一种气体管路内有害气体的排出装置的制作方法
1.本实用新型涉及半导体真空设备领域，特别涉及一种气体管路内有害气体的排出装置，基于某型号蚀刻设备平台进行改善。
背景技术：
2.当前信息技术及其相关产业正处在迅猛发展阶段，半导体技术作为支撑该行业发展的基础，有着无与伦比的重要地位。对于半导体工艺技术，涉及镀膜、刻蚀等环节，真空制造设备是其中重要一环。
3.工艺气体的供应，是真空制造设备工艺实现的必要条件之一。而在工艺气体的供应功能结构内，涉及多个部件单元，包括气体流通管路，气体过滤器，气体质量流量控制器，气体流通控制阀门。若其中任一结构发生损坏异常，对该单元的更换，都需要将管路内的残余气体进行安全排出，以免对作业人员人身安全及环境造成影响。
4.对气体管路内残余的工艺气体进行排出，目前主流设备均采用通过质量流量控制器清空管路内残留气体的排出方案。在该种方案下，当部件单元处于正常工作状态下，管路内气体能够正常排出，从而实现完全排出的目的；而当某一部件异常损坏无法工作，清空操作仅能排出损坏部件到真空腔室该段气体管路内的气体，在更换异常损坏部件时，仍无法避免异常损坏部件前段的工艺气体的逸散。尤其当工艺气体存在有害性时，会造成严重影响。
技术实现要素：
5.本实用新型提供一种气体管路内有害气体的排出装置，其有益效果为能够在工艺气体的供应结构内任一单元异常更换时，实现工艺气体的完全排出。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种气体管路内有害气体的排出装置，工艺腔室本体1的底部设置有气体管路3，气体管路3包括有抽真空管路31和气体流通管路32。
8.所述抽真空管路31的始端经由抽真空管口2连通于工艺腔室本体1的底部，所述抽真空管路31的管道上还设置有一气体流通控制阀门a4，所述抽真空管路31的末端连通于气体流通管路32的末端。
9.所述气体流通管路32的始端管道连通于工艺腔室本体1的底部，所述气体流通管路32上依次安装有气体流通控制阀门b5、质量流量控制器6、机械手阀7和气体过滤器8；所述气体流通管路32的末端连通于厂务气体阀门接口9。
10.本实用新型的有益效果为：
11.本实用新型通过对当前结构的改进，实现在工艺气体的供应结构内任一单元异常更换时，对有害工艺气体的完全排出，避免对作业人员及环境产生影响。
12.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1为本实用新型气体管路内有害气体的排出装置的整体结构示意图。
15.附图标记说明：工艺腔室本体1；工艺腔室抽真空管口2；气体管路3；气体流通控制阀门a4；气体流通控制阀门b5；质量流量控制器6；机械手阀7；气体过滤器8；厂务气体阀门接口9。
具体实施方式
16.下面将参照附图更详细地描述本实用新型公开的示例性实施例，这些实施例是为了能够更透彻地理解本实用新型，并且能够将本实用新型公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。虽然附图中显示了本实用新型公开的示例性实施例，然而应当理解，本实用新型而不应被这里阐述的实施例所限制。
17.一种气体管路内有害气体的排出装置，工艺腔室本体1的底部设置有气体管路3，气体管路3包括有抽真空管路31和气体流通管路32。所述抽真空管路31和所述气体流通管路32均采用不锈钢制成。如图1所示，将设备气体流通管路32于厂务气体阀门接口9之后增加独立的抽真空管路31。
18.所述抽真空管路31的始端经由抽真空管口2连通于工艺腔室本体1的底部，所述抽真空管路31的管道上还设置有一气体流通控制阀门a4，所述抽真空管路31的末端连通于气体流通管路32的末端。所述抽真空管路31和气体流通管路32的连通方式为焊接。
19.所述气体流通管路32的始端管道连通于工艺腔室本体1的底部，所述气体流通管路32上依次安装有气体流通控制阀门b5、质量流量控制器6、机械手阀7和气体过滤器8；所述气体流通管路32的末端连通于厂务气体阀门接口9。所述气体流通管路32和厂务气体阀门接口9的连通方式为焊接。
20.实际使用时：所述气体流通控制阀门a4和所述气体流通控制阀门b5的型号为nupro valve ss-bnv51-c。所述质量流量控制器6的型号为horiba stec sec-n100。所述机械手阀7的型号为nupro swagelok ss-bnv51-bl。所述气体过滤器8的型号为mott pou-5-sv1。
21.实际使用时：为减少额外的功能增加，气体流通控制阀门a4、气体流通控制阀门b5、质量流量控制器6、气体过滤器8的控制，可以由设备多信号远传系统控制。
22.气体管路内有害气体的排出装置的工作原理：
23.正常情况下，气体流通控制阀门a4处于关闭状态。工艺气体通过结构厂务气体阀门接口9
→
气体过滤器8
→
机械手阀7
→
质量流量控制器6
→
气体流通控制阀门b5，进入工艺腔室本体1。
24.当系统中某一部件出现异常需更换时，先将厂务端总阀门关闭，保证系统内无气体源。随后通过打开气体流通控制阀门a4，将该部件上方的气体排出；通过工艺腔室本体1抽真空将该部件下方的气体排出，从而达到抽净管路内残余工艺气体的目的。
25.当气体流通控制阀门a4出现异常需更换时，通过正常工艺管路将其上管路抽至真空。
26.完成整个系统抽真空后，对异常结构件进行更换。
27.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，上面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行了清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
28.因此，以上对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
30.在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
技术特征：
1.一种气体管路内有害气体的排出装置，其特征在于：工艺腔室本体(1)的底部设置有气体管路(3)，气体管路(3)包括有抽真空管路(31)和气体流通管路(32)；所述抽真空管路(31)的始端经由抽真空管口(2)连通于工艺腔室本体(1)的底部，所述抽真空管路(31)的管道上还设置有一气体流通控制阀门a(4)，所述抽真空管路(31)的末端连通于气体流通管路(32)的末端；所述气体流通管路(32)的始端管道连通于工艺腔室本体(1)的底部，所述气体流通管路(32)上依次安装有气体流通控制阀门b(5)、质量流量控制器(6)、机械手阀(7)和气体过滤器(8)；所述气体流通管路(32)的末端连通于厂务气体阀门接口(9)。2.根据权利要求1所述的一种气体管路内有害气体的排出装置，其特征在于：所述抽真空管路(31)和所述气体流通管路(32)均采用不锈钢制成。3.根据权利要求1所述的一种气体管路内有害气体的排出装置，其特征在于：所述气体流通控制阀门a(4)和所述气体流通控制阀门b(5)的型号为nupro valve ss-bnv51-c。4.根据权利要求1所述的一种气体管路内有害气体的排出装置，其特征在于：所述质量流量控制器(6)的型号为horiba stec sec-n100。5.根据权利要求1所述的一种气体管路内有害气体的排出装置，其特征在于：所述机械手阀(7)的型号为nupro swagelok ss-bnv51-bl。6.根据权利要求1所述的一种气体管路内有害气体的排出装置，其特征在于：所述气体过滤器(8)的型号为mott pou-5-sv1。7.根据权利要求1所述的一种气体管路内有害气体的排出装置，其特征在于：所述抽真空管路(31)和气体流通管路(32)的连通方式为焊接；所述气体流通管路(32)和厂务气体阀门接口(9)的连通方式为焊接。
技术总结
一种气体管路内有害气体的排出装置，工艺腔室本体1的底部设置有气体管路3，所述抽真空管路31的始端经由抽真空管口2连通于工艺腔室本体1的底部，所述抽真空管路31的管道上还设置有一气体流通控制阀门A4，所述抽真空管路31的末端连通于气体流通管路32的末端；所述气体流通管路32的始端管道连通于工艺腔室本体1的底部，所述气体流通管路32上依次安装有气体流通控制阀门B5、质量流量控制器6、机械手阀7和气体过滤器8；所述气体流通管路32的末端连通于厂务气体阀门接口9。本实用新型通过对当前结构的改进，实现在工艺气体的供应结构内任一单元异常更换时，对有害工艺气体的完全排出，避免对作业人员及环境产生影响。避免对作业人员及环境产生影响。避免对作业人员及环境产生影响。
