一种用于光刻胶的烘干机的制作方法
1.本实用新型涉及光刻胶烘干技术领域，尤其涉及一种用于光刻胶的烘干机。
背景技术：
2.光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体，在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料，半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像，均胶和烘干是光刻工艺中的一道工序，为增加胶层与硅片表面粘附能力，提高在接触式曝光中胶层与掩模版接触时的耐磨性能及稳定胶层的感光灵敏度，通常采用烘箱或加热板等加热设备对光刻胶进行干燥。
3.现有的用于光刻胶的烘干机，在对小于烘干机内部的烘干空间的光刻胶半导体进行烘干时，因内部空间较大，导致烘干机内部升温耗时较长，难以随着光刻胶半导体的大小，调整烘干空间的大小，从而节省烘干时间。
技术实现要素：
4.本实用新型的目的是为了解决现有的用于光刻胶的烘干机，在对小于烘干机内部的烘干空间的光刻胶半导体进行烘干时，因内部空间较大，导致烘干机内部升温耗时较长，难以随着光刻胶半导体的大小，调整烘干空间的大小，从而节省烘干时间的缺点，而提出的一种用于光刻胶的烘干机。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种用于光刻胶的烘干机，包括：
7.烘干箱，所述烘干箱的外部安装有电器盒，且电器盒的中部插接有电动推杆，所述烘干箱的内部两侧安装有活动板，且活动板的背面与电动推杆的伸缩端相连接，所述烘干箱的内侧中部顶端连通有散热通道，且散热通道的底部安装有散热扇，所述散热扇外部连接风琴式钢片，且风琴式钢片的另一端与活动板的内壁相连接；
8.加热板，所述加热板安装在烘干箱的内侧底部，且加热板的上方设置有排风扇，所述活动板的内壁安装有固定板，且固定板的顶部设置有线性轨道，所述线性轨道的内部滑动连接有直线电机，且直线电机的顶部安装有连接板，所述连接板的内侧安装有伸缩架，且伸缩架的上方设置有承载片。
9.优选的，所述风琴式钢片与散热扇的边框之间为固定连接，且风琴式钢片分布有两组。
10.优选的，所述活动板通过电动推杆与烘干箱构成伸缩结构，且活动板与固定板之间为固定连接。
11.优选的，所述伸缩架端头与连接板的外壁之间为活动连接，且伸缩架的收缩高度与连接板的板块厚度相等。
12.优选的，所述连接板通过直线电机、线性轨道与固定板构成移动结构，且连接板的板面开设有通孔。
13.综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型中，设置有活动板、电动推杆、连接板、伸缩杆以及排风扇，通过启动电动推杆调节烘干箱内的两组活动板，方便根据光刻胶半导体的大小，调整烘干箱内的烘干空间，避免对较小的光刻胶半导体进行烘干时，过大的烘干空间预热速度较慢，进而影响烘干箱的烘干效果以及烘干箱的升温速度。
15.2、本实用新型中，设置有连接板、直线电机以及线性轨道的作用，通过启动直线电机配合线性轨道带动连接板，在烘干箱内进行进/出工作，方便取出烘干的光刻胶半导体，表面从烘干箱内进行取放工作时，因存在视线盲区，从而导致操作员的手部接触烘干箱内的铁质材料，进而对手部造成伤害。
附图说明
16.图1为本实用新型中正面内部结构示意图；
17.图2为本实用新型中俯视内部结构示意图；
18.图3为本实用新型中连接板的板面结构示意图。
19.图例说明：
20.1、烘干箱；2、电器盒；3、散热扇；4、散热通道；5、风琴式钢片；6、活动板；7、承载片；8、伸缩架；9、连接板；10、固定板；11、加热板；12、排风扇；13、电动推杆；14、线性轨道；15、直线电机；16、通孔。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.参照图1-3，一种用于光刻胶的烘干机，包括烘干箱1，烘干箱1的外部安装有电器盒2，且电器盒2的中部插接有电动推杆13，烘干箱1的内部两侧安装有活动板6，且活动板6的背面与电动推杆13的伸缩端相连接，活动板6通过电动推杆13与烘干箱1构成伸缩结构，且活动板6与固定板10之间为固定连接，活动板6的内侧设置有保温铝箔层，使得烘干箱1内升温效果较快，通过启动电动推杆13推动活动板6，方便根据光刻胶半导体的大小，调整两组活动板6之间的距离，根据需求缩小烘干箱1内部的烘干空间，从而能够提高光刻胶半导体的烘干效率，烘干箱1的内侧中部顶端连通有散热通道4，且散热通道4的底部安装有散热扇3，散热扇3外部连接风琴式钢片5，且风琴式钢片5的另一端与活动板6的内壁相连接，风琴式钢片5与散热扇3的边框之间为固定连接，且风琴式钢片5分布有两组，通过风琴式钢片5所连接的散热扇3，方便在完成工艺光刻胶的烘干工作后，通过散热扇3，将烘干箱1内的热能导出，使得能够为高温烘干的光刻胶半导体提供降温功能，能够避免后续操作员取拿烘干完成的光刻胶半导体，出现烫伤操作，或者等待自然降温，从而影响后续光刻胶半导体的烘干进度；
23.加热板11，加热板11安装在烘干箱1的内侧底部，且加热板11的上方设置有排风扇12，活动板6的内壁安装有固定板10，且固定板10的顶部设置有线性轨道14，线性轨道14的内部滑动连接有直线电机15，且直线电机15的顶部安装有连接板9，连接板9通过直线电机15、线性轨道14与固定板10构成移动结构，且连接板9的板面开设有通孔16，通过连接板9上通孔16的设置，使得排风扇12底部的热能，能够顺利被导出进入烘干箱1内部，提高烘干箱1内部的温度，对烘干箱1内的光刻胶半导进行高温烘干工作，通过直线电机15配合线性轨道14，方便带动连接板9在烘干箱1内进行移动工作，方便带动光刻胶半导体在烘干箱1内进行进/出工作，能够避免人工从烘干箱1内取放光刻胶导体时，因视线产生盲区，从而触碰铁质物品，造成烫伤现象，对工作人员的身体造成伤害，连接板9的内侧安装有伸缩架8，且伸缩架8的上方设置有承载片7(承载片7由两组梳齿板组成，因此可随着两组连接板9顺利完成长度的调节)，伸缩架8端头与连接板9的外壁之间为活动连接，且伸缩架8的收缩高度与连接板9的板块厚度相等，通过伸缩架8的配合，使得两组连接板9能够顺利完成调节工作，进而完成烘干空间的调整工作，使得烘干效率高。
24.工作原理：使用时，首先根据光刻胶半导体的大小，启动电动推杆13，调整两组活动板6之间的距离，进而调节烘干箱1内的烘干空间，提高烘干箱1的烘干效率，然后，通过连接板9、伸缩架8及承载片7组成放置板，而后通过直线电机15配合线性轨道14，使其移出烘干箱1内，方便将光刻胶半导体进行放置工作，而后移入烘干箱1内，再次，通过启动排风扇12、加热板11，配合伸缩架8的铁质导热特性以及连接板9上的通孔16，使得热能被很好的导入烘干箱1内提高内部温度，为光刻胶半导体进行烘干工作，最后，当完成烘干工作后，通过启动散热扇3将烘干箱1内的热能导出至散热通道4内，使得烘干箱1内的温度降温，方便操作员取拿烘干完成的光刻胶半导体。
25.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
技术特征：
1.一种用于光刻胶的烘干机，其特征在于，包括：烘干箱(1)，所述烘干箱(1)的外部安装有电器盒(2)，且电器盒(2)的中部插接有电动推杆(13)，所述烘干箱(1)的内部两侧安装有活动板(6)，且活动板(6)的背面与电动推杆(13)的伸缩端相连接，所述烘干箱(1)的内侧中部顶端连通有散热通道(4)，且散热通道(4)的底部安装有散热扇(3)，所述散热扇(3)外部连接风琴式钢片(5)，且风琴式钢片(5)的另一端与活动板(6)的内壁相连接；加热板(11)，所述加热板(11)安装在烘干箱(1)的内侧底部，且加热板(11)的上方设置有排风扇(12)，所述活动板(6)的内壁安装有固定板(10)，且固定板(10)的顶部设置有线性轨道(14)，所述线性轨道(14)的内部滑动连接有直线电机(15)，且直线电机(15)的顶部安装有连接板(9)，所述连接板(9)的内侧安装有伸缩架(8)，且伸缩架(8)的上方设置有承载片(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的烘干机，其特征在于：所述风琴式钢片(5)与散热扇(3)的边框之间为固定连接，且风琴式钢片(5)分布有两组。3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的烘干机，其特征在于：所述活动板(6)通过电动推杆(13)与烘干箱(1)构成伸缩结构，且活动板(6)与固定板(10)之间为固定连接。4.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的烘干机，其特征在于：所述伸缩架(8)端头与连接板(9)的外壁之间为活动连接，且伸缩架(8)的收缩高度与连接板(9)的板块厚度相等。5.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶的烘干机，其特征在于：所述连接板(9)通过直线电机(15)、线性轨道(14)与固定板(10)构成移动结构，且连接板(9)的板面开设有通孔(16)。
技术总结
本实用新型公开了一种用于光刻胶的烘干机，涉及光刻胶烘干技术领域，包括烘干箱，所述烘干箱的外部安装有电器盒，且电器盒的中部插接有电动推杆，所述烘干箱的内部两侧安装有活动板，且活动板的背面与电动推杆的伸缩端相连接，所述烘干箱的内侧中部顶端连通有散热通道，且散热通道的底部安装有散热扇，所述散热扇外部连接风琴式钢片。本实用新型中，设置有活动板、电动推杆、连接板、伸缩杆以及排风扇，通过启动电动推杆调节烘干箱内的两组活动板，方便根据光刻胶半导体的大小，调整烘干箱内的烘干空间，避免对较小的光刻胶半导体进行烘干时，过大的烘干空间预热速度较慢，进而影响烘干箱的烘干效果以及烘干箱的升温速度。干箱的烘干效果以及烘干箱的升温速度。干箱的烘干效果以及烘干箱的升温速度。
