一种晶圆片清洗烘干装置的制作方法
1.本实用新型涉及晶圆片烘干技术，具体为一种晶圆片清洗烘干装置。
背景技术：
2.目前干燥晶圆片的方法一般有两种：一种是通过手动方式用氮对晶圆片进行吹干，由于此种方式需要通过手动操作，工作效率较低，操作时不仅容易在晶圆片的边缘产生水痕，且还容易导致晶圆片干燥不均匀，同时稍不小心还容易使晶圆片破碎；另一种是通过晶圆片烘干机对晶圆片进行干燥，此种方式大大提高了干燥晶圆片的工作效率；
3.但目前现有的晶圆片烘干机仍存在不足之处，大多数烘干机都是采用风机吹干的方式，此种方式在对晶圆片进行吹干时，仍然容易导致晶圆片干燥不均匀，同时由于水分是在晶圆片上吹干的过程较慢，容易在晶圆片上留下水痕，影响晶圆片的使用；
4.针对上述技术问题，本技术提出一种解决方案。
技术实现要素：
5.本实用新型中在对晶圆片进行烘干时，是通过吸盘将晶圆片从上一工位转移至烘干工位，当晶圆片放置与烘干工位后，通过甩干盘的高速转动将晶圆片的水分加速甩下，再配合热风从晶圆片两侧同时吹动，加速残留水分的蒸发，提高水分的蒸发速度，防止晶圆片上残留水痕，保证晶圆片的清洗烘干效果，解决晶圆片在吹干时干燥不均匀，同时水分蒸发慢容易留下水痕的问题，而提出一种晶圆片清洗烘干装置。
6.本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：
7.一种晶圆片清洗烘干装置，包括盖板与晶圆生产装置，所述盖板下方固定连接有底板，所述底板固定安装于晶圆生产装置上表面，所述底板一端固定安装有驱动电机，所述驱动电机输出轴贯穿底板侧壁并连通至底板内部，所述底板内部转动连接有丝杆，所述丝杆与驱动电机输出轴固定连接；
8.所述盖板上表面滑动连接有连接板，所述盖板下表面滑动连接有滑动板，所述滑动板与连接板边缘处通过螺栓固定连接，所述连接板上表面固定安装有气缸架，所述气缸架外壁固定安装有升降气缸，所述升降气缸输出轴底端固定连接吸盘架，所述吸盘架竖直方向安装有吸盘头，所述底板靠近吸盘头的一侧固定安装有甩干池，所述甩干池内部转动连接有甩干盘。
9.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述底板内壁两侧固定安装有滑轨，所述滑动板下表面两侧固定连接有滑块，所述滑动板下表面中部固定连接有滑动座，所述滑块滑动连接在滑轨外壁，所述滑动座套接在丝杆外壁，所述滑动板与滑动座一端通过连接片固定连接。
10.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述甩干池下表面固定连接有甩干支架，所述甩干池通过甩干支架固定安装与晶圆生产装置中，所述甩干支架下表面固定安装有甩干电机，所述甩干池底部固定安装有齿轮箱，所述甩干电机输出轴连接在齿轮箱内部，所述
甩干盘底端通过转轴与齿轮箱内部相连接。
11.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述滑动座朝向驱动电机的一端固定安装有防撞脚垫，所述丝杆远离驱动电机的一端通过深沟球轴承与底板内壁转动连接，所述底板位于深沟球轴承下方位置也固定安装有防撞脚垫。
12.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述滑块与滑轨相连接部分通过t字形槽相连接。
13.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述甩干盘两端两侧开设有出风口，该出风口通过风管与热风源相连接。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.本实用新型中，在对晶圆片进行烘干时，通过吸盘将晶圆片从上一工位转移至烘干工位，当晶圆片放置与烘干工位后，通过甩干盘的高速转动将晶圆片的水分加速甩下，再配合热风从晶圆片两侧同时吹动，加速残留水分的蒸发，提高水分的蒸发速度，防止晶圆片上残留水痕，保证晶圆片的清洗烘干效果。
附图说明
16.为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
17.图1为本实用新型的结构主视示意图；
18.图2为本实用新型的连接架结构示意图；
19.图3为本实用新型图2中a处放大结构示意图；
20.图4为本实用新型的滑块结构示意图；
21.图5为本实用新型的甩干盘结构示意图。
22.图中：1、盖板；2、底板；3、甩干池；4、甩干支架；5、甩干电机；6、甩干盘；7、丝杆；8、连接片；9、滑动板；10、滑块；11、连接板；12、气缸架；13、升降气缸；14、吸盘架；15、吸盘头；16、防撞脚垫；17、滑动座；18、齿轮箱；19、驱动电机；20、滑轨。
具体实施方式
23.下面将结合实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.实施例一：
25.现有的晶圆片烘干机仍存在不足之处，大多数烘干机都是采用风机吹干的方式，此种方式在对晶圆片进行吹干时，仍然容易导致晶圆片干燥不均匀，同时由于水分是在晶圆片上吹干的过程较慢，容易在晶圆片上留下水痕，影响晶圆片的使用。
26.请参阅图1－图5所示，一种晶圆片清洗烘干装置，包括盖板1与晶圆生产装置，晶圆生产装置放置于底面，盖板1下方固定连接有底板2，底板2横截面呈u型结构，底板2固定安装于晶圆生产装置上表面，底板2一端固定安装有驱动电机19，驱动电机19由控制系统控制，驱动电机19输出轴贯穿底板2侧壁并连通至底板2内部，底板2内部转动连接有丝杆7，丝杆7与驱动电机19输出轴固定连接，通过驱动电机19带动丝杆7转动，滑动座17套接在丝杆7
外壁，通过丝杆7转动，驱动滑动座17在丝杆7上平移，滑动板9与滑动座17一端通过连接片8固定连接，保证滑动座17的稳定性，滑动座17朝向驱动电机19的一端固定安装有防撞脚垫16，防止滑动座17与底板2两端发生转动，丝杆7远离驱动电机19的一端通过深沟球轴承与底板2内壁转动连接，底板2位于深沟球轴承下方位置也固定安装有防撞脚垫16；
27.盖板1上表面滑动连接有连接板11，盖板1下表面滑动连接有滑动板9，滑动板9与连接板11边缘处通过螺栓固定连接，使得盖板1与滑动板9形成的整体套在盖板1上并能够在盖板1上滑动，底板2内壁两侧固定安装有滑轨20，滑动板9下表面两侧固定连接有滑块10，滑动板9下表面中部固定连接有滑动座17，滑块10滑动连接在滑轨20外壁，滑块10与滑轨20相连接部分通过t字形槽相连接，保证滑块10与滑轨20连接的紧密性，连接板11上表面固定安装有气缸架12，气缸架12为开槽结构，减少材料用量与自重，节省成本，气缸架12外壁固定安装有升降气缸13，升降气缸13输出轴底端固定连接吸盘架14，通过升降气缸13带动吸盘架14在竖直方向上移动，吸盘架14竖直方向安装有吸盘头15，通过吸盘头15吸取晶圆片，底板2靠近吸盘头15的一侧固定安装有甩干池3，甩干池3内部转动连接有甩干盘6，晶圆片放置于甩干盘6上方，通过甩干盘6带动晶圆片转动进行甩干，甩干池3下表面固定连接有甩干支架4，甩干池3通过甩干支架4固定安装与晶圆生产装置中，甩干支架4下表面固定安装有甩干电机5，甩干池3底部固定安装有齿轮箱18，甩干电机5输出轴连接在齿轮箱18内部，甩干盘6底端通过转轴与齿轮箱18内部相连接，甩干电机5通过齿轮箱18带动甩干盘6转动，甩干盘6两端两侧开设有出风口，该出风口通过风管与热风源相连接，通过出风口吹出热封对晶圆片进行烘干。
28.工作原理如下：
29.本实用新型中，晶圆片在清洗过后，通过升降气缸13控制吸盘头15吸取晶圆片，然后通过驱动电机19带动丝杆7转动，丝杆7控制滑动座17平移，从而带动滑动板9与滑块10在底板2内平移，当晶圆片移动至甩干盘6上时，升降气缸13控制吸盘头15将晶圆片放置于甩干盘6上，通过甩干电机5带动甩干盘6转动，同时两端的出风口对晶圆片吹热风，从而加速晶圆片上水分的蒸发速度，增加烘干效率的同时防止晶圆片上残留水痕。
30.以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。
31.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
32.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
技术特征：
1.一种晶圆片清洗烘干装置，包括盖板(1)与晶圆生产装置，其特征在于，所述盖板(1)下方固定连接有底板(2)，所述底板(2)固定安装于晶圆生产装置上表面，所述底板(2)一端固定安装有驱动电机(19)，所述驱动电机(19)输出轴贯穿底板(2)侧壁并连通至底板(2)内部，所述底板(2)内部转动连接有丝杆(7)，所述丝杆(7)与驱动电机(19)输出轴固定连接；所述盖板(1)上表面滑动连接有连接板(11)，所述盖板(1)下表面滑动连接有滑动板(9)，所述滑动板(9)与连接板(11)边缘处通过螺栓固定连接，所述连接板(11)上表面固定安装有气缸架(12)，所述气缸架(12)外壁固定安装有升降气缸(13)，所述升降气缸(13)输出轴底端固定连接吸盘架(14)，所述吸盘架(14)竖直方向安装有吸盘头(15)，所述底板(2)靠近吸盘头(15)的一侧固定安装有甩干池(3)，所述甩干池(3)内部转动连接有甩干盘(6)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗烘干装置，其特征在于，所述底板(2)内壁两侧固定安装有滑轨(20)，所述滑动板(9)下表面两侧固定连接有滑块(10)，所述滑动板(9)下表面中部固定连接有滑动座(17)，所述滑块(10)滑动连接在滑轨(20)外壁，所述滑动座(17)套接在丝杆(7)外壁，所述滑动板(9)与滑动座(17)一端通过连接片(8)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗烘干装置，其特征在于，所述甩干池(3)下表面固定连接有甩干支架(4)，所述甩干池(3)通过甩干支架(4)固定安装与晶圆生产装置中，所述甩干支架(4)下表面固定安装有甩干电机(5)，所述甩干池(3)底部固定安装有齿轮箱(18)，所述甩干电机(5)输出轴连接在齿轮箱(18)内部，所述甩干盘(6)底端通过转轴与齿轮箱(18)内部相连接。4.根据权利要求2所述的一种晶圆片清洗烘干装置，其特征在于，所述滑动座(17)朝向驱动电机(19)的一端固定安装有防撞脚垫(16)，所述丝杆(7)远离驱动电机(19)的一端通过深沟球轴承与底板(2)内壁转动连接，所述底板(2)位于深沟球轴承下方位置也固定安装有防撞脚垫(16)。5.根据权利要求2所述的一种晶圆片清洗烘干装置，其特征在于，所述滑块(10)与滑轨(20)相连接部分通过t字形槽相连接。6.根据权利要求3所述的一种晶圆片清洗烘干装置，其特征在于，所述甩干盘(6)两端两侧开设有出风口，该出风口通过风管与热风源相连接。
技术总结
本实用新型涉及晶圆片烘干技术，用于解决晶圆片在吹干时干燥不均匀，同时水分蒸发慢容易留下水痕的问题，具体为一种晶圆片清洗烘干装置，包括丝杆与滑动座，丝杆带动滑动座移动，滑动座上安装有升降电机与吸盘头，吸盘头能够将晶圆片转运至甩干盘上进行甩干，甩干池中设置有热风出口对晶圆片进行烘干；本实用新型中在对晶圆片进行烘干时，通过吸盘将晶圆片从上一工位转移至烘干工位，当晶圆片放置与烘干工位后，通过甩干盘的高速转动将晶圆片的水分加速甩下，再配合热风从晶圆片两侧同时吹动，加速残留水分的蒸发，提高水分的蒸发速度，防止晶圆片上残留水痕，保证晶圆片的清洗烘干效果。果。果。
