出根据其它实施方式的喷墨头的部分的剖视图。
[0054]
图29是示出根据另一实施方式的感测单元检测双极性元件的数量的剖视图。
[0055]
图30是根据实施方式的发光元件的示意图。
[0056]
图31是根据实施方式的显示装置的示意性平面图。
[0057]
图32是示出根据实施方式的显示装置的一个像素的平面图。
[0058]
图33是沿着图32的线xa-xa'、线xb-xb'和线xc-xc'截取的剖视图。
[0059]
图34至图36是示出根据实施方式的用于制造显示装置的方法的一些工艺的剖视图。
[0060]
图37和图38是根据其它实施方式的发光元件的示意图。
具体实施方式
[0061]
在下文中，将参考在其中示出了本发明的优选实施方式的附图来更全面地描述本发明。然而，本发明可以以不同的形式来实施，并且不应被解释为限于本文中阐述的实施方式。相反，提供这些实施方式使得本公开将是彻底且完整的，并且将向本领域的技术人员充分传达本发明的范围。
[0062]
还将理解的是，当层被称为在另一层或衬底“上”时，其可以直接在另一层或衬底上，或者也可以存在中间的层。在整个说明书中，相同的附图标记表示相同的部件。
[0063]
将理解的是，尽管本文中可以使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但是这些元件不应受到这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件与另一元件区分开。例如，在不背离本发明的教导的情况下，下面讨论的第一元件可以被称为第二元件。类似地，第二元件也可以被称为第一元件。
[0064]
在下文中，将参考附图描述实施方式。
[0065]
图1是根据实施方式的喷墨印刷装置的示意性平面图。图2是根据实施方式的印刷头单元的示意性仰视图。图3是示出根据实施方式的印刷头单元的操作的示意图。图4是示出根据实施方式的油墨循环单元和印刷头单元的示意图。图3示出了当从前视图观察时的根据实施方式的印刷头单元100和设置在台sta上的探针装置700的形状。
[0066]
参考图1至图4，根据实施方式的喷墨印刷装置1000包括印刷头单元100，该印刷头单元100包括多个喷墨头300。喷墨印刷装置1000还可以包括台sta、油墨循环单元500、探针装置700和基础框架600。
[0067]
在图1中，限定了第一方向dr1、第二方向dr2和第三方向dr3。第一方向dr1和第二方向dr2是设置在相同的平面上且彼此垂直的方向，并且第三方向dr3是与第一方向dr1和第二方向dr2中的每个垂直的方向。可以理解，第一方向dr1在附图中表示横向方向，第二方向dr2在附图中表示纵向方向，并且第三方向dr3在附图中表示向上或向下方向。
[0068]
喷墨印刷装置1000可以使用印刷头单元100将预定的油墨90喷射到目标衬底sub上。可以通过探针装置700在其上喷射油墨90的目标衬底sub上产生电场，并且可以在目标衬底sub上对准包括在油墨90中的诸如双极性元件的颗粒。
[0069]
目标衬底sub可以设置在探针装置700上，探针装置700可以在目标衬底sub上形成电场，并且电场可以被传递到喷射到目标衬底sub上的油墨90。包括在油墨90中的诸如双极性元件95的颗粒可以具有其在一个方向上延伸的形状，并且可以通过电场被对准成使得其延伸的方向指向一个方向。
[0070]
根据实施方式的喷墨印刷装置1000可以包括喷墨头300和设置在喷墨头300中的感测单元400(参见图5)。喷墨头300可以将包括双极性元件95的油墨90喷射、排放或印刷在目标衬底sub上，并且感测单元400可以检测从喷墨头300印刷或排放的油墨90中的双极性元件95的数量。喷墨印刷装置1000可以感测所排放的油墨90中的双极性元件95的数量的变化，并且可以将感测到的变化反馈回喷墨头300，以调节从喷墨头300排放的液滴，从而使在单位空间中排放的双极性元件95的数量保持一致。在下文中，将参考附图详细描述喷墨印刷装置1000。
[0071]
台sta可以提供在其中设置探针装置700的区域。喷墨印刷装置1000包括在第二方向dr2上延伸的第一轨rl1和第二轨rl2，并且台sta设置在第一轨rl1和第二轨rl2上。台sta
可以通过单独的移动构件在第一轨rl1和第二轨rl2上在第二方向dr2上移动。探针装置700可以与台sta一起在第二方向dr2上移动，并且当探针装置700穿过印刷头单元100时，油墨90可以喷射到探针装置700上。然而，本公开不限于此。在附图中已经示出了台sta移动的结构，但是在一些实施方式中，台sta可以是固定的，并且印刷头单元100可以移动。在这种情况下，印刷头单元100可以安装在设置在第一轨rl1和第二轨rl2上的框架上。
[0072]
印刷头单元100可以包括多个喷墨头300，并且可以设置在基础框架600上。印刷头单元100可以使用连接到单独的油墨存储部分的喷墨头300将预定的油墨90喷射到设置在探针装置700上的目标衬底sub上。
[0073]
基础框架600可以包括支承部分610和移动单元630。支承部分610可以包括在第一方向dr1(其是水平方向)上延伸的第一支承部分611、以及连接到第一支承部分611并且在第三方向dr3(其是竖直方向)上延伸的第二支承部分612。第一支承部分611的延伸方向可以与第一方向dr1相同，第一方向dr1是探针装置700的长边方向。印刷头单元100可以设置在安装在第一支承部分611上的移动单元630上。
[0074]
移动单元630可以包括移动部分631和固定部分632，其中移动部分631安装在第一支承部分611上并且可以在一个方向上移动，固定部分632设置在移动部分631的下表面上并且印刷头单元100设置在固定部分632上。移动部分631可以在第一支承部分611上在第一方向dr1上移动，并且印刷头单元100可以固定到固定部分632上并且与移动部分631一起在第一方向dr1上移动。
[0075]
印刷头单元100可以设置在基础框架600上，并且可以通过喷墨头300将从油墨贮存器提供的油墨90喷射到目标衬底sub上。印刷头单元100可以与在基础框架600下方穿过基础框架600的台sta间隔开特定的间隔。印刷头单元100与台sta间隔开的间隔可以通过基础框架600的第二支承部分612的高度来调节。彼此间隔开的印刷头单元100和台sta之间的距离可以在当探针装置700和目标衬底sub设置在台sta上时印刷头单元100与目标衬底sub具有特定间隔的范围内调节，从而可以确保印刷工艺所需的空间。
[0076]
根据实施方式，印刷头单元100可以包括包含多个喷嘴350的喷墨头300。喷墨头300可以设置在印刷头单元100的下表面上。
[0077]
多个喷墨头300可以设置成在一个方向上彼此间隔开，并且可以布置成一行或多行。在附图中已经示出，喷墨头300被布置成两行，并且相应行的喷墨头300被布置成彼此不对准。然而，本公开不限于此，并且喷墨头300可以布置成更多数量的行，并且可以布置成彼此重叠，而非彼此不对准。喷墨头300的形状没有特别限制，但是作为示例，喷墨头300可以具有矩形形状。
[0078]
至少一个喷墨头300(例如，两个喷墨头300)可以形成一个组，以设置成彼此相邻。然而，包括在一个组中的喷墨头300的数量不限于此，并且例如，包括在一个组中的喷墨头300的数量可以是1至5。此外，在附图中已经示出了在印刷头单元100中仅布置有六个喷墨头300，但是这是为了示意性示出印刷头单元100，并且喷墨头300的数量不限于此。
[0079]
设置在印刷头单元100中的喷墨头300可以将油墨90喷射到设置在台sta上的目标衬底sub上。根据实施方式，印刷头单元100可以在第一支承部分611上在一个方向上移动，并且喷墨头300可以在一个方向上移动，以将油墨90喷射到目标衬底sub上。
[0080]
印刷头单元100可以在第一支承部分611沿其延伸的第一方向dr1上移动，并且喷
墨头300可以在沿着第一方向dr1移动的同时将油墨90喷射到目标衬底sub上。
[0081]
在实施方式中，油墨90可以包括溶剂91和包括在溶剂91中的多个双极性元件95。在实施方式中，油墨90可以以溶液或胶体状态提供。例如，溶剂91可以是丙酮、水、醇、甲苯、丙二醇(pg)或丙二醇乙酸甲酯(pgma)、三甘醇单丁基醚(tgbe)、二甘醇单苯基醚(dgpe)、基于酰胺的溶剂、基于二羰基的溶剂、二甘醇二苯甲酸酯、基于三羰基的溶剂、柠檬酸三乙酯、基于邻苯二甲酸酯的溶剂、邻苯二甲酸苄基丁酯、邻苯二甲酸双(2-乙基己基)酯、间苯二甲酸双(2-乙基己基)酯、邻苯二甲酰乙醇酸乙酯等，但不限于此。可以以将其分散在溶剂91中的状态包括多个双极性元件95，并且多个双极性元件95可以被供应到印刷头单元100并从印刷头单元100排放。
[0082]
在一些实施方式中，在第一方向dr1上测量的目标衬底sub的宽度可以大于印刷头单元100的宽度。在这种情况下，印刷头单元100可以在沿着第一方向dr1移动的同时将油墨90喷射到整个目标衬底sub上。此外，当在探针装置700上设置多个目标衬底sub时，印刷头单元100可以在沿着第一方向dr1移动的同时将油墨90喷射到多个目标衬底sub中的每个上。
[0083]
然而，本公开不限于此，并且印刷头单元100可以定位在第一轨rl1和第二轨rl2的外部，并且然后可以在第一方向dr1上移动并且将油墨90喷射到目标衬底sub上。当台sta在第二方向dr2上移动以定位在基础框架600下方时，印刷头单元100可以在第一轨rl1和第二轨rl2之间移动，并通过喷墨头300喷射油墨90。这种喷墨头300的操作不限于此，并且可以被不同地修改，只要其可以实施类似的过程即可。
[0084]
喷墨印刷装置1000还可以包括油墨循环单元500。油墨循环单元500可以向印刷头单元100供应油墨90，并且喷墨头300可以排放所供应的油墨90。油墨90可以在油墨循环单元500和喷墨头300之间循环，并且供应到喷墨头300的油墨90中的一些可以从喷墨头300排放，并且油墨90的剩余部分可以再次供应到油墨循环单元500。
[0085]
油墨循环单元500可以通过第一连接管il1和第二连接管il2连接到喷墨头300。例如，油墨循环单元500可以通过第一连接管il1向喷墨头300供应油墨90，并且可以通过第一阀va1调节所供应的油墨90的流速。此外，可以通过第二连接管il2向油墨循环单元500供应油墨90的在从喷墨头300排放之后剩余的剩余部分。通过第二连接管il2供应到油墨循环单元500的油墨90的流速可以通过第二阀va2调节。当油墨90通过油墨循环单元500循环时，包括在从喷墨头300排放的油墨90中的双极性元件95的数量的偏差可以被最小化。
[0086]
油墨循环单元500可以安装在基础框架600上，但不限于此。油墨循环单元500设置在喷墨印刷装置1000中，但是其位置或形状没有特别限制。例如，油墨循环单元500可以通过单独的装置设置，并且可以不同地设置，只要其连接到喷墨头300即可。
[0087]
在一些实施方式中，油墨循环单元500可以包括第一油墨存储部分510、第二油墨存储部分520、第三油墨存储部分530、压力泵550、压缩器560和流量计580。在油墨循环单元500中，第二油墨存储部分520、压力泵550和第三油墨存储部分530可以连接到喷墨头300，并且可以形成一个油墨循环系统。
[0088]
第一油墨存储部分510可以是在其中准备所制造的油墨90的存储部分。包括溶剂91和双极性元件95的油墨90可以在油墨循环单元500的第一油墨存储部分510中准备好，并且可以被供应到油墨循环系统。
[0089]
第二油墨存储部分520可以连接到第一油墨存储部分510以被供应所准备的油墨90。此外，可以通过第二连接管il12向第二油墨存储部分520供应在从喷墨头300排放之后剩余的油墨90。第二油墨存储部分520可以定位在第三油墨存储部分530和喷墨头300和第一油墨存储部分510之间，以配置油墨循环系统。当第二油墨存储部分520被省略时，过量的油墨90可能被供应到第三油墨存储部分530，使得双极性元件95不能被平稳地分散开。油墨循环单元500可以进一步包括第二油墨存储部分520，以防止过量的油墨90被供应到第三油墨存储部分530。作为示例，第二油墨存储部分520可以用作缓冲存储部分，在其中存储在油墨循环系统中循环的油墨90中的一些。
[0090]
供应到第二油墨存储部分520的油墨90可以经由压力泵550供应到第三油墨存储部分530。压力泵550可以是将动力传递到流体的泵，使得油墨循环系统中的油墨90可以循环。可以通过压力泵550将供应到第二油墨存储部分520的油墨90供应到第三油墨存储部分530。流量计580可以设置在压力泵550和第三油墨存储部分530之间，并且可以测量供应到第三油墨存储部分530的油墨90的流速。压力泵550可以根据由流量计580测量的油墨90的流速来调节供应到第三油墨存储部分530的油墨90的流速。
[0091]
此外，油墨循环单元500还可以包括压缩器560，并且压缩器560可以调节第三油墨存储部分530中的压力。压缩器560可以从第三油墨存储部分530去除气体，使得第三油墨存储部分530的内部分变为真空状态，或者可以将外部惰性气体引入到第三油墨存储部分530中，使得第三油墨存储部分530具有预定压力。然而，本公开不限于此，并且也可以省略油墨循环单元500的压缩器560。
[0092]
第三油墨存储部分530可以通过压力泵550连接到第二油墨存储部分520，以被供应油墨90。此外，第三油墨存储部分530可以通过第一连接管il1将油墨90供应到喷墨头300。在实施方式中，第三油墨存储部分530可以包括搅拌器st，并且搅拌器st可以使双极性元件95在油墨90中分散开。供应到第三油墨存储部分530的油墨90可以随着搅拌器st旋转保持双极性元件95不下沉且被分散开的状态。即，第三油墨存储部分530的搅拌器st可以防止双极性元件95下沉到第三油墨存储部分530的下部分使得通过喷墨头300排放的油墨90中的双极性元件95的数量减小的现象。第三油墨存储部分530可以向喷墨头300供应双极性元件95在其中平稳地分散开的油墨90，并且喷墨头300可以排放包括预定数量或更多数量的双极性元件95的油墨90。
[0093]
同时，在喷墨印刷装置1000中，从喷墨头300排放的油墨90的单位液滴需要是恒定的，并且需要控制分散在单位液滴中的双极性元件95的数量一致。当油墨90通过油墨循环系统从喷墨头300排放时，当油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量不一致时，喷墨印刷装置1000的可靠性可能是有问题的。根据实施方式，喷墨印刷装置1000可以包括设置在喷墨头300中的至少一个感测单元400(参见图5)，并且可以测量从喷墨头300排放的油墨90中的双极性元件95的数量。喷墨印刷装置1000可以感测油墨90中的双极性元件95的数量的变化，并将感测到的变化反馈回喷墨头300，以保持排放到单位空间的双极性元件95的数量是一致的。在下文中，将更详细地描述喷墨头300和感测单元400。
[0094]
图5是根据实施方式的喷墨头的示意性剖视图。
[0095]
参考图5，喷墨头300可以包括多个喷嘴350并通过喷嘴350喷射油墨90。从喷嘴350排放的油墨90可以喷射到设置在台sta或探针装置700上的目标衬底sub上。喷嘴350可以设
置在喷墨头300的底表面上，并且可以沿着喷墨头300沿其延伸的一个方向布置。
[0096]
喷墨头300可以包括基础部分310、内管330和多个喷嘴350。喷墨头300还可以包括排放部分370和致动器390。在一些实施方式中，感测单元400可以设置在喷墨头300中。
[0097]
基础部分310可以构成喷墨头300的主体。基础部分310可以附接到印刷头单元100。基础部分310可以具有其在第一方向dr1和第二方向dr2上延伸的形状，如以上参考图2所描述的那样。然而，本公开不限于此，并且基础部分310也可以具有圆形或多边形形状。
[0098]
排放部分370可以是喷墨头300的基础部分310的在其中设置喷嘴350的部分。在附图中已经示出了设置有连接到基础部分310的排放部分370和与该排放部分370间隔开的多个排放部分370，并且喷嘴350形成在这些排放部分370之间。然而，实质上，排放部分370彼此不间隔开，并且可以是单个一体的构件，并且喷嘴350可以形成为穿过排放部分370的孔的形状。即，多个排放部分370不设置成彼此间隔开，并且可以形成为单个构件。然而，本公开不限于此，并且在一些实施方式中，喷墨头300也可以包括多个单元，所述多个单元包括其中形成有喷嘴350的排放部分370。在这种情况下，多个排放部分370可以设置成彼此间隔开并连接到基础部分310。
[0099]
内管330可以设置在基础部分310中并且连接到印刷头单元100的内部流动路径，并且可以从油墨循环单元500向内管330供应油墨90。可以通过连接到油墨循环单元500的第一连接管il1向印刷头单元100供应油墨90，并且在从喷嘴350排放之后剩余的油墨90可以通过第二连接管il12被供应到油墨循环单元500。可以在与印刷头单元100的内部流动路径连接的内管330的入口331处向喷墨头300的内管330供应油墨90，并且在排放之后剩余的油墨90可以通过内管330的出口333离开到内部流动路径。
[0100]
此外，喷墨头300可以包括设置在内管330中的过滤器f。当沿着内管330流动的油墨90被引入到喷嘴350中时，过滤器f可以防止除了双极性元件95之外的材料被引入到喷嘴350中。因此，可以防止喷嘴350被异物堵塞或防止异物被混入从喷嘴350排放的油墨90中。
[0101]
基础部分310可以具有其在一个方向上延伸的形状，并且内管330可以沿着基础部分310的延伸方向形成。通过印刷头单元100供应的油墨90可以流过内管330，并且然后可以通过喷墨头300的喷嘴350排放。
[0102]
多个喷嘴350可以设置在定位在基础部分310的一个表面(例如，下表面)上的排放部分370处。多个喷嘴350可以彼此间隔开并且沿着基础部分310的延伸方向布置，并且可以穿过基础部分310的排放部分370并且连接到内管330以排放油墨90。尽管在附图中未示出，但是多个喷嘴350可以布置成一行或多行。此外，在附图中已经示出了在喷墨头300中形成四个喷嘴350，但是本公开不限于此。在一些实施方式中，包括在喷墨头300中的喷嘴350的数量可以是128至1800。喷嘴350可以排放沿着内管330引入的油墨90。通过喷嘴350喷射的油墨90的量可以根据施加到每个喷嘴350的电压来调节。在实施方式中，一次从每个喷嘴350排放的油墨90的量可以是1至50pl(微微升)，但不限于此。
[0103]
根据实施方式，喷嘴350可以包括入口351和出口353。入口351可以是直接连接到内管330且沿着内管330流动的油墨90通过其被供应到喷嘴350的部分。出口353可以是连接到入口351且从入口351供应的油墨90通过其从喷嘴350排放的部分。同时，喷嘴350的入口351和出口353可以具有相同的直径，但不限于此。喷嘴350的入口351和出口353的直径可以根据排放部分370的形状而彼此不同。通过包括彼此分开的部分，排放部分370可以根据喷
嘴350的直径而具有不同的形状。
[0104]
通过喷嘴350排放的油墨90可以包括溶剂91和分散在溶剂91中的双极性元件95。根据实施方式，双极性元件95可以具有其在一个方向上延伸的形状。双极性元件95可以随机地分散在油墨90中，沿着内管330流动，并且然后被供应到喷嘴350。由于双极性元件95具有其在一个方向上延伸的形状，因而双极性元件95的取向方向可以是长轴所指向的方向。此外，双极性元件95可以包括具有部分不同的极性的部分。例如，双极性元件95可以包括具有第一极性的第一端和具有第二极性的第二端，并且第一端和第二端可以是双极性元件95在长轴方向上的两端。在一个方向上延伸的双极性元件95的取向方向可以基于第一端所指向的方向来限定。在喷墨头300的内管330和喷嘴350中流动的双极性元件95可以在随机取向方向而不是恒定取向方向上分散开。然而，本公开不限于此，并且双极性元件95可以在它们具有特定取向方向的状态下在内管330和喷嘴350中流动。
[0105]
致动器390可以设置在基础部分310的排放部分370处。致动器390可以设置成围绕喷嘴350。致动器390可以向引入到喷嘴350中的油墨90施加液压，使得油墨90可以通过喷嘴350平稳地排放。致动器390可以具有与排放部分370基本上相同的长度，但不限于此。致动器390可以设置成与喷嘴350对应并围绕喷嘴350，并且可以设置成与其它致动器390间隔开喷嘴350彼此间隔开的间隔。
[0106]
根据实施方式，致动器390可以控制通过喷嘴350排放的油墨90的量。致动器390可以调节施加到油墨90的液压，并且可以在喷墨印刷装置1000的印刷工艺期间调节排放到单位空间的油墨90的液滴。例如，一次从喷嘴350排放的油墨90的量可以是1至50pl(微微升)，并且在一个印刷工艺中单位空间所需的油墨90的排放量可以是50pl或更大。在这种情况下，致动器390可以通过调节液压的强度、频率等在一个印刷工艺中不同地控制从喷嘴350排放的油墨90的液滴。
[0107]
多个双极性元件95分散在从喷墨头300排放的油墨90中。根据双极性元件95的分散程度，一次从喷嘴350排放的油墨90可以包括特定数量的双极性元件95。然而，双极性元件95可以包括具有相对高的比重(specific gravity)的材料，并且在喷墨头300和油墨循环单元500的循环系统中，双极性元件95可以在油墨90中下沉。因此，双极性元件95在油墨90中的分散度无法保持恒定，并且一次排放的油墨90中的双极性元件95的数量可能变化。
[0108]
根据实施方式，喷墨印刷装置1000可以包括能够测量包括在从喷嘴350排放的油墨90中的双极性元件95的数量的感测单元400。感测单元400可以感测每单位时间从喷嘴350排放的双极性元件95的数量或双极性元件95的数量的变化，并且可以将感测到的数量或感测到的变化反馈回致动器390以将反馈信号传递到致动器390。致动器390可以感测从感测单元400接收的反馈信号，以调节每单位时间或在单位工艺期间从喷嘴350排放的油墨90的液滴。喷墨印刷装置1000可以包括感测单元400和致动器390，以便在印刷工艺期间保持从喷墨头300排放的双极性元件95的数量是一致的。
[0109]
感测单元400可以设置在喷墨头300中。感测单元400可以测量从喷嘴350排放的油墨90中的双极性元件95的数量。例如，感测单元400可以设置在喷墨头300的基础部分310处，并且可以设置在内管330的通过其将油墨90引入的入口331处。在一些实施方式中，感测单元400可以设置成将其插入到喷墨头300的基础部分310中的形式。然而，本公开不限于此，并且感测单元400可以设置在喷墨头300内的另外位置处。
[0110]
感测单元400可以包括第一感测部分410和第二感测部分420。第一感测部分410和第二感测部分420可以设置成彼此间隔开，且油墨90在其中流动的空间(例如，内管330的入口331)在它们之间。第一感测部分410和第二感测部分420可以插入到基础部分310中并设置成与内管330的外壁接触，但不限于此。第一感测部分410和第二感测部分420可以设置成与油墨90流过的空间的外壁间隔开。
[0111]
第一感测部分410和第二感测部分420可以测量单位空间或单位体积的油墨90中的双极性元件95的数量。第一感测部分410和第二感测部分420可以产生或接收用于测量油墨90中的双极性元件95的数量的特定信号，并且因此可以测量双极性元件95的数量。
[0112]
用于感测单元400测量双极性元件95的数量的方法可以被不同地修改。作为示例，感测单元400可以通过拍摄在内管330中流动的油墨90的图像来测量包括在单位体积中的双极性元件95的数量。在这种情况下，第一感测部分410可以是用于拍摄油墨90的图像的图像拍摄部分，并且第二感测部分420可以是通过由第一感测部分410拍摄的图像测量每单位体积的双极性元件95的数量的处理部分。
[0113]
图6是图5的部分a的放大图。图7是示出根据实施方式将从喷墨头排放的油墨喷射到目标衬底上的示意图。
[0114]
参考图6和图7，同时参考图5，感测单元400的第一感测部分410可以拍摄在内管330的入口331中流动的油墨90的图像，并将拍摄的图像传递到第二感测部分420。第二感测部分420可以根据图像计算或计数油墨90中的双极性元件95的数量。设置成与内管330的入口331相邻的感测单元400可以通过在入口331处测量的双极性元件95的数量来测量从喷墨头300的喷嘴350排放的油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量。
[0115]
从喷墨头300排放的油墨90被喷射到目标衬底sub上。目标衬底sub可以是提供使用喷墨印刷装置1000在其上印刷双极性元件95的空间的衬底。从喷墨头300排放的油墨90和双极性元件95可以安置在目标衬底sub上。感测单元400可以测量在喷墨头300中流动的油墨90中包括的双极性元件95的数量，并且可以通过从喷嘴350排放的油墨90的液滴来获知安置在目标衬底sub上的双极性元件95的数量。例如，在印刷工艺中从喷墨头300的任何一个喷嘴350排放的油墨90可以定位于在目标衬底sub上分隔开的预定区域中。喷墨印刷装置1000可以通过由感测单元400测量的油墨90中的双极性元件95的数量以及通过致动器390每单位工艺时间从喷嘴350排放的油墨90的液滴来测量定位在目标衬底sub上的预定区域中的双极性元件95的数量。
[0116]
在喷墨头300排放油墨90的印刷工艺期间，油墨90可以在喷墨头300和油墨循环单元500之间连续循环。在该工艺中，具有大比重的双极性元件95可能在油墨90中下沉，并且引入到喷墨头300的内管330中的油墨90的每单位体积或单位流速的双极性元件95的数量可能减少。在这种情况下，当每单位时间或每单位工艺从致动器390排放的油墨90的液滴恒定时，定位在目标衬底sub上的预定区域中的双极性元件95的数量可能减少。
[0117]
图8是示出在喷墨头中流动的双极性元件的数量变化的示意图。
[0118]
参考图8，感测单元400可以感测引入到喷墨头300中的油墨90中的双极性元件95的数量的变化。当由第一感测部分410拍摄图像时，第二感测部分420'可以通过拍摄的图像的变化来感测油墨90中的双极性元件95的数量的变化。当引入到内管330中的油墨90的每单位体积或单位流速的双极性元件95的数量减少时，从喷嘴350排放的双极性元件95的数
量也可能减少。例如，当双极性元件95在油墨循环单元500和喷墨头300之间的循环系统中下沉时，从油墨循环单元500引入到喷墨头300的油墨90中的双极性元件95的数量可能减少。然而，本公开不限于此，并且可能存在致使双极性元件95的数量变化的各种原因。喷墨印刷装置1000可以包括更多数量的感测单元400，以提供关于双极性元件95的数量变化的精确反馈。喷墨印刷装置1000可以通过从感测单元400提供的反馈保持从喷墨头300排放的油墨90中的双极性元件95的数量是一致的。
[0119]
感测单元400可以在喷墨印刷装置1000排放油墨90的同时测量所排放的油墨90中的双极性元件95的数量，并且可以在印刷工艺期间感测油墨90的每单位液滴的双极性元件95的分散度和数量的变化。当双极性元件95的数量的变化超过参考设定值时，感测单元400可以将双极性元件95的数量的变化实时地反馈回致动器390，以将反馈信号传递到致动器390。
[0120]
根据实施方式，在喷墨印刷装置1000中，感测单元400可以感测在印刷工艺期间引入到喷墨头300中的油墨90中的双极性元件95的数量的变化，并且基于感测到的变化将反馈信号传递到致动器390。致动器390可以基于反馈信号调节从喷嘴350排放的油墨90的液滴，使得每单位时间或每单位工艺排放的双极性元件95的数量是恒定的。
[0121]
图9是示出根据实施方式从喷墨头排放的油墨的量变化的示意图。
[0122]
结合图7参考图9，喷墨头300的致动器390可以基于从感测单元400传递的反馈信号来控制每单位时间或每单位工艺排放的油墨90的液滴。例如，当感测单元400感测到双极性元件95的数量变化时，致动器390可以调节传递到油墨90的液压等，以调节一次从喷嘴350排放的油墨90的液滴，或者调节每单位时间从喷嘴350排放的液滴或液滴的数量。因此，即使在印刷工艺期间引入到喷墨头300中的双极性元件95的数量减少，也可以保持在单位工艺期间安置在目标衬底sub上的双极性元件95的数量是一致的。具体地，当目标衬底sub包括被均匀划分的多个区域时，喷墨印刷装置1000可以针对每个区域排放恒定数量的双极性元件95。
[0123]
根据实施方式的喷墨印刷装置1000可以包括感测单元400和致动器390，从而感测双极性元件95的数量的变化，并且可以响应于所感测到的变化来调节每单位工艺从喷嘴350排放的油墨90的液滴。因此，喷墨印刷装置1000可以在预定区域中印刷或喷射一致数量的双极性元件95。如稍后描述的，喷墨印刷装置1000可以使针对包括双极性元件95的装置的每个区域的双极性元件95的数量的误差最小化，并且可以改善产品的可靠性。
[0124]
同时，双极性元件95可以在具有特定取向方向的同时被喷射到目标衬底sub上，并且然后通过由探针装置700产生的电场在具有恒定取向方向的同时被安置在目标衬底sub上。即，双极性元件95可以通过由探针装置700产生的电场在目标衬底sub上在一个方向上对准。在下文中，将参考其它附图来描述探针装置700。
[0125]
图10是根据实施方式的探针装置的示意性平面图。
[0126]
参考图1和图10，探针装置700可以包括子台710、探针支承件730、探针单元750和对准器780。
[0127]
探针装置700可以设置在台sta上，并且可以与台sta一起在第二方向dr2上移动。油墨90可以在其上设置有目标衬底sub的探针装置700随着台sta移动的同时被喷射到探针装置700上。当油墨90被喷射时，探针装置700可以在目标衬底sub上产生电场。然而，本公开
不限于此。在一些实施方式中，台sta不移动，并且印刷头单元100可以在沿着第二方向dr2移动的同时将油墨90喷射到台sta上。
[0128]
子台710可以提供在其中设置目标衬底sub的空间。此外，探针支承件730、探针单元750和对准器780可以设置在子台710上。子台710的形状没有特别限制，并且作为示例，如图中所示，子台710可以呈具有在第一方向dr1和第二方向dr2上延伸的两个侧边的矩形形状。子台710可以包括在第一方向dr1上延伸的长边和在第二方向dr2上延伸的短边。然而，子台710在平面图中的整体形状可以根据目标衬底sub在平面图中的形状而变化。例如，当目标衬底sub在平面图中具有矩形形状时，子台710可以具有如图中所示的矩形形状，并且当目标衬底sub在平面图中具有圆形形状时，子台710在平面图中也可以具有圆形形状。然而，本公开不限于此，并且子台710和目标衬底sub也可以具有不同的形状。
[0129]
至少一个对准器780可以设置在子台710上。对准器780可以设置在子台710的每一侧上，且由多个对准器780围绕的区域可以是在其中设置目标衬底sub的区域。在附图中已经示出，两个对准器780设置成在子台710的每一侧上彼此间隔开，并且总共八个对准器780设置在子台710上。然而，本公开不限于此，并且对准器780的数量、设置等可以根据目标衬底sub的形状或类型而变化。
[0130]
探针支承件730和探针单元750设置在子台710上。探针支承件730可以提供探针单元750在其中设置在子台710上的空间。具体地，探针支承件730可以设置在子台710的至少一侧上，并且可以沿着一个侧部分沿其延伸的方向延伸。作为示例，如图中所示，探针支承件730可以设置成在子台710的左侧部分和右侧部分上在第二方向dr2上延伸。然而，本公开不限于此，并且可以包括更多数量的探针支承件730，并且在一些情况下，探针支承件730也可以设置在子台710的上侧和下侧上。即，探针支承件730的结构可以根据包括在探针装置700中的探针单元750的数量、设置、结构等而变化。
[0131]
探针单元750可以设置在探针支承件730上以在在子台710上准备好的目标衬底sub上形成电场。探针单元750可以如探针支承件730那样在一个方向上(例如，在第二方向dr2上)延伸，并且探针单元750的延伸长度可以涉及整个目标衬底sub。即，探针支承件730和探针单元750的尺寸和形状可以根据目标衬底sub而变化。
[0132]
在实施方式中，探针单元750可以包括设置在探针支承件730上的探针驱动器753、设置在探针驱动器753上并接收电信号的探针夹具751、以及连接到探针夹具751并将电信号传递到目标衬底sub的探针焊盘758。
[0133]
探针驱动器753可以设置在探针支承件730上以移动探针夹具751和探针焊盘758。在实施方式中，探针驱动器753可以在水平方向和竖直方向上移动探针夹具751，例如，在第一方向dr1(其是水平方向)和第三方向dr3(其是竖直方向)上移动探针夹具751。可以通过驱动探针驱动器753将探针焊盘758连接到目标衬底sub或从目标衬底sub断开。在喷墨印刷装置1000的工艺中，在目标衬底sub中形成电场的步骤中，可以驱动探针驱动器753以将探针焊盘758连接到目标衬底sub，并且在其它步骤中，可以再次驱动探针驱动器753以将探针焊盘758从目标衬底sub断开。这将在下面参考其它附图详细描述。
[0134]
探针焊盘758可以通过从探针夹具751传递的电信号在目标衬底sub上形成电场。探针焊盘758可以连接到目标衬底sub，并且可以将电信号传递到目标衬底sub以在目标衬底sub上形成电场。作为示例，探针焊盘758可以与目标衬底sub的电极、电源焊盘等接触，并
且探针夹具751的电信号可以被传递到电极或电源焊盘。传递到目标衬底sub的电信号可以在目标衬底sub上形成电场。
[0135]
然而，本公开不限于此，并且探针焊盘758可以是通过从探针夹具751传递的电信号形成电场的构件。即，当探针焊盘758通过接收电信号形成电场时，探针焊盘758可以不连接到目标衬底sub。
[0136]
探针焊盘758的形状不受特别限制，但在实施方式中，探针焊盘758可以具有其在一个方向上延伸以涉及整个目标衬底sub的形状。
[0137]
探针夹具751可以连接到探针焊盘758，并且可以连接到单独的电压施加装置。探针夹具751可以将从电压施加装置传递的电信号传递到探针焊盘758以在目标衬底sub上形成电场。传递到探针夹具751的电信号可以是用于形成电场的电压，例如交流(ac)电压。
[0138]
探针单元750可以包括多个探针夹具751，并且探针夹具751的数量没有特别限制。在附图中已经示出了设置有三个探针夹具751和三个探针驱动器753，但是探针单元750包括更多个探针夹具751和更多个探针驱动器753，以在目标衬底sub上形成具有更高密度的电场。
[0139]
根据实施方式的探针单元750不限于此。在附图中已经示出，探针单元750设置在探针支承件730(即，探针装置700)上，但是在一些情况下，探针单元750也可以设置为单独的装置。只要探针装置700可以通过包括能够形成电场的装置而在目标衬底sub上形成电场，探针装置700的结构或设置不受限制。
[0140]
图11和图12是示出根据实施方式的探针单元的操作的示意图。
[0141]
如上所述，探针单元750的探针驱动器753可以根据喷墨印刷装置1000的处理步骤来操作。参考图11和图12，在第一状态(在该状态中，在探针装置700中不形成电场)中，探针单元750可以在探针支承件730上设置成与目标衬底sub间隔开。探针单元750的探针驱动器753可以在第二方向dr2(其是水平方向)和第三方向dr3(其是竖直方向)上被驱动，以允许探针焊盘758与目标衬底sub间隔开。
[0142]
接着，在第二状态(在目标衬底sub上形成电场)中，可以驱动探针单元750的探针驱动器753以将探针焊盘758连接到目标衬底sub。探针驱动器753可以在第三方向dr3(其是竖直方向)和第一方向dr1(其是水平方向)上被驱动，使得探针焊盘758可以与目标衬底sub接触。探针单元750的探针夹具751可以将电信号传递到探针焊盘758，并且可以在目标衬底sub上形成电场。
[0143]
同时，在附图中已经示出了一个探针单元750设置在探针装置700的两侧的每个上，并且两个探针单元750同时连接到目标衬底sub。然而，本公开不限于此，并且多个探针单元750也可以被单独驱动。例如，当在子台710上准备好目标衬底sub并且将油墨90喷射到目标衬底sub上时，任意的第一探针单元750可以首先在目标衬底sub上形成电场，并且第二探针单元750可以不与目标衬底sub连接。此后，第一探针单元750可以与目标衬底sub断开，并且第二探针单元750可以连接到目标衬底sub以形成电场。即，可以同时驱动多个探针单元750以形成电场，或者可以顺序地驱动多个探针单元750以顺序地形成电场。
[0144]
图13是示出根据实施方式通过探针装置在目标衬底上产生电场的示意图。
[0145]
参考图13，如上所述，双极性元件95可以包括具有极性的第一端和第二端，并且当双极性元件95被置于预定的电场中时，介电泳力可以被传递到双极性元件95，使得双极性
元件95的位置或取向方向可以变化。喷射到目标衬底sub上的油墨90中的多个双极性元件95可以被安置在目标衬底sub上，同时它们的位置和取向方向通过由探针装置700产生的电场iel而变化。
[0146]
探针装置700可以在目标衬底sub上产生电场iel，并且从喷墨头300的喷嘴350排放的油墨90可以穿过电场iel并被喷射到目标衬底sub上。双极性元件95可以通过电场iel接收介电泳力，直到油墨90到达目标衬底sub，或者甚至直到在油墨90到达目标衬底sub之后。根据实施方式，在从喷墨头300排放双极性元件95之后，双极性元件95的取向方向和位置可以通过由探针装置700产生的电场iel而变化。
[0147]
由探针装置700产生的电场iel可以在平行于目标衬底sub的上表面的方向上形成。喷射到目标衬底sub上的双极性元件95可以通过电场iel取向成使得双极性元件95的长轴沿其延伸的方向指向与目标衬底sub的上表面平行的方向。此外，双极性元件95可以在其具有极性的第一端被取向在特定方向上的状态下被安置在目标衬底sub上。
[0148]
当多个双极性元件95安置在目标衬底sub上时，可以考虑多个双极性元件95的取向方向的偏差或安置在目标衬底sub上的多个双极性元件95的位置的偏差来测量对准的程度。对于安置在目标衬底sub上的双极性元件95，可以测量其它双极性元件95相对于任何一个双极性元件95的取向方向的偏差和安置位置的偏差，并且可以通过这些偏差来测量双极性元件95的对准的程度。双极性元件95的“对准的程度”可以表示在目标衬底sub上对准的双极性元件95的取向方向和安置位置的偏差。例如，可以理解，当双极性元件95的取向方向和安置位置的偏差大时，双极性元件95的对准的程度低，并且当双极性元件95的取向方向和安置位置的偏差小时，双极性元件95的对准的程度高或被改善。
[0149]
同时，探针装置700在目标衬底sub上产生电场iel的时间点没有特别限制。在附图中已经示出，当油墨90从喷嘴350排放并到达目标衬底sub时，探针单元750产生电场iel。因此，双极性元件95可以通过电场iel接收介电泳力，直到它们从喷嘴350排放并到达目标衬底sub。然而，本公开不限于此，并且在一些情况下，探针单元750还可以在将油墨90安置在目标衬底sub上之后产生电场iel。即，探针装置700可以在油墨90从喷墨头300喷射时或在油墨90从喷墨头300喷射之后，产生电场iel。
[0150]
尽管在附图中未示出，但是在一些实施方式中，可以在子台710上进一步设置电场产生构件。电场产生构件可以如探针单元750那样在向上方向(即，第三方向dr3)上或在目标衬底sub上形成电场，这将稍后进行描述。在实施方式中，电场产生构件可以是天线单元、包括多个电极的装置等。
[0151]
同时，尽管在附图中未示出，但是根据实施方式的喷墨印刷装置1000还可以包括热处理单元，在该热处理单元中执行使喷射到目标衬底sub上的油墨90挥发的工艺。热处理单元利用热量辐射喷射到目标衬底sub上的油墨90，使得油墨90的溶剂91可以被挥发和去除，并且双极性元件95可以设置在目标衬底sub上。通过利用热量辐射油墨90来去除溶剂91的工艺可以使用常规的热处理单元来执行。将省略对其的详细描述。
[0152]
在下文中，将详细描述根据实施方式的使用喷墨印刷装置1000印刷双极性元件95的方法。
[0153]
图14是示出根据实施方式的用于印刷双极性元件的方法的流程图。图15至图22是示出根据实施方式的用于使用喷墨印刷装置印刷双极性元件的方法的剖视图。
[0154]
参考图1和图14至图22，根据实施方式的用于对准双极性元件95的方法可以包括设定喷墨印刷装置1000(s100)，通过喷嘴350排放双极性元件95并测量从喷嘴350排放的双极性元件95的数量(s200)，确定双极性元件95的数量是否超过参考设定值(s300)，以及基于确定结果控制每单位工艺从喷嘴350排放的油墨90的液滴(s400)。
[0155]
根据实施方式的用于印刷双极性元件95的方法可以使用以上参考图1描述的喷墨印刷装置1000来执行，并且可以测量从喷墨头300排放的油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量并且可以排放双极性元件95。在本说明书中，双极性元件95的“印刷”可以意指在喷墨印刷装置1000中将双极性元件95排放或喷射到预定对象。例如，印刷双极性元件95可以意指通过喷墨头300的喷嘴350直接排放双极性元件95，或者在双极性元件95分散在油墨90中的状态下排放双极性元件95。本公开不限于此，并且印刷双极性元件95可以意指将双极性元件95或在其中分散有双极性元件95的油墨90喷射到目标衬底sub(参见图7)上，以将双极性元件95或油墨90安置在目标衬底sub上。
[0156]
用于使用喷墨印刷装置1000印刷双极性元件95的方法可以包括测量在喷墨头300中流动的双极性元件95的数量并确定双极性元件95的数量是否超过参考设定值。可以基于确定结果来感测通过喷嘴350排放的双极性元件95的数量的变化，并且可以将所感测到的变化反馈到致动器390。当需要改变每单位工艺从喷嘴350排放的双极性元件95的数量时，致动器390可以基于反馈信号控制每单位工艺从喷嘴350排放的油墨90的液滴。
[0157]
首先，设定喷墨印刷装置1000(s100)。设定喷墨印刷装置1000的步骤(s100)是根据目标工艺调节喷墨印刷装置1000的步骤。为了精确调节，可以对检查衬底执行喷墨印刷测试工艺，并且可以根据测试结果调节喷墨印刷装置1000的设定值。
[0158]
具体地，首先准备检查衬底。检查衬底可以具有与目标衬底sub相同的结构，但是可以使用诸如玻璃衬底的裸衬底作为检查衬底。
[0159]
接着，对检查衬底的上表面执行防水处理。防水处理可以通过氟涂层、等离子体表面处理等执行。
[0160]
接着，使用喷墨印刷装置1000将包括双极性元件95的油墨90喷射到检查衬底的上表面上，并且测量针对每个喷墨头300的液滴。针对每个喷墨头300的液滴的测量可以以使用相机确认在喷射油墨时的液滴的尺寸和施加到衬底的液滴的尺寸的方式执行。当所测量的液滴不同于参考液滴时，调节用于每个相应的喷墨头300的电压，从而可以排放参考液滴。这种检查方法可以重复数次，直到每个喷墨头300排放精确的液滴。
[0161]
这里，根据实施方式，设定喷墨印刷装置1000的步骤可以包括测量喷射到检查衬底上的液滴中的双极性元件95的数量的步骤。包括在喷射到检查衬底上的参考液滴中的双极性元件95的数量可以意指在喷墨印刷装置1000中油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量的参考设定值。基于在喷墨印刷装置1000中设定的参考设定值，可以感测双极性元件95的数量的变化，并且可以控制每单位工艺从喷嘴350排放的油墨90的液滴或者通过喷嘴350排放的双极性元件95的数量。
[0162]
此外，在设定喷墨印刷装置1000的步骤中，当完成参考设定值的设定时，其中分散有多个双极性元件95的油墨90可以在油墨循环单元500中准备好，并且可以将其供应到喷墨头300。油墨循环单元500和喷墨头300可以被保持成使得油墨90中的双极性元件95通过油墨循环系统具有一致的分散度。
[0163]
然而，本公开不限于此，并且可以省略以上描述的喷墨印刷装置的设定的步骤(s100)。
[0164]
接着，如图15中所示，当完成喷墨印刷装置1000的设定时，准备目标衬底sub。在实施方式中，第一电极21和第二电极22可以设置在目标衬底sub上。在附图中已经示出了设置一对电极，但是可以在目标衬底sub上形成更多对电极，并且多个喷墨头300可以以相同的方式将油墨90喷射到每对电极上。
[0165]
接着，如图16和图17中所示，将包括其中分散有双极性元件95的溶剂91的油墨90喷射到目标衬底sub上。油墨90可以从喷墨头300排放，并且可以喷射到设置在目标衬底sub上的第一电极21和第二电极22上。油墨90可以喷射到设置在目标衬底sub上的第一电极21和第二电极22上，并且分散在油墨90中的双极性元件95可以在其在一个方向上延伸的状态下喷射到目标衬底sub上。在一些实施方式中，分散在油墨90中的双极性元件95可以取向成使得它们沿其延伸的一个方向可以指向与目标衬底sub的上表面垂直的方向。此外，在一些实施方式中，相应的双极性元件95可以在它们对准成使得其具有第一极性的第一端或其具有第二极性的第二端具有相同的方向的状态下喷射。然而，本公开不限于此。
[0166]
如图17中所示，可以在第一印刷工艺期间将油墨90排放到限定在目标衬底sub上的第一区域aa1。油墨90可以与双极性元件95一起安置在第一区域aa1中。与从喷墨头300排放的油墨90的液滴和油墨90中每单位液滴的双极性元件95的数量对应的双极性元件95可以被喷射到第一区域aa1中。
[0167]
根据实施方式的喷墨印刷装置1000可以包括感测单元400，以通过喷嘴350排放或喷射油墨90并测量从喷嘴350排放的双极性元件95的数量。感测单元400可以至少测量引入到喷墨头300中的双极性元件95的数量，以测量从喷嘴350排放的油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量。然而，本公开不限于此，并且在一些实施方式中，除了引入到喷墨头300中的双极性元件95之外，感测单元400还可以测量在内管330中流动的双极性元件95的数量以及引入到喷嘴350中的双极性元件95的数量，以便测量在喷墨头300中流动的双极性元件95的数量。与测量的双极性元件95的数量有关的信息可以由每个感测单元400收集，并且可以用于测量通过喷嘴350排放的油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量。
[0168]
感测单元400可以测量从喷嘴350排放的双极性元件95的数量，并且感测双极性元件95的数量的变化。例如，如图18中所示，当通过喷嘴350排放的油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量减少时，感测单元400可以确定双极性元件95的数量的减少量是否超过参考设定值(s300)。可选地，当通过喷嘴350排放的油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量增加时，感测单元400可以确定双极性元件95的数量的增加量是否超过参考设定值(s300)。如上所述，感测单元400可以感测双极性元件95的数量的变化，根据双极性元件95的数量的变化来确定双极性元件95的数量是否超过参考设定值，并将确定结果反馈回致动器390。致动器390可以接收从感测单元400传递的反馈信号，并调节从喷墨头300的喷嘴350排放的油墨90的液滴。
[0169]
例如，如图19和图20中所示，致动器390可以接收从感测单元400提供的双极性元件95的数量的变化，并调节每单位工艺从喷嘴350排放的油墨90的液滴或液滴的数量。当油墨90中的双极性元件95的数量减少时，致动器390可以增加每单位工艺从喷嘴350排放的油墨90的液滴的数量。
[0170]
例如，可以在第二印刷工艺期间，将油墨90排放到限定在目标衬底sub上的第二区域aa2。油墨90可以与双极性元件95一起安置在第二区域aa2中。在油墨90中的双极性元件95的数量减少的情况下，当从喷嘴350排放与第一印刷工艺中相同的油墨90的液滴时，喷射到第二区域aa2中的双极性元件95的数量可能小于喷射到第一区域aa1中的双极性元件95的数量。致动器390可以允许更多的油墨90的液滴被排放，使得即使油墨90中的双极性元件95的数量发生变化，喷射到第一区域aa1和第二区域aa2中的双极性元件95的数量也可以是一致的。在第一印刷工艺和第二印刷工艺中，排放的油墨90的液滴可以彼此不同，但是喷射的双极性元件95的数量可以彼此相同。因此，根据实施方式的喷墨印刷装置1000可以保持每单位工艺排放到目标衬底sub上的双极性元件95的数量是一致的，并且可以改善制造产品的可靠性。
[0171]
同时，如上所述，双极性元件95可以具有其在一个方向上延伸的形状，并且双极性元件95的在延伸方向上的相应端可以具有不同的极性。根据实施方式的用于印刷双极性元件95的方法可以进一步包括安置双极性元件95，使得双极性元件95沿其延伸的方向指向一个方向。
[0172]
参考图21，当其中分散有双极性元件95的油墨90被喷射到目标衬底sub上时，在目标衬底sub上产生电场iel。双极性元件95可以安置在目标衬底sub上，同时通过电场iel在一个方向上取向。在一些实施方式中，通过经由在目标衬底sub上产生的电场iel接收介电泳力，双极性元件95可以设置在第一电极21和第二电极22之间。
[0173]
具体地，使用探针单元750将电信号施加到第一电极21和第二电极22。探针单元750可以连接到设置在目标衬底sub上的预定焊盘，并且可以将电信号施加到连接到焊盘的第一电极21和第二电极22。在实施方式中，电信号可以是ac电压或直流(dc)电压。当向第一电极21和第二电极22施加ac电压时，在第一电极21和第二电极22之间形成电场iel，并且双极性元件95通过电场iel2接收介电泳力。向其传递介电泳力的双极性元件95可以设置在第一电极21和第二电极22上，同时改变其取向方向和位置。
[0174]
如图中所示，在油墨90中在一个方向上延伸的双极性元件95的取向方向可以根据电场iel的方向而变化。根据实施方式，双极性元件95可以对准成使得它们沿其延伸的一个方向指向电场iel所指向的方向。当在目标衬底sub上产生的电场iel与目标衬底sub的上表面平行地产生时，双极性元件95可以对准成使得它们沿其延伸的方向平行于目标衬底sub，并且设置在第一电极21和第二电极22之间。在一些实施方式中，取向双极性元件95的步骤可以是将双极性元件95安置在第一电极21和第二电极22之间的步骤，并且双极性元件95的至少一端可以设置在第一电极21和第二电极22中的至少一个上。然而，本公开不限于此，并且双极性元件95可以在第一电极21和第二电极22之间直接设置在目标衬底sub上。
[0175]
接着，如图22中所示，去除喷射到目标衬底sub上的油墨90的溶剂91。通过热处理装置执行去除溶剂91的步骤，该热处理装置可以利用热量或红外线来辐射目标衬底sub。由于溶剂91从喷射到目标衬底sub上的油墨90中去除，因而可以防止双极性元件95的流动，并且双极性元件95可以被安置在电极21和22上。
[0176]
通过以上描述的方法，根据实施方式的喷墨印刷装置1000可以将双极性元件95印刷在目标衬底sub上。根据实施方式的用于印刷双极性元件95的方法可以保持使用图1的喷墨印刷装置1000每单位工艺排放的双极性元件95的数量是一致的。此外，用于印刷双极性
元件95的方法还可以包括安置双极性元件95，使得双极性元件95在一个方向上取向。喷墨印刷装置1000可以制造包括在一个方向上取向的双极性元件95的装置，并且该装置每单位面积可以包括一致数量的双极性元件95，从而可以改善产品的可靠性。
[0177]
在下文中，将描述喷墨印刷装置1000的各种实施方式。
[0178]
如上所述，喷墨印刷装置1000包括设置在喷墨头300中的感测单元400。感测单元400可以通过在喷墨头300中流动的油墨90的每单位体积的双极性元件95的数量来测量从喷嘴350排放的油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量。根据实施方式，喷墨印刷装置1000的感测单元400可以设置在喷墨头300内的另外位置处，并且可以精确地测量双极性元件95的数量。
[0179]
图23和图24是根据其它实施方式的喷墨头的剖视图。
[0180]
参考图23，感测单元400可以设置在喷墨头300_1的内管330的入口331和喷嘴350之间。感测单元400可以设置在油墨90在其中流动的内管330中，并且可以在供应到内管330的入口331的油墨90通过过滤器f被引入到喷嘴350中之前测量双极性元件95的数量。图23的实施方式与图5的实施方式的不同之处在于感测单元400的设置。在下文中，将省略重叠的描述，并且将主要描述与以上描述的内容不同的内容。
[0181]
感测单元400可以设置在油墨90在被引入到喷嘴350中之前在其中流动的内管330中。感测单元400可以设置成更靠近喷嘴350，并且可以至少测量引入到喷嘴350的入口351中的油墨90中的双极性元件95的数量。此外，在一些实施方式中，除了设置在内管330上的感测单元400之外，喷墨头300_1还可以包括如图5的实施方式中那样的设置在内管330的入口331处的感测单元400。
[0182]
在根据实施方式的喷墨印刷装置1000中，感测单元400可以设置成更靠近从其排放油墨90的喷嘴350，并且可以更精确地测量从喷墨头300_1排放的双极性元件95的数量的变化。
[0183]
类似地，在一些实施方式中，喷墨印刷装置1000的感测单元400可以设置在从其排放油墨90的喷嘴350中。
[0184]
参考图24，喷墨印刷装置1000的感测单元400也可以设置在喷墨头300_2的排放部分370中。感测单元400可以设置在排放部分370中并设置成与各个喷嘴350对应。感测单元400的第一感测部分410和第二感测部分420可以设置成彼此间隔开，且喷嘴350插置在它们之间。第一感测部分410可以测量引入到喷嘴350中的油墨90中的双极性元件95的数量。
[0185]
在一些实施方式中，感测单元400可以设置成其被插入到排放部分370中以与喷墨头300_2的各个喷嘴350对应的形式，并且感测单元400可以沿着在第一方向dr1上布置的喷嘴350在第一方向dr1上布置。此外，多个感测单元400也可以沿着在第二方向dr2上布置的喷嘴350在第二方向dr2上布置。感测单元400可以设置成与其它相邻的感测单元400间隔开，并且可以设置成与各个喷嘴350对应。
[0186]
根据实施方式，感测单元400可以设置在设置于排放部分370中的致动器390上方。感测单元400可以在致动器390和内管330之间设置成与喷嘴350的入口351相邻，并且可以在油墨90穿过致动器390并被排放之前测量双极性元件95的数量。
[0187]
双极性元件95具有其在一个方向上延伸的形状，并且因此会在喷嘴350的入口351处聚集，使得引入到喷嘴350中的双极性元件95的数量可能减少。在这种情况下，引入到内
管330中的双极性元件95的数量不变化，但是通过喷嘴350排放的双极性元件95的数量可能减少。当感测单元400仅设置在内管330的入口331处时，可能无法感测到在喷嘴350的入口351处的双极性元件95的数量的减少。为了防止这种问题，感测单元400可以设置在喷墨头300的排放部分370中，并且可以测量即将从喷嘴350排放之前的油墨90中的双极性元件95的数量。优选地，感测单元400可以分别设置在内管330的入口331和其中设置有喷嘴350的排放部分370处，并且可以更精确地测量双极性元件95的数量的变化。
[0188]
同时，用于感测单元400测量双极性元件95的数量的方法不限于图6的实施方式。如上所述，双极性元件95可以具有小的尺寸并且具有部分不同的极性。感测单元400可以考虑双极性元件95的特性，通过除了用于直接拍摄图像的方法之外的方法来测量双极性元件95的数量。
[0189]
图25是示出根据另一实施方式的感测单元检测双极性元件的数量的剖视图。
[0190]
参考图25，在感测单元400_3中，第一感测部分410_3可以发射特定波长带的光，并且第二感测部分420_3可以感测从第一感测部分410_3发射的光，以测量油墨90中的双极性元件95的数量。在实施方式中，第一感测部分410_3可以是光发射部分，并且第二感测部分420_3可以是光接收部分。图25的实施方式与图6的实施方式的不同之处在于用于感测单元400_3测量双极性元件95的数量的方法。在下文中，将省略重叠的描述，并且将主要描述与以上描述的内容不同的内容。
[0191]
感测单元400_3的第一感测部分410_3和第二感测部分420_3可以设置成彼此间隔开，且油墨90流过其的内管330或喷嘴350插置在第一感测部分410_3和第二感测部分420_3之间。第一感测部分410_3和第二感测部分420_3可以设置成与内管330或喷嘴350的外壁接触，但是本公开不限于此，并且第一感测部分410_3和第二感测部分420_3也可以与外壁间隔开。
[0192]
第一感测部分410_3可以发射特定波长带的光，并且从第一感测部分410_3发射的光可以入射在第二感测部分420_3上。第一感测部分410_3的类型没有特别限制。在一些实施方式中，第一感测部分410_3可以是能够发射紫外(uv)光的紫外激光照射装置或灯，或者可以是能够发射可见光或白光的光照射装置或灯。然而，实施方式不限于此，并且第一感测部分410_3是能够利用光照射油墨90的装置，并且可以被不同地修改，只要其可以在技术领域中采用即可。第一感测部分410_3可以用光照射油墨90，并且光可以穿过油墨90并入射在第二感测部分420_3上。
[0193]
当油墨90被引入到喷墨头300中时，从第一感测部分410_3发射的光可以入射在双极性元件95上。光可以由于双极性元件95的干扰而被部分地散射，并且第二感测部分420_3可以接收从第一感测部分410_3发射的光和散射光，以测量流过内管330的油墨90的每单位体积或单位液滴的双极性元件95的数量。
[0194]
感测单元400_3的第一感测部分410_3可以朝向第二感测部分420_3辐射光l(参见图25)。光l可以在穿过油墨90并入射在第二感测部分420_3上的同时，至少部分地照射到双极性元件95上。双极性元件95可以具有细小尺寸，并且当光l被照射到分散在油墨90中的双极性元件95时，光l中的一些可以被散射(图25的l')。除了从第一感测部分410_3发射的光l之外，由双极性元件95散射的光l'可以入射在第二感测部分420_3上。由双极性元件95散射的光l'可以根据双极性元件95的布朗运动而具有特定波形。第二感测部分420_3可以通过
分析由双极性元件95散射的光l'的波形来测量双极性元件95的尺寸，并且可以通过所测量的尺寸来测量油墨90的每单位体积或单位液滴的双极性元件95的数量。感测单元400_3可以通过所测量的双极性元件95的数量和从喷嘴350排放的油墨90的液滴来测量排放的油墨90中的双极性元件95的数量或分散程度。
[0195]
同时，根据实施方式，喷墨头300的基础部分310可以具有由透明材料制成的外壁，使得从感测单元400_3的第一感测部分410_3发射的光可以照射到油墨90中的双极性元件95。可选地，喷墨头300的内管330或喷嘴350可以具有由透明材料制成的外壁。第一感测部分410_3和第二感测部分420_3可以定位成至少与内管330或喷嘴350的外壁接触，并且由于外壁由透明材料制成，从第一感测部分410_3发射的光可以穿过油墨90并入射在第二感测部分420_3上。
[0196]
同时，双极性元件95可以包括具有不同极性的部分，并且双极性元件95本身可以具有指向一个方向的偶极矩。双极性元件95可以由于偶极矩而形成电场(e-field)，并且如下面的式1中所示，可以在多个双极性元件95在它们分散在油墨90中的状态下沿着内管330流动的同时通过电场的变化来产生磁场。
[0197]
[式1]
[0198][0199]
在式1中，“b”是磁场的强度，“μ”是磁导率，“j”是电流密度，“ε”是介电常数，“e”是电场的强度，并且“t”是时间。
[0200]
参考式1，磁场的强度可以具有根据每单位时间的电场的强度的变化的值。当双极性元件95移动时，可以在预定区段内发生每单位时间与双极性元件95的数量对应的电场的强度变化。当引入到喷墨头300中的油墨90中的双极性元件95的数量变化时，预定区段内每单位时间的电场的强度的变化可以变化，并且因此，磁场的强度可以变化。根据实施方式，感测单元400可以通过双极性元件95的移动来测量磁场，以计算油墨90的每单位液滴的双极性元件95的数量。
[0201]
图26是示出根据另一实施方式的感测单元检测双极性元件的数量的剖视图。
[0202]
参考图26，当双极性元件95被供应到内管330的入口331时，可以在内管330的入口331处产生由于双极性元件95的移动而导致的磁场b。根据实施方式，感测单元400_4可以测量由于双极性元件95的移动而导致的磁场b的强度。第一感测部分410_4可以测量在内管330内的预定区段中产生的磁场b的强度，并且第二感测部分420_4可以基于由第一感测部分410_4测量的磁场b的强度来计算双极性元件95的数量，并且根据所计算的双极性元件95的数量来产生反馈信号。然而，本公开不限于此。
[0203]
感测单元400_4设置在向其供应油墨90的内管330的入口331处，并且测量在入口331的预定区段中形成的磁场b的强度。磁场b的强度可以根据电场的强度的变化(即，双极性元件95的数量和移动)而变化。当供应到喷墨头300的油墨90中的双极性元件95的数量变化时，由双极性元件95引起的电场的强度的变化可以变化，并且在预定区段中形成的磁场b的强度可以变化。感测单元400_4的第一感测部分410_4可以感测磁场的强度的这种变化，并且感测单元400_4的第二感测部分420_4可以测量在预定区段中流动的双极性元件95的数量的变化。因此，感测单元400_4可以将反馈信号传递到致动器390，并且致动器390可以
控制每单位工艺排放的油墨90的液滴。
[0204]
同时，由双极性元件95在预定区段中形成的磁场b的强度的变化可以是由于双极性元件95的移动而导致的，并且可以根据油墨90的流动速度而变化。根据实施方式，为了更有效地测量磁场的强度的变化，喷墨头300可以部分地包括油墨90的流动速度在其中变化的部分。感测单元400可以设置成与油墨90的流动速度在其中变化的部分对应，并且可以更精确地测量由双极性元件95引起的磁场的强度的变化。
[0205]
图27和图28是示出根据其它实施方式的喷墨头的部分的剖视图。
[0206]
首先，参考图27，在根据实施方式的喷墨头300_5中，内管330或内管330的入口331可以在设置感测单元400的部分处具有比在其它部分处更小的直径dh。当油墨90被供应到内管330的入口331或者沿着内管330流动并且随后穿过具有窄直径的区段时，油墨90的流动速度可以增加。当包括双极性元件95的油墨90的流动速度增加时，在预定区段内由双极性元件95引起的每单位时间的电场的强度的变化可以增加，并且由感测单元400测量的磁场的强度可以增加。当由双极性元件95引起的磁场的强度增加时，根据双极性元件95的数量的变化的磁场的强度的变化也可以容易地被感测到。
[0207]
根据实施方式，在喷墨头300_5中，油墨90在其中流动的内管330可以包括其直径部分地变窄的部分，并且感测单元400可以设置成与直径减小的部分对应。即使由双极性元件95产生的磁场的强度微弱，在具有窄直径的区域中流动的油墨90的流动速度增加，使得磁场的强度可以增加，并且感测单元400可以精确地测量磁场的强度的变化。
[0208]
类似地，喷墨头300还可以包括改变内管330的直径的子致动器pzt。参考图28，根据实施方式的喷墨头300_6还可以包括设置在内管330或内管330的入口331处并减小内管330的直径的子致动器pzt。子致动器pzt可以向油墨90在其中流动的内管330施加液压，并且内管330的直径可以减小。油墨90的流动速度可以随着内管330的直径减小而增大。
[0209]
感测单元400可以设置成与子致动器pzt相邻，并且设置在油墨90的流动速度增加的区段中。当油墨90的流动速度通过子致动器pzt瞬时增加时，双极性元件95的移动速度也增加，并且在预定区段中产生的磁场b的强度增加。
[0210]
图29是示出根据另一实施方式的感测单元检测双极性元件的数量的剖视图。
[0211]
在一些实施方式中，双极性元件95的偶极矩的强度可以通过照射到双极性元件95的光而变化。当双极性元件95的偶极矩的强度变化时，由双极性元件95引起的电场的强度可以变化，这意指在预定区段内由双极性元件95产生的磁场的强度可以增加。
[0212]
参考图29，根据实施方式的感测单元400_7还可以包括能够利用光照射油墨90的光发射部分430_7。光发射部分430_7可以与第一感测部分410_7一起设置在基础部分310中，并且可以利用特定波长带的光照射在内管330或喷嘴350中流动的油墨90和双极性元件95。在一些实施方式中，在感测单元400_7中，第一感测部分410_7和第二感测部分420_7可以设置成插入到基础部分310中，并且光发射部分430_7可以设置在基础部分310的外表面上。如上所述，在一些实施方式中，喷墨头300的基础部分310可以由透明材料制成，并且从光发射部分430_7发射的光可以到达流过内管330的油墨90。
[0213]
双极性元件95的偶极矩可以响应于从光发射部分430_7照射的光而增加，并且由多个双极性元件95引起的电场的强度可以增加。因此，在预定区段内由双极性元件95产生的磁场的强度也可以增加，并且感测单元400_7可以有效地感测磁场的强度的变化。
[0214]
然而，用于测量双极性元件95的数量的方法不限于此。双极性元件95具有偶极矩，并且因此，当多个双极性元件95移动时，可以在预定区段内形成电容或电流。在这种情况下，感测单元400可以测量双极性元件95的电容或电流，并且可以根据所测量的电容或电流来测量双极性元件95的数量。
[0215]
根据实施方式的喷墨印刷装置1000可以包括设置在喷墨头300中并且能够测量双极性元件95的数量的感测单元400。感测单元400可以直接或间接地测量从喷墨头300排放的油墨90中的双极性元件95的数量，并且感测双极性元件95的数量的变化。双极性元件95的数量的变化可以传递到喷墨头300的致动器390，并且致动器390可以调节排放的油墨90的液滴。喷墨印刷装置1000可以通过调节排放的油墨90的液滴来保持每单位工艺排放的双极性元件95的数量是一致的。因此，喷墨印刷装置1000可以改善制造成包括双极性元件95的产品的可靠性。
[0216]
同时，以上描述的双极性元件95可以是包括多个半导体层的发光元件，并且根据实施方式，可以使用喷墨印刷装置1000制造包括发光元件的显示装置。
[0217]
图30是根据实施方式的发光元件的示意图。
[0218]
发光元件30可以是发光二极管。具体地，发光元件30可以是具有微米或纳米级的尺寸并由无机材料制成的无机发光二极管。无机发光二极管可以在两个电极之间对准，其中当在彼此面对的两个电极之间在特定方向上形成电场时，在所述两个电极中形成极性。发光元件30可以通过在两个电极上形成的电场在两个电极之间对准。
[0219]
参考图30，根据实施方式的发光元件30可以具有其在一个方向上延伸的形状。发光元件30可以具有诸如杆形状、线形状或管形状的形状。在实施方式中，发光元件30可以具有圆柱形状或杆形状。然而，发光元件30不限于具有以上描述的形状，并且可以具有各种形状。例如，发光元件30可以具有诸如立方体形状、长方体形状或六边形棱柱形状的多边形棱柱形状，或者具有其在一个方向上延伸但其外表面部分地倾斜的形状。
[0220]
发光元件30可以包括掺杂有任何导电类型(例如，p型或n型)杂质的半导体层。半导体层可以接收从外部电源施加的电信号以发射特定波长带的光。包括在发光元件30中的多个半导体可以具有其沿着一个方向顺序地设置或堆叠的结构。
[0221]
发光元件30可以包括第一半导体层31、第二半导体层32、有源层36、电极层37和绝缘膜38。图30示出了绝缘膜38被部分地去除以暴露多个半导体层31、32和36的状态，以便在视觉上示出发光元件30的各个部件。然而，如后面所述，绝缘膜38可以设置成围绕多个半导体层31、32和36的外表面。
[0222]
具体地，第一半导体层31可以是n型半导体。作为示例，当发光元件30发射蓝波长带的光时，第一半导体层31可以包括具有化学式al
x
gayin
1-x-y
n(0≤x≤1，0≤y≤1和0≤x+y≤1)的半导体材料。例如，半导体材料可以是掺杂有n型掺杂剂的algainn、gan、algan、ingan、aln和inn中的一种或多种。第一半导体层31可以掺杂有n型掺杂剂，作为示例，n型掺杂剂可以是si、ge、sn等。在实施方式中，第一半导体层31可以由掺杂有n型si的n-gan制成。第一半导体层31的长度可以在1.5μm至5μm的范围内，但不限于此。
[0223]
第二半导体层32设置在稍后将描述的有源层36上。第二半导体层32可以是p型半导体，并且作为示例，当发光元件30发射蓝或绿波长带的光时，第二半导体层32可以包括具有化学式al
x
gayin
1-x-y
n(0≤x≤1，0≤y≤1和0≤x+y≤1)的半导体材料。例如，半导体
材料可以是掺杂有p型掺杂剂的algainn、gan、algan、ingan、aln和inn中的一种或多种。第二半导体层32可以掺杂有p型掺杂剂，作为示例，p型掺杂剂可以是mg、zn、ca、se、ba等。在实施方式中，第二半导体层32可以由掺杂有p型mg的p-gan制成。第二半导体层32的长度可以在0.05μm至0.10μm的范围内，但不限于此。
[0224]
同时，在附图中已经示出了第一半导体层31和第二半导体层32中的每个被配置为一个层，但是本公开不限于此。根据一些实施方式，根据有源层36的材料，第一半导体层31和第二半导体层32中的每个还可以包括更多的层，例如包覆层或拉伸应变势垒减小(tsbr)层。
[0225]
有源层36设置在第一半导体层31和第二半导体层32之间。有源层36可以包括具有单量子阱或多量子阱结构的材料。当有源层36包括具有多量子阱结构的材料时，有源层36可以具有多个量子层和阱层交替堆叠的结构。有源层36可以根据通过第一半导体层31和第二半导体层32施加的电信号，通过电子-空穴对的结合发光。作为示例，当有源层36发射蓝波长带的光时，有源层36可以包括诸如algan或algainn的材料。具体地，当有源层36具有多量子阱结构(即，量子层和阱层交替堆叠的结构)时，量子层可以包括诸如algan或algainn的材料，并且阱层可以包括诸如gan或alinn的材料。在实施方式中，有源层36可以包括algainn作为量子层的材料，并且包括alinn作为阱层的材料，以发射具有450nm至495nm的中心波长带的蓝光。
[0226]
然而，本公开不限于此，并且有源层36可以呈具有大带隙能量的半导体材料与具有小带隙能量的半导体材料交替堆叠的结构，并且可以根据所发射光的波长带包括其它iii族至v族半导体材料。由有源层36发射的光不限于蓝波长带的光，并且在一些情况下，有源层36可以发射红和绿波长带的光。有源层36的长度可以在0.05μm至0.10μm的范围内，但不限于此。
[0227]
同时，从有源层36发射的光不仅可以发射到发光元件30的在长度方向上的外表面，而且可以发射到发光元件30的两个侧表面。从有源层36发射的光的方向性不限于一个方向。
[0228]
电极层37可以是欧姆接触电极。然而，本公开不限于此，并且电极层37也可以是肖特基接触电极。发光元件30可以包括至少一个电极层37。在图30中已经示出了发光元件30包括一个电极层37，但是本公开不限于此。在一些情况下，发光元件30也可以包括更多数量的电极层37，或者也可以省略电极层37。即使改变电极层37的数量或者发光元件30还包括另一结构，也可以同样地应用稍后提供的发光元件30的描述。
[0229]
当发光元件30电连接到根据实施方式的显示装置10中的电极或接触电极时，电极层37可以减小发光元件30与电极或接触电极之间的电阻。电极层37可以包括具有导电性的金属。电极层37可以包括铝(al)、钛(ti)、铟(in)、金(au)、银(ag)、氧化铟锡(ito)、氧化铟锌(izo)和氧化铟锡锌(itzo)中的至少一种。电极层37可以包括掺杂有n型或p型掺杂剂的半导体材料。电极层37可以包括相同的材料或包括不同的材料。电极层37的长度可以在0.05μm至0.10μm的范围内，但不限于此。
[0230]
绝缘膜38设置成围绕以上描述的多个半导体层和电极层的外表面。在实施方式中，绝缘膜38可以设置成至少围绕有源层36的外表面，并且可以在发光元件30沿其延伸的一个方向上延伸。绝缘膜38可以用于保护这些构件。作为示例，绝缘膜38可以形成为围绕这
些构件的侧表面部分，但可以形成为暴露发光元件30的在长度方向上的两端。
[0231]
在附图中已经示出了绝缘膜38被形成为在发光元件30的长度方向上延伸以覆盖第一半导体层31至电极层37的侧表面，但是本公开不限于此。绝缘膜38可以仅覆盖半导体层中的一些以及有源层36的外表面或仅覆盖电极层37的外表面的一部分，使得每个电极层37的外表面可以部分地暴露。此外，绝缘膜38也可以形成为使得在剖面中，其上表面在与发光元件30的至少一端相邻的区域中是圆形的。
[0232]
绝缘膜38的厚度可以在10nm至1.0μm的范围内，但不限于此。绝缘膜38的厚度可以优选为约40nm。
[0233]
绝缘膜38可以包括具有绝缘特性的材料，诸如氧化硅(sio
x
)、氮化硅(sin
x
)、氮氧化硅(sio
x
ny)、氮化铝(aln)和氧化铝(al2o3)。因此，可以防止当有源层36与通过其将电信号传递到发光元件30的电极直接接触时可能发生的电短路。此外，绝缘膜38保护发光元件30以及有源层36的外表面，并且因此可以防止发光效率的降低。
[0234]
此外，在一些实施方式中，可以对绝缘膜38的外表面进行表面处理。当制造显示装置10时，发光元件30可以在其被分散在预定的油墨中的状态下喷射并对准到电极上。这里，为了将发光元件30保持在发光元件30分散开而不与油墨中的其它相邻发光元件30聚集的状态下，可以对绝缘膜38的表面执行疏水或亲水处理。
[0235]
发光元件30的长度h可以在1μm至10μm或2μm至6μm的范围内，并且优选地在3μm至5μm的范围内。此外，发光元件30的直径可以在30nm至700nm的范围内，并且发光元件30的纵横比可以是1.2至100。然而，本公开不限于此，并且包括在显示装置10中的多个发光元件30也可以根据有源层36之间的成分的不同而具有不同的直径。优选地，发光元件30的直径可以是约500nm。
[0236]
根据实施方式，喷墨印刷装置1000可以将图30的发光元件30分散在油墨90中，并且将其中分散有发光元件30的油墨90喷射或排放到目标衬底sub上，以制造包括发光元件30的显示装置10。
[0237]
图31是根据实施方式的显示装置的示意性平面图。
[0238]
参考图31，显示装置10显示运动图像或静止图像。显示装置10可以表示提供显示屏的所有电子装置。例如，提供显示屏的电视、膝上型计算机、监视器、广告牌、物联网(iot)、移动电话、智能电话、平板个人计算机(pc)、电子手表、智能手表、手表电话、头戴式显示器、移动通信终端、电子笔记本、电子书、便携式多媒体播放器(pmp)、导航装置、游戏机、数码相机、摄录像机等可以包括在显示装置10中。
[0239]
显示装置10的形状可以被不同地修改。例如，显示装置10可以具有诸如宽度大于长度的矩形形状、长度大于宽度的矩形形状、正方形形状、具有圆润拐角(顶点)的矩形形状、其它多边形形状或圆形形状的形状。显示装置10的显示区域dpa的形状也可以类似于显示装置10的整体形状。在图31中，示出了具有宽度大于长度的矩形形状的显示装置10和显示区域dpa。
[0240]
显示装置10可以包括显示区域dpa和非显示区域nda。显示区域dpa是可在其中显示屏幕的区域，并且非显示区域nda是不在其中显示屏幕的区域。显示区域dpa也可以被称为有效区域，并且非显示区域nda也可以被称为非有效区域。
[0241]
显示区域dpa可以基本上占据显示装置10的中心。显示区域dpa可以包括多个像素
px。多个像素px可以在矩阵方向上布置。在平面图中，每个像素px的形状可以是矩形形状或正方形形状，但不限于此，并且还可以是其每个侧边相对于一个方向倾斜的菱形形状。像素px中的每个可以包括一个或多个发光元件30，其发射特定波长带的光以呈现出特定颜。
[0242]
图32是根据实施方式的显示装置的一个像素的示意性平面图。
[0243]
参考图32，多个像素px中的每个可以包括第一子像素px1、第二子像素px2和第三子像素px3。第一子像素px1可以发射第一颜的光，第二子像素px2可以发射第二颜的光，并且第三子像素px3可以发射第三颜的光。第一颜可以是蓝，第二颜可以是绿，并且第三颜可以是红。然而，本公开不限于此，并且相应的子像素pxn也可以发射相同颜的光。此外，在图32中已经示出了像素px包括三个子像素pxn，但是本公开不限于此，并且像素px可以包括更多数量的子像素pxn。
[0244]
显示装置10的子像素pxn中的每个可以包括被限定为发射区域ema的区域。第一子像素px1可以包括第一发射区域ema1，第二子像素px2可以包括第二发射区域ema2，并且第三子像素px3可以包括第三发射区域ema2。发射区域ema可以限定为在其中设置有显示装置10中所包括的发光元件30以发射特定波长带的光的区域。
[0245]
显示装置10的子像素pxn中的每个可以包括被限定为除了发射区域ema之外的区域的非发射区域。非发射区域可以是在其中不设置发光元件30并且从发光元件30发射的光不到达的区域，从而不发射光。
[0246]
显示装置10的每个子像素pxn可以包括多个电极21和22、发光元件30、多个接触电极26、以及多个内部堤41和42(参见图33)、外部堤43、以及至少一个绝缘层51、52、53和55(参见图31)。
[0247]
多个电极21和22可以电连接到发光元件30，并且可以接收施加到其的预定电压，使得发光元件30发射特定波长带的光。此外，电极21和22中的每个的至少一部分可以用于在子像素pxn中形成电场，以便对准发光元件30。
[0248]
多个电极21和22可以包括第一电极21和第二电极22。在实施方式中，第一电极21可以是针对每个子像素pxn分开的像素电极，并且第二电极22可以是沿着每个子像素pxn公共地连接的公共电极。第一电极21和第二电极22中的一个可以是发光元件30的阳极电极，并且第一电极210和第二电极220中的另一个可以是发光元件30的阴极电极。然而，第一电极21和第二电极22不限于此，反之亦然。
[0249]
第一电极21和第二电极22可以分别包括设置成在第四方向dr4上延伸的电极杆部分21s和22s，并且可以分别包括在第五方向dr5上延伸并从电极杆部分21s和22s分支的至少一个电极分支部分21b和22b，所述第五方向dr5是与第四方向dr4交叉的方向。
[0250]
第一电极21可以包括设置成在第四方向dr4上延伸的第一电极杆部分21s、以及从第一电极杆部分210s分支并且在第五方向dr5上延伸的至少一个第一电极分支部分s21b。
[0251]
任何一个像素的第一电极杆部分21s可以具有彼此间隔开并且终止于相应的子像素pxn之间的两个端部，但是可以被置于与在同一行中相邻(例如，在第四方向dr4上相邻)的子像素的第一电极杆部分21s基本上相同的直线上。设置在相应的子像素pxn中的第一电极杆部分21s可以具有彼此间隔开的两个端部，以将不同的电信号施加到相应的第一电极分支部分21b，并且第一电极分支部分21b可以被单独驱动。
[0252]
第一电极分支部分21b可以从第一电极杆部分21s的至少一部分分支，并且可以设
置成在第五方向dr5上延伸，但是可以在它们与设置成面对第一电极杆部分21s的第二电极杆部分22s间隔开的状态下终止。
[0253]
第二电极22可以包括在第四方向dr4上延伸并且在第五方向dr5上与第一电极杆部分21s间隔开并且面对第一电极杆部分21s的第二电极杆部分22s、以及从第二电极杆部分22s分支并且在第五方向dr5上延伸的第二电极分支部分22b。第二电极杆部分22s的另一端可以连接到在第四方向dr4上相邻的另一子像素pxn的第二电极杆部分22s。即，与第一电极杆部分21s不同，第二电极杆部分22s可以设置成在第四方向dr4上延伸以跨过各个子像素pxn。跨过各个子像素pxn的第二电极杆部分22s可以连接到在其中设置有各个像素px或子像素pxn的显示区域dpa的外部分中或在非显示区域nda中在一个方向上延伸的部分。
[0254]
第二电极分支部分22b可以与第一电极分支部分21b间隔开并面对第一电极分支部分21b，并且可以在其与第一电极杆部分21s间隔开的状态下终止。第二电极分支部分22b可以连接到第二电极杆部分22s，并且第二电极分支部分22b的在延伸方向上的一端可以在其与第一电极杆部分21s间隔开的状态下设置在子像素pxn中。
[0255]
第一电极21和第二电极22可以分别通过接触孔(例如，第一电极接触孔cntd和第二电极接触孔cnts)电连接到显示装置10的电路元件层。在附图中已经示出，第一电极接触孔cntd针对各个子像素pxn的第一电极杆部分21s中的每个形成，并且仅一个第二电极接触孔cnts形成在跨过各个子像素pxn的一个第二电极杆部分22s中。然而，本公开不限于此，并且在一些情况下，也可以针对每个子像素pxn形成第二电极接触孔cnts。
[0256]
外部堤43可以设置在各个子像素pxn之间的边界处，并且多个内部堤41和42可以与每个子像素pxn的中心部分相邻并且设置在各个电极21和22下方。多个内部堤41和42没有在附图中示出，但第一内部堤41和第二内部堤42可以分别设置在第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b下方。
[0257]
外部堤43可以设置在各个子像素pxn之间的边界处。多个第一电极杆部分21s的相应端部可以基于外部堤43彼此间隔开并终止。外部堤43可以在第五方向dr5上延伸，并且设置于在第四方向dr4上布置的子像素pxn之间的边界处。然而，本公开不限于此，并且外部堤43也可以在第四方向dr4上延伸，并且也可以设置于在第五方向dr5上布置的子像素pxn之间的边界处。外部堤43可以包括与内部堤41和42相同的材料，并且在一个工艺中与内部堤41和42同时形成。
[0258]
发光元件30可以设置在第一电极21和第二电极22之间。发光元件30的一端可以电连接到第一电极21，并且发光元件30的另一端可以电连接到第二电极22。发光元件30可以分别通过稍后将描述的接触电极26电连接到第一电极21和第二电极22。
[0259]
多个发光元件30可以设置成彼此间隔开，并且可以基本上彼此平行地对准。彼此间隔开的发光元件30之间的间隔没有特别限制。在一些情况下，多个发光元件30可以设置成彼此相邻并且被分组，并且多个其它发光元件30可以在其与多个发光元件30间隔开预定间隔的状态下被分组，或者多个发光元件30可以具有不均匀的密度，但是可以在一个方向上取向和对准。此外，在实施方式中，发光元件30可以具有其在一个方向上延伸的形状，并且相应电极(例如，第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b)沿其延伸的方向和发光元件30沿其延伸的方向可以基本上彼此垂直。然而，本公开不限于此，并且发光元件30不垂直于第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b沿其延伸的方向，并且可以设置成相对
于第一电极分支部分210b和第二电极分支部分220b沿其延伸的方向倾斜。
[0260]
根据实施方式的发光元件30可以包括有源层36，所述有源层36包括不同的材料以向外部发射不同波长带的光。在显示装置10中，第一子像素px1的发光元件30可以发射其中心波长带为第一波长的第一光，第二子像素px2的发光元件30可以发射其中心波长带为第二波长的第二光，并且第三子像素px3的发光元件30可以发射其中心波长带为第三波长的第三光。因此，第一光可以从第一子像素px1发射，第二光可以从第二子像素px2发射，并且第三光可以从第三子像素px3发射。在一些实施方式中，第一光可以是具有在450nm至495nm的范围内的中心波长带的蓝光，第二光可以是具有在495nm至570nm的范围内的中心波长带的绿光，并且第三光可以是具有在620nm至750nm的范围内的中心波长带的红光。然而，本公开不限于此。
[0261]
尽管在图30中未示出，但是显示装置10可以包括覆盖第一电极21和第二电极22的至少一部分的第二绝缘层52。
[0262]
第二绝缘层52可以设置在显示装置10的每个子像素pxn中。第二绝缘层52可以设置成基本上完全覆盖每个子像素pxn，并且也可以设置成延伸到其它相邻的子像素pxn。第二绝缘层52可以设置成覆盖第一电极21和第二电极22的至少一部分。第二绝缘层52可以设置成暴露第一电极21和第二电极22的部分，具体地，暴露第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b的部分区域。
[0263]
多个接触电极26可以具有其至少部分区域在一个方向上延伸的形状。多个接触电极26中的每个可以与发光元件30以及电极21和22接触，并且发光元件30可以通过接触电极26从第一电极21和第二电极22接收电信号。
[0264]
接触电极26可以包括第一接触电极26a和第二接触电极26b。第一接触电极26a和第二接触电极26b可以分别设置在第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b上。
[0265]
第一接触电极26a可以设置在第一电极21或第一电极分支部分21b上并且在第五方向dr5上延伸。第一接触电极26a可以与发光元件30的一端接触。此外，第一接触电极26a可以与在其上不设置第二绝缘层52而被暴露的第一电极21接触。因此，发光元件30可以通过第一接触电极26a电连接到第一电极21。
[0266]
第二接触电极26b可以设置在第二电极22或第二电极分支部分22b上并且在第五方向dr5上延伸。第二接触电极26b可以在第四方向dr4上与第一接触电极26a间隔开。第二接触电极26b可以与发光元件30的另一端接触。此外，第二接触电极26b可以与在其上不设置第二绝缘层52而被暴露的第二电极22接触。因此，发光元件30可以通过第二接触电极26b电连接到第二电极22。在附图中已经示出了两个第一接触电极26a和一个第二接触电极26b设置在一个子像素pxn中，但是本公开不限于此。第一接触电极26a和第二接触电极26b的数量可以根据设置在每个子像素pxn中的第一电极21和第二电极22或第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b的数量而变化。
[0267]
在一些实施方式中，第一接触电极26a和第二接触电极26b的在一个方向上测量的宽度可以分别大于第一电极21和第二电极22或第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b的在一个方向上测量的宽度。然而，本公开不限于此，并且在一些情况下，第一接触电极26a和第二接触电极26b也可以设置成分别仅覆盖第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b的一个侧部分。
[0268]
同时，除了第二绝缘层52之外，显示装置10可以包括定位在各个电极21和22下方的电路元件层、以及还设置成覆盖各个电极21和22以及发光元件30的至少一部分的第三绝缘层53(参见图31)和钝化层55(参见图31)。在下文中，将参考图31详细描述显示装置10的结构。
[0269]
图33是沿着图32的线xa-xa'、线xb-xb'和线xc-xc'截取的剖视图。
[0270]
图33仅示出了第一子像素px1的剖面，其可以同样地应用于其它像素px或子像素pxn。图33示出了跨过设置在第一子像素px1中的发光元件30的一端和另一端的剖面。
[0271]
同时，尽管在图33中未示出，但是显示装置10还可以包括定位在各个电极21和22下方的电路元件层。电路元件层可以包括多个半导体层和多个导电图案，并且可以包括至少一个晶体管和电力线。
[0272]
参考图32和图33，显示装置10可以包括第一绝缘层51、以及设置在第一绝缘层51上的电极21和22、发光元件30等。电路元件层(未示出)可以进一步设置在第一绝缘层51下方。第一绝缘层51可以包括有机绝缘材料以执行表面平坦化功能。
[0273]
可以在第一绝缘层51上设置多个内部堤41和42、外部堤43、多个电极21和22以及发光元件30。
[0274]
在制造显示装置10时，当使用以上描述的图1的喷墨印刷装置喷射油墨时，外部堤43可以用于防止其中分散有发光元件30的油墨跨过子像素pxn之间的边界。外部堤43可以将其中分散有不同的发光元件30的油墨针对不同的子像素pxn中的每个彼此分开，以便这些油墨彼此不混合。然而，本公开不限于此。
[0275]
多个内部堤41和42可以包括设置成与每个子像素pxn的中心部分相邻的第一内部堤41和第二内部堤42。
[0276]
第一内部堤41和第二内部堤42设置成彼此间隔开并彼此面对。第一电极21可以设置在第一内部堤41上，并且第二电极22可以设置在第二内部堤42上。参考图30和图31，可以理解的是，第一电极分支部分21b设置在第一内部堤41上，并且第二电极分支部分22b设置在第二内部堤42上。
[0277]
第一内部堤41和第二内部堤42可以设置成在每个子像素pxn中在第五方向dr5上延伸。然而，本公开不限于此，并且可以针对每个子像素pxn设置第一内部堤41和第二内部堤42，以在整个显示装置10中形成图案。多个内部堤41和42以及外部堤43可以包括聚酰亚胺(pi)，但不限于此。
[0278]
第一内部堤41和第二内部堤42可以具有其至少一部分相对于第一绝缘层51突出的结构。第一内部堤41和第二内部堤42可以相对于其上设置有发光元件30的平面向上突出，并且突出部分的至少部分可以具有倾斜度。由于内部堤41和42相对于第一绝缘层51突出并且具有倾斜的侧表面，所以从发光元件30发射的光可以在内部堤41和42的倾斜的侧表面上被反射。如稍后描述的，当设置在内部堤41和42上的电极21和22包括具有高反射率的材料时，从发光元件30发射的光可以被电极21和22反射并且在第一绝缘层51的向上方向上行进。
[0279]
外部堤43设置在各个子像素pxn之间的边界处以形成网格图案，但是内部堤41和42设置在每个子像素pxn内并且具有其在一个方向上延伸的形状。
[0280]
多个电极21和22可以设置在第一绝缘层51以及内部堤41和42上。如上所述，电极
21和22分别包括电极杆部分21s和22s，并且分别包括电极分支部分21b和22b。
[0281]
第一电极21和第二电极22的部分区域可以设置在第一绝缘层51上，并且第一电极21和第二电极22的其它部分区域可以分别设置在第一内部堤41和第二内部堤42上。如上所述，第一电极21的第一电极杆部分21s和第二电极22的第二电极杆部分22s可以在第四方向dr4上延伸，并且第一内部堤41和第二内部堤42可以在第五方向dr5上延伸，并且也可以设置于在第五方向dr5上相邻的子像素pxn中。
[0282]
穿过第一绝缘层51并暴露电路元件层的一部分的第一电极接触孔cntd可以形成在第一电极21的第一电极杆部分21s中。第一电极21可以通过第一电极接触孔cntd电连接到电路元件层的晶体管。预定的电信号可以从晶体管传递到第一电极21。
[0283]
第二电极22的第二电极杆部分22s可以在一个方向上延伸，并且也可以设置在其中不设置发光元件30的非发射区域中。穿过第一绝缘层51并暴露电路元件层的一部分的第二电极接触孔cnts可以形成在第二电极杆部分22s中。第二电极22可以通过第二电极接触孔cnts电连接到电源电极。预定的电信号可以从电源电极传递到第二电极22。
[0284]
第一电极21和第二电极22的部分区域(例如，第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b)可以分别设置在第一内部堤41和第二内部堤42上。多个发光元件30可以设置在第一电极21和第二电极22之间的区域中，即，设置在第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b彼此间隔开并且彼此面对的空间中。
[0285]
电极21和22中的每个可以包括透明导电材料。作为示例，电极21和22中的每个可以包括诸如氧化铟锡(ito)、氧化铟锌(izo)或氧化铟锡锌(itzo)的材料，但不限于此。在一些实施方式中，电极21和22中的每个可以包括具有高反射率的导电材料。例如，电极21和22中的每个可以包括诸如银(ag)、铜(cu)或铝(al)的金属，作为具有高反射率的材料。在这种情况下，入射在电极21和22中的每个上的光可以被反射以在每个子像素pxn的向上方向上发射。
[0286]
此外，电极21和22可以具有由透明导电材料制成的一个或多个层和由具有高反射率的金属制成的一个或多个层被堆叠的结构，或者可以形成为包括透明导电材料和具有高反射率的金属的一个层。在实施方式中，电极21和22中的每个可以具有ito/银(ag)/ito/izo的堆叠结构，或者由包括铝(al)、镍(ni)、镧(la)等的合金制成。然而，本公开不限于此。
[0287]
第二绝缘层52设置在第一绝缘层51、第一电极21和第二电极22上。第二绝缘层52设置成部分地覆盖第一电极21和第二电极22。第二绝缘层52可以设置成覆盖第一电极21和第二电极22的上表面的大部分，但是可以暴露第一电极21和第二电极22的部分。第二绝缘层52可以设置成使得第一电极21和第二电极22的上表面的部分(例如，第一电极分支部分21b的上表面的设置在第一内部堤41上的部分和第二电极分支部分22b的上表面的设置在第二内部堤42上的部分)被暴露。即，第二绝缘层52可以基本上完全形成在第一绝缘层51上，但是可以包括部分地暴露第一电极21和第二电极22的开口。
[0288]
在实施方式中，第二绝缘层52可以具有形成为使得其上表面的一部分在第一电极21和第二电极22之间凹陷的台阶。在一些实施方式中，第二绝缘层52可以包括无机绝缘材料，并且设置成覆盖第一电极21和第二电极22的第二绝缘层52的上表面的一部分可以由于设置在第二绝缘层52下方的构件的台阶而凹陷。在第一电极21和第二电极22之间设置在第二绝缘层52上的发光元件30可以在发光元件30和第二绝缘层52的凹陷上表面之间形成空
的空间。发光元件30可以被设置成与第二绝缘层52的上表面部分地间隔开，并且构成稍后将描述的第三绝缘层53的材料可以被填充在所述空间中。然而，本公开不限于此。第二绝缘层52可以形成其上设置有发光元件30的平坦上表面。
[0289]
第二绝缘层52可以使第一电极21和第二电极22彼此绝缘，同时保护第一电极21和第二电极22。此外，第二绝缘层52可以防止设置在第二绝缘层52上的发光元件30与其它构件直接接触并被其它构件损坏。然而，第二绝缘层52的形状和结构不限于此。
[0290]
发光元件30可以在第二绝缘层52上在设置相应的电极21和22之间。作为示例，至少一个发光元件30可以设置于设置在相应的电极分支部分21b和22b之间的第二绝缘层52上。然而，本公开不限于此，并且虽然在附图中未示出，但是设置在每个子像素pxn中的发光元件30中的至少一些也可以设置在电极分支部分21b和22b之间的区域之外的区域中。发光元件30可以设置在彼此面对的第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b的相应端上，并且可以通过接触电极26电连接到相应的电极21和22。
[0291]
发光元件30可以包括在平行于第一绝缘层51的方向上设置的多个层。根据实施方式的显示装置10的发光元件30可以具有其在一个方向上延伸的形状，并且可以具有在一个方向上顺序地设置多个半导体层的结构。如上所述，在发光元件30中，第一半导体层31、有源层36、第二半导体层32和电极层37可以沿着一个方向顺序地设置，并且绝缘膜38可以围绕第一半导体层31、有源层36、第二半导体层32和电极层37的外表面。设置在显示装置10中的发光元件30可以设置成使得发光元件30沿其延伸的一个方向平行于第一绝缘层51，并且包括在发光元件30中的多个半导体层可以沿着平行于第一绝缘层51的上表面的方向顺序地设置。然而，本公开不限于此。在一些情况下，当发光元件30具有另一结构时，多个层也可以在垂直于第一绝缘层51的方向上设置。
[0292]
此外，发光元件30的一端可以与第一接触电极26a接触，并且发光元件30的另一端可以与第二接触电极26b接触。根据实施方式，在一个方向上延伸的发光元件30的端表面在没有绝缘膜38的情况下被暴露，并且因此，发光元件30可以在所暴露的区域中与稍后将描述的第一接触电极26a和第二接触电极26b接触。然而，本公开不限于此。在一些情况下，去除发光元件30的绝缘膜38的至少部分区域，使得发光元件30的两端侧表面可以部分地暴露。
[0293]
第三绝缘层53可以部分地设置于设置在第一电极21和第二电极22之间的发光元件30上。第三绝缘层53可以设置成部分地围绕发光元件30的外表面。第三绝缘层53可以保护发光元件30，并且用于在制造显示装置10的工艺中固定发光元件30。此外，在实施方式中，第三绝缘层53的材料的一部分也可以设置在发光元件30的下表面和第二绝缘层52之间。如上所述，也可以形成第三绝缘层53以填充在制造显示装置10的工艺期间形成的第二绝缘层52和发光元件30之间的空间。因此，可以形成第三绝缘层53以围绕发光元件30的外表面。然而，本公开不限于此。
[0294]
第三绝缘层53可以设置成在平面图中在第一电极分支部分21b和第二电极分支部分22b之间在第五方向dr5上延伸。作为示例，第三绝缘层53可以在第一绝缘层51上在平面图中具有岛形状或线性形状。根据实施方式，第三绝缘层53可以设置在发光元件30上。
[0295]
第一接触电极26a和第二接触电极26b分别设置在电极21和22上，并且设置在第三绝缘层53上。第一接触电极26a和第二接触电极26b可以设置成在第三绝缘层53上彼此间隔
开。第三绝缘层53可以使第一接触电极26a和第二接触电极26b彼此绝缘，使得第一接触电极26a和第二接触电极26b彼此不直接接触。
[0296]
第一接触电极26a可以在第一内部堤41上与第一电极21的暴露的部分区域接触，并且第二接触电极26b可以在第二内部堤42上与第二电极22的暴露的部分区域接触。第一接触电极26a和第二接触电极26b可以将从相应的电极21和22传递的电信号传递到发光元件30。
[0297]
接触电极26可以包括导电材料。例如，接触电极26可以包括ito、izo、itzo、铝(al)等。然而，本公开不限于此。
[0298]
钝化层55可以设置在接触电极26和第三绝缘层53上。钝化层55可以用于保护设置在第一绝缘层51上的构件免受外部环境的影响。
[0299]
以上描述的第二绝缘层52、第三绝缘层53和钝化层55中的每个可以包括无机绝缘材料或有机绝缘材料。在实施方式中，第二绝缘层52、第三绝缘层53和钝化层55可以包括诸如氧化硅(sio
x
)、氮化硅(sin
x
)、氮氧化硅(sio
x
ny)、氧化铝(al2o3)或氮化铝(aln)的无机绝缘材料。此外，第二绝缘层52、第三绝缘层53和钝化层55可以包括丙烯酸树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、不饱和聚酯树脂、聚亚苯基树脂、聚苯硫醚树脂、苯并环丁烯、卡多(cardo)树脂、硅氧烷树脂、倍半硅氧烷树脂、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯-聚碳酸酯合成树脂等作为有机绝缘材料。然而，本公开不限于此。
[0300]
图34至图36是示出根据实施方式的用于制造显示装置的方法的一些工艺的剖视图。
[0301]
参考图34至图36，根据实施方式的显示装置10可以使用以上参考图1描述的喷墨印刷装置1000来制造。喷墨印刷装置1000可以喷射其中分散有发光元件30的油墨90，并且发光元件30可以设置在显示装置10的第一电极21和第二电极22之间。
[0302]
首先，如图34中所示，准备第一绝缘层51、在第一绝缘层51上设置成彼此间隔开的第一内部堤41和第二内部堤42、分别设置在第一内部堤41和第二内部堤42上的第一电极21和第二电极22以及覆盖第一电极21和第二电极22的第二绝缘材料层52'。第二绝缘材料层52'可以在随后的工艺中被部分地图案化，以形成显示装置10的第二绝缘层52。以上描述的构件可以通过常规的掩模工艺通过图案化金属、无机材料、有机材料等来形成。
[0303]
接着，将其中分散有发光元件30的油墨90喷射到第一电极21和第二电极22上。发光元件30可以是一种双极性元件，并且可以使用以上描述的喷墨印刷装置1000和用于印刷双极性元件的方法来喷射其中分散有发光元件30的油墨90。如图中所示，根据实施方式的喷墨印刷装置1000可以在均匀地保持油墨90中的发光元件30的数量同时排放油墨90。其描述与以上描述的内容相同，并且因此将省略详细描述。
[0304]
接着，如图35中所示，将电信号施加到第一电极21和第二电极22，以在其中分散有发光元件30的油墨90中产生电场iel。发光元件30可以接收通过电场iel传递的介电泳力，并且可以安置在第一电极21和第二电极22上，同时改变发光元件30的取向方向和位置。
[0305]
接着，如图36中所示，去除油墨90的溶剂91。发光元件30可以通过以上描述的工艺设置在第一电极21和第二电极22之间。此后，虽然在附图中未示出，但是可以图案化第二绝缘材料层52'以形成第二绝缘层52，并且可以形成第三绝缘层53、第一接触电极26a、第二接触电极26b和钝化层55以制造显示装置10。
[0306]
同时，发光元件30的形状和材料不限于图30的那样。在一些实施方式中，发光元件30可以包括更多数量的层或具有其它形状。
[0307]
图37和图38是根据其它实施方式的发光元件的示意图。
[0308]
参考图37，根据实施方式的发光元件30'还可以包括设置在第一半导体层31'和有源层36'之间的第三半导体层33'、以及设置在有源层36'和第二半导体层32'之间的第四半导体层34'和第五半导体层35'。发光元件30'与根据图30的实施方式的发光元件的不同之处在于，还设置有多个半导体层33'、34'和35'以及电极层37a'和37b'，并且有源层36'包含其它元件。绝缘膜38'的设置和结构与图30中的绝缘膜38基本上相同。
[0309]
如上所述，在图30的发光元件30中，有源层36可以包括氮(n)以发射蓝光或绿光。另一方面，在图37的发光元件30'中，有源层36'和其它半导体层可以分别是包括至少磷(p)的半导体。即，根据实施方式的发光元件30'可以发射具有在620nm至750nm的范围内的中心波长带的红光。然而，将理解的是，红光的中心波长带不限于以上描述的范围，并且包括在技术领域中可以被认为是红的所有波长范围。
[0310]
具体地，第一半导体层31'可以是n型半导体层，并且当发光元件30'发射红光时，第一半导体层31'可以包括具有化学式in
x
alyga
1-x-y
p(0≤x≤1，0≤y≤1和0≤x+y≤1)的半导体材料。例如，第一半导体层31'可以由掺杂有n型掺杂剂的inalgap、gap、algap、ingap、alp和inp中的一种或多种制成。第一半导体层31'可以掺杂有n型掺杂剂，作为示例，n型掺杂剂可以是si、ge、sn等。在实施方式中，第一半导体层31'可以由掺杂有n型si的n-algainp制成。第一半导体层31'的长度可以在1.5μm至5μm的范围内，但不限于此。
[0311]
第二半导体层32'可以是p型半导体层，并且当发光元件30'发射红光时，第二半导体层32'可以包括具有化学式in
x
alyga
1-x-y
p(0≤x≤1，0≤y≤1和0≤x+y≤1)的半导体材料。例如，第二半导体层32'可以由掺杂有p型掺杂剂的inalgap、gap、alganp、ingap、alp和inp中的一种或多种制成。第二半导体层32'可以掺杂有p型掺杂剂，作为示例，p型掺杂剂可以是mg、zn、ca、se、ba等。在实施方式中，第二半导体层32'可以由掺杂有p型mg的p-gan制成。第二半导体层32'的长度可以在0.08μm至0.25μm的范围内，但不限于此。
[0312]
有源层36'可以设置在第一半导体层31'和第二半导体层32'之间。与图30的有源层36类似，图37的有源层36'也可以包括具有单量子阱或多量子阱结构的材料，以发射特定波长带的光。作为示例，当有源层36'发射红波长带的光时，有源层36'可以包括诸如algap或alingap的材料。具体地，当有源层36'具有多量子阱结构(即，量子层和阱层交替堆叠的结构)时，量子层可以包括诸如algap或alingap的材料，并且阱层可以包括诸如gap或alinp的材料。在实施方式中，有源层36'可以包括algainp作为量子层的材料并且包括alinp作为阱层的材料，以发射具有620nm至750nm的中心波长带的红光。
[0313]
发光元件30'可以包括设置成与有源层36'相邻的包覆层。如图中所示，在第一半导体层31'和第二半导体层32'之间分别设置在有源层36'下方和上方的第三半导体层33'和第四半导体层34'可以是包覆层。
[0314]
第三半导体层33'可以设置在第一半导体层31'和有源层36'之间。第三半导体层33'可以是与第一半导体层31'类似的n型半导体，并且作为示例，第三半导体层33'可以包括具有化学式in
x
alyga
1-x-y
p(0≤x≤1，0≤y≤1，以及0≤x+y≤1)的半导体材料。在实施方式中，第一半导体层31'可以由n-algainp制成，并且第三半导体层33'可以由n-alinp制成。
然而，本公开不限于此。
[0315]
第四半导体层34'可以设置在有源层36'和第二半导体层32'之间。第四半导体层34'可以是与第二半导体层32'类似的n型半导体，并且作为示例，第四半导体层34'可以包括具有化学式in
x
alyga
1-x-y
p(0≤x≤2，0≤y≤1，以及0≤x+y≤1)的半导体材料。在实施方式中，第二半导体层32'可以由p-gap制成，并且第四半导体层34'可以由p-alinp制成。
[0316]
第五半导体层35'可以设置在第四半导体层34'和第二半导体层32'之间。类似于第二半导体层32'和第四半导体层34'，第五半导体层35'可以是掺杂有p型掺杂剂的半导体。在一些实施方式中，第五半导体层35'可以用于减小第四半导体层34'和第二半导体层32'之间的晶格常数的差。即，第五半导体层35'可以是拉伸应变势垒减小(tsbr)层。作为示例，第五半导体层35'可以包括p-gainp、p-alinp、p-algainp等，但不限于此。此外，第三半导体层33'、第四半导体层34'和第五半导体层35'的长度可以在0.08μm至0.25μm的范围内，但不限于此。
[0317]
第一电极层37a'和第二电极层37b'可以分别设置在第一半导体层31'和第二半导体层32'上。第一电极层37a'可以设置在第一半导体层31'的下表面上，并且第二电极层37b'可以设置在第二半导体层32'的上表面上。然而，本公开不限于此，并且可以省略第一电极层37a'和第二电极层37b'中的至少一个。例如，在发光元件30'中，第一电极层37a'可以不设置在第一半导体层31'的下表面上，并且仅一个第二电极层37b'可以设置在第二半导体层32'的上表面上。
[0318]
接着，参考图38，发光元件30”可以具有其在一个方向上延伸的形状，但是可以具有其侧表面部分地倾斜的形状。即，根据实施方式的发光元件30”可以具有部分地锥形的形状。
[0319]
发光元件30”可以形成为使得多个层不在一个方向上堆叠，并且相应的层围绕任何其它层的外表面。发光元件30”可以形成为使得多个半导体层围绕任何其它层的外表面的至少一部分。发光元件30”可以包括半导体芯和绝缘膜38”，其中，半导体芯的至少部分区域在一个方向上延伸，绝缘膜38”形成为围绕半导体芯。半导体芯可以包括第一半导体层31”、有源层36”、第二半导体层32”和电极层37”。除了相应的层的形状部分地不同，发光元件30”与图30的发光元件30相同。在下文中，将省略对相同内容的描述，并且将描述与以上描述的内容不同的内容。
[0320]
根据实施方式，第一半导体层31”可以形成为在一个方向上延伸，并且形成为具有朝向中心部分倾斜的两端。第一半导体层31”可以具有呈杆形状或圆柱形状的主体部分、以及分别形成在主体部分的上部分和下部分处并且形成为具有倾斜的侧表面的端部。主体部分的上端可以具有比主体部分的下端更陡的倾斜度。
[0321]
有源层36”设置成围绕第一半导体层31”的主体部分的外表面。有源层36”可以具有其在一个方向上延伸的环形形状。有源层36”可以不形成在第一半导体层31”的上端和下端上。有源层36”可以仅形成在第一半导体层31”的不倾斜的侧表面上。然而，本公开不限于此。因此，从有源层36”发射的光不仅可以发射到发光元件30”的在长度方向上的两端，而且可以发射到发光元件30”的相对于长度方向的两个侧表面。图36的发光元件30”的有源层36”可以具有比图28的发光元件30的面积更大的面积，以发射比图28的发光元件30的光的量更大量的光。
[0322]
第二半导体层32”设置成围绕有源层36”的外表面和第一半导体层31”的上端。第二半导体层32”可以包括在一个方向上延伸并且具有环形状的主体部分、以及形成为具有倾斜的侧表面的上端。即，第二半导体层32”可以与有源层36”的平行侧表面和第一半导体层31”的倾斜上端直接接触。然而，第二半导体层32”不形成在第一半导体层31”的下端。
[0323]
电极层37”设置成围绕第二半导体层32”的外表面。即，电极层37”的形状可以与第二半导体层32”的形状基本上相同。即，电极层37”可以与第二半导体层32”的外表面完全接触。
[0324]
绝缘膜38”可以设置成围绕电极层37”和第一半导体层31”的外表面。绝缘膜38”可以与第一半导体层31”的下端、以及有源层36”和第二半导体层32”的暴露的下端以及电极层37”直接接触。
[0325]
设置在每个像素px和子像素pxn中的发光元件30具有一致的数量的显示装置10可以使用根据实施方式的喷墨印刷装置1000来制造。在显示装置10中，可以最小化每个像素px和子像素pxn中的发光元件30的数量的偏差，并且可以改善针对每个像素px的发光可靠性。
[0326]
在详细描述的最后，本领域的技术人员将理解，在本质上不背离本发明的原理的情况下，可以对优选实施方式进行许多变化和修改。因此，所公开的本发明的优选实施方式仅以概述性和描述性的含义使用，而不是出于限制的目的。
技术特征：
1.喷墨印刷装置，包括：台；喷墨头，定位在所述台上方并且包括多个喷嘴，包括双极性元件的油墨通过所述喷嘴排放，所述双极性元件具有掺杂成具有部分不同的极性的区域；以及致动器，设置在所述喷墨头中，并且调节从所述喷嘴排放的所述油墨的液滴；以及至少一个感测单元，设置在所述喷墨头中，并且测量通过所述喷嘴排放的双极性元件的数量。2.根据权利要求1所述的喷墨印刷装置，其中，所述喷墨头包括基础部分、排放部分和内管，在所述排放部分中，所述多个喷嘴设置在所述基础部分中，所述内管被供应所述油墨，以及所述油墨被供应到所述内管并在所述内管中流动，并且通过所述喷嘴排放。3.根据权利要求2所述的喷墨印刷装置，其中，所述感测单元包括第一感测部分和第二感测部分，其中，所述第一感测部分测量根据所述双极性元件的移动在所述油墨中产生的磁场，所述第二感测部分将根据通过由所述第一感测部分测量的所述磁场计算的所述双极性元件的所述数量的信号传递到所述致动器。4.根据权利要求3所述的喷墨印刷装置，其中，所述致动器接收根据由所述感测单元测量的双极性元件的所述数量的所述信号，并调节从所述喷嘴排放的所述油墨的所述液滴。5.根据权利要求3所述的喷墨印刷装置，其中，所述感测单元设置在向其供应所述油墨的所述内管的入口处。6.根据权利要求5所述的喷墨印刷装置，其中，所述内管的所述入口在设置所述感测单元的部分处具有比在其它部分处更小的直径。7.根据权利要求5所述的喷墨印刷装置，还包括设置在所述喷墨头上并调节所述油墨在其中流动的所述内管的直径的子致动器，其中，所述子致动器增加在所述内管中流动的所述油墨的流动速度。8.根据权利要求3所述的喷墨印刷装置，其中，所述感测单元设置在所述内管的所述入口和所述喷嘴之间。9.根据权利要求3所述的喷墨印刷装置，其中，所述感测单元设置在所述排放部分中。10.根据权利要求3所述的喷墨印刷装置，其中，所述感测单元还包括利用光照射所述双极性元件的光发射部分。11.根据权利要求10所述的喷墨印刷装置，其中，所述感测单元的所述基础部分由透明材料制成。12.用于印刷双极性元件的方法，包括：准备其中分散有多个双极性元件的油墨，并将所述油墨供应到喷墨头；在从所述喷墨头排放所述油墨的同时测量所排放的油墨中的双极性元件的数量；以及当所述油墨中的双极性元件的所述数量超过参考设定值时，调节供应到所述喷墨头的所排放的油墨的液滴。13.根据权利要求12所述的用于印刷双极性元件的方法，其中，通过设置在所述喷墨头中的至少一个感测单元来执行双极性元件的所述数量的测量，以及所述感测单元测量根据所述双极性元件的移动而在所述油墨中产生的磁场。
14.根据权利要求13所述的用于印刷双极性元件的方法，其中，调节所排放的油墨的所述液滴包括：由所述感测单元感测所述双极性元件的所述数量的变化；以及根据所述双极性元件的所述数量的所述变化来调节每单位工艺排放的所述油墨的液滴。15.根据权利要求14所述的用于印刷双极性元件的方法，其中，将从所述喷墨头排放的所述油墨喷射到目标衬底上，以及所述用于印刷双极性元件的方法还包括将所述双极性元件安置在所述目标衬底上。16.根据权利要求15所述的用于印刷双极性元件的方法，其中，在所述目标衬底上限定多个区域，以及根据双极性元件的所述数量的所述变化，调节所述油墨的所述液滴，使得喷射到所述多个区域中的双极性元件的所述数量是一致的。17.根据权利要求13所述的用于印刷双极性元件的方法，其中，在排放所述油墨的同时测量所排放的油墨中的双极性元件的所述数量是使用喷墨印刷装置来执行的，以及所述喷墨印刷装置包括：台；所述喷墨头，定位在所述台上方并包括多个喷嘴，包括所述双极性元件的所述油墨通过所述喷嘴排放，所述双极性元件具有掺杂成具有部分不同的极性的区域；以及致动器，设置在所述喷墨头中，并且调节从所述喷嘴排放的所述油墨的所述液滴；以及所述至少一个感测单元，设置在所述喷墨头中，并且测量通过所述喷嘴排放的双极性元件的所述数量。18.根据权利要求17所述的用于印刷双极性元件的方法，其中，所述致动器根据由所述感测单元测量的双极性元件的所述数量的变化来调节从所述喷嘴排放的所述油墨的液滴。19.用于制造显示装置的方法，包括：准备目标衬底，所述目标衬底包括彼此划分开的多个区域，并且具有形成在所述多个区域中的第一电极和第二电极；将所述油墨喷射到所述多个区域中，同时根据分散在所述油墨中的发光元件的数量控制所述油墨的液滴；以及将所述发光元件安置在所述第一电极和所述第二电极上。20.根据权利要求19所述的用于制造显示装置的方法，其中，喷射所述油墨包括：测量所喷射的油墨中的发光元件的所述数量；以及当所喷射的油墨中的所述发光元件的所述数量超过参考设定值时，通过调节喷射到所述多个区域中的所述油墨的液滴来控制发光元件的所述数量。21.根据权利要求20所述的用于制造显示装置的方法，其中，所述发光元件包括掺杂成具有第一极性的第一半导体层、掺杂成具有不同于所述第一极性的第二极性的第二半导体层、以及设置在所述第一半导体层和所述第二半导体层之间的有源层。22.根据权利要求21所述的用于制造显示装置的方法，其中，测量所喷射的油墨中的发光元件的所述数量包括：测量根据所述发光元件的移动而在所述油墨中产生的磁场。
技术总结
提供喷墨印刷装置、用于印刷双极性元件的方法以及用于制造显示装置的方法。喷墨印刷装置包括：台；喷墨头，设置在台上方并且包括多个喷嘴，通过多个喷嘴排放包括双极性元件的油墨，双极性元件各自具有掺杂成具有不同极性的部分区域；以及致动器，设置在喷墨头中以调节通过喷嘴排放的油墨的液滴的量；以及至少一个感测单元，设置在喷墨头中以测量通过喷嘴排放的双极性元件的数量。的双极性元件的数量。的双极性元件的数量。
