风冷组件的制作方法
1.本发明涉及半导体工艺领域，具体地，涉及一种风冷组件。
背景技术：
2.硅外延工艺是在高温下通过气相化学反应在抛光的硅单晶片上生长一层或多层硅单晶薄膜的工艺，通过控制生长条件可以获得不同电阻率、不同厚度及不同型号的外延层，该工艺主要用于制造各种硅集成电路和分立器件中重要的基础材料，大直径的硅集成电路芯片生长线均选用硅外延作为起始材料。目前主流的硅外延设备有多片硅外延设备及单片硅外延设备两种，其中，单片硅外延设备通常利用灯和反射屏加热石英腔室进行化学气相沉积，在单晶硅衬底上生长出一定厚度的与原衬底晶格排列相同的单晶硅。
3.单片硅外延设备进行硅外延工艺时，反应温度可达1000℃以上，因此通常需要采用水冷和风冷两种冷却方式对工艺腔室进行冷却。风冷系统通常由离心式鼓风基于动能转换为势能的原理，如图1所示，风机10利用高速旋转的叶轮将气体加速，然后减速、改变流向，使气体动能转换成压力势能，最终通过风道1向工艺腔室2中通入冷却气体。
4.然而，风机在运转过程中会不可避免地产生振动，强度过高的振动传递至机台时会对机台造成危害，严重时会导致晶圆在工艺过程中脱落，因此，如何提高对风机的减震效果，减少风机振动对机台造成的危害，成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现要素：
5.本发明旨在提供一种风冷组件，该风冷组件能够提高对风机的减震效果，减少风机振动对机台造成的危害。
6.为实现上述目的，本发明提供一种风冷组件，应用于半导体工艺设备，所述风冷组件包括风机和支撑装置，所述风机用于向所述半导体工艺设备的工艺腔室提供气体，所述支撑装置用于固定设置在所述半导体工艺设备的机架上，并支撑所述风机；所述支撑装置包括至少一个第一弹性机构，所述第一弹性机构包括顶座、底座和弹性支撑模组，所述顶座与所述风机的底部连接，所述底座用于与所述半导体工艺设备的机架固定连接，所述弹性支撑模组用于驱动所述顶座与所述底座相互远离，且所述弹性支撑模组施加在所述顶座与所述底座上的驱动力随所述顶座与所述底座相互靠近而增大。
7.可选地，所述弹性支撑模组包括上磁性部和下磁性部，所述上磁性部固定设置在所述顶座上、所述下磁性部固定设置在所述底座上，且所述上磁性部与所述下磁性部能够产生互斥的磁场，以驱动所述顶座与所述底座相互远离。
8.可选地，所述上磁性部包括固定设置在所述顶座上的上铁芯和环绕所述上铁芯设置的上电磁线圈；所述下磁性部包括固定设置在所述底座上的下铁芯和环绕所述下铁芯设置的下电磁线圈；所述上磁性部能够在所述上电磁线圈中通电时产生磁场，所述下磁性部能够在所述下电磁线圈中通电时产生磁场，所述上电磁线圈与所述下电磁线圈同轴设置。
9.可选地，所述支撑装置还包括风机调节板和风机支撑座，所述风机调节板水平设
置在所述风机支撑座的顶面上方，所述风机调节板与所述风机连接，所述风机支撑座用于与所述半导体工艺设备的机架固定连接，第一弹性机构的数量为多个，且多个所述第一弹性机构设置在所述风机调节板与所述风机支撑座之间，所述顶座与所述风机调节板固定连接，所述底座与所述风机支撑座固定连接。
10.可选地，所述支撑装置还包括第一螺母，所述上铁芯包括相互连接的第一连接杆和铁芯主体，所述第一连接杆的横截面尺寸小于所述铁芯主体的横截面尺寸，所述顶座上形成有形状与所述第一连接杆对应的第一避让孔，所述风机调节板上形成有位置与多个所述第一弹性机构一一对应且形状与所述第一连接杆对应的多个第一安装孔；所述第一连接杆上形成有外螺纹，所述第一连接杆的顶端依次穿过所述第一避让孔以及对应的所述第一安装孔，所述第一螺母套设在所述第一连接杆上，以将所述上铁芯、所述顶座和所述风机调节板固定连接。
11.可选地，所述支撑装置还包括多个第一防震橡胶座，多个所述第一防震橡胶座连接在所述风机的底面与所述风机调节板的顶面之间。
12.可选地，所述风冷组件还包括支撑横梁和至少一个第二弹性机构，所述支撑横梁用于固定设置在所述机架上，所述第二弹性机构包括安装座、连接件和弹性件，所述连接件与所述风机固定连接，所述安装座与所述支撑横梁连接，所述弹性件连接在所述安装座与所述连接件之间，用于向所述连接件提供向上的弹力。
13.可选地，所述弹性件为弹簧，所述连接件包括第二连接杆和连接在所述第二连接杆顶端的弹簧座块，所述安装座具有底板，且所述底板上形成有形状与所述第二连接杆对应的第二避让孔，所述弹性件套设在所述第二连接杆上且位于所述弹簧座块与所述安装座的所述底板之间，所述第二连接杆的底端通过所述第二避让孔向下穿出并与所述风机固定连接。
14.可选地，所述安装座还包括顶板和连接在所述顶板与所述底板之间的壳体，所述第二弹性机构还包括减震橡胶块、第三连接杆和第三螺母，所述顶板上形成有形状与所述第三连接杆对应的第三避让孔，所述减震橡胶块上形成有形状与所述第三连接杆对应的第四避让孔，所述第三连接杆上具有外螺纹，所述第三连接杆的顶端与所述支撑横梁固定连接，所述第三连接杆的底端依次穿过所述第三避让孔及所述第四避让孔，所述第三螺母套设在所述第三连接杆的底端，以将所述安装座吊装连接在所述支撑横梁上。
15.可选地，所述风冷组件还包括风机吊板，所述风机吊板固定设置在所述风机上，且所述风机吊板具有水平连接部，所述水平连接部上形成有位置与多个所述第二弹性机构一一对应的多个第二安装孔；
16.所述第二弹性机构还包括两个锁紧螺母和两个锁紧螺母垫圈，所述第二连接杆的底端穿过对应的所述第二安装孔，所述第二连接杆上具有外螺纹，所述锁紧螺母和所述锁紧螺母垫圈均套设在所述第二连接杆上，且两个所述锁紧螺母分别位于所述水平连接部的上下两侧，每个所述锁紧螺母与所述水平连接部之间均设置有一个所述锁紧螺母垫圈，两个锁紧螺母能够通过两个所述锁紧螺母垫圈夹紧所述水平连接部，以将所述第二连接杆与所述风机吊板可调节地连接。
17.在本发明提供的风冷组件中，支撑装置包括顶座、底座和弹性支撑模组，底座用于与下方机架固定连接，顶座与风机的底部连接，且弹性支撑模组将顶座与底座撑开的驱动
力随顶座与底座相互靠近而增大，随顶座与底座相互远离而减小，从而能够在风机振动的情况下使顶座与底座相对往返运动，进而在通过机架支撑风机的同时，阻断振动通过支撑装置向机架传导，提高了对风机的减震效果，减少了风机振动对机台造成的危害，进而提高了工艺结果的稳定性，保证了产品良率。
附图说明
18.附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
19.图1是一种半导体工艺设备的结构示意图；
20.图2是一种现有的风冷系统的结构示意图；
21.图3是图2中风冷系统的左示图；
22.图4是图2中风冷系统在一种视角下的立体结构示意图；
23.图5是图4中风冷系统在另一视角下的立体结构示意图；
24.图6是本发明实施例提供的风冷系统的结构示意图；
25.图7是图6中风冷系统的左示图；
26.图8是本发明实施例提供的风冷系统在一种视角下的立体结构示意图；
27.图9是本发明实施例提供的风冷系统在另一视角下的立体结构示意图；
28.图10是本发明实施例提供的传输腔室中第一弹性机构的结构示意图；
29.图11是图7中风冷系统a区域的局部放大示意图。
30.附图标记说明：
31.1：风道
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2：工艺腔室
32.10：风机
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110：转接座
33.120：风机吊板
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121：水平连接部
34.122：竖直连接部
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20：支撑装置
35.21：风机调节板
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22：风机支撑座
36.23：第一防震橡胶座
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200：第一弹性机构
37.210：顶座
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211：顶连接板
38.212：顶连接筒
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220：底座
39.221：底连接板
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222：底连接筒
40.230：上磁性部
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231：上铁芯
41.232：上电磁线圈
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201：第一连接杆
42.202：铁芯主体
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240：下磁性部
43.241：下铁芯
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242：下电磁线圈
44.31：支撑横梁
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32：固定支架
45.33：挂板
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34：第二防震橡胶座
46.300：第二弹性机构
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310：安装座
47.311：底板
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312：顶板
48.313：壳体
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320：连接件
49.321：第二连接杆
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322：弹簧座块
50.323：第二螺母
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330：弹性件
51.341：第三连接杆
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342：减震橡胶块
52.343：第三螺母
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351：锁紧螺母
53.352：锁紧螺母垫圈
具体实施方式
54.以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
55.如图2至图5所示为一种现有的风冷系统的结构示意图，该风冷系统包括风机10、支撑横梁31、风机支撑座22和多个第一防震橡胶座23。由于风机10重量及体积较大，为避免风机10倾倒，通常对风机10的顶部和底部均进行固定。
56.其中，风机10顶部通过支撑横梁31进行固定，如图2至图5所示，风机10的顶部具有挂板33，挂板33通过两个第二防震橡胶座34与支撑横梁31连接，支撑横梁31的两端通过两个固定支架32与半导体工艺设备的机架固定连接；风机10的底部通过四个第一防震橡胶座23与风机支撑座22连接，风机支撑座22与半导体工艺设备的机架固定连接(可选为焊接连接)。即风机10的顶部和底部均通过防震橡胶座与半导体工艺设备的机架间接连接，从而利用防震橡胶座减小传递至机架的振动幅度。然而，防震橡胶座的减震效果并不理想，机架仍会在风机10功率较大时发生振动，并带动半导体工艺设备的工艺腔室振动，影响半导体工艺效果。
57.为解决上述技术问题，作为本发明的一个方面，提供一种风冷组件，应用于半导体工艺设备，如图6至图9所示，风冷组件包括风机10和支撑装置20，风机10用于向半导体工艺设备的工艺腔室提供气体，支撑装置20用于固定设置在半导体工艺设备的机架上，并支撑风机10。支撑装置20包括至少一个第一弹性机构200，如图10所示，第一弹性机构200包括顶座210、底座220和弹性支撑模组，顶座210与风机10的底部连接，底座220用于与半导体工艺设备的机架固定连接，弹性支撑模组用于驱动顶座210与底座220相互远离，且弹性支撑模组施加在顶座210与底座220上的驱动力随顶座210与底座220相互靠近而增大。
58.在本发明提供的风冷组件中，支撑装置20包括顶座210、底座220和弹性支撑模组，底座220用于与下方机架固定连接，顶座210与风机10的底部连接，且弹性支撑模组将顶座210与底座220撑开的驱动力随顶座210与底座220相互靠近而增大，随顶座210与底座220相互远离而减小，从而能够在风机10振动的情况下使顶座210与底座220相对往返运动，进而在通过机架支撑风机10的同时，阻断振动通过支撑装置20向机架传导，提高了对风机10的减震效果，减少了风机10振动对机台造成的危害，进而提高了工艺结果的稳定性，保证了产品良率。
59.在本发明的一些实施例中，该弹性支撑模组可以是弹簧等具有弹性的部件，通过该部件的形变实现顶座210与底座220之间的弹性支撑。为进一步提高对风机10的减震效果，作为本发明的一种优选实施方式，弹性支撑模组通过磁场实现弹性连接效果。
60.具体地，如图10所示，弹性支撑模组包括上磁性部230和下磁性部240，上磁性部230固定设置在顶座210上、下磁性部240固定设置在底座220上，且上磁性部230与下磁性部240能够产生互斥的磁场，以驱动顶座210与底座220相互远离。
61.在本发明实施例中，弹性支撑模组包括固定设置在顶座210上的上磁性部230和固定设置在底座220上的下磁性部240，二者能够产生互斥的磁场，从而产生使顶座210与底座220相互远离的排斥力(即前面所说的驱动力)。基于磁场特性，上磁性部230与下磁性部240越靠近，则二者产生的磁场之间的排斥力越大，即，使顶座210与底座220相互远离的驱动力随顶座210与底座220相互靠近而增大，从而实现顶座210与底座220弹性连接的效果，并且，这种非接触式的电磁弹簧减震效果相较于传统弹簧效果更好，进一步提高了支撑装置20对风机10的减震效果。
62.为提高风冷组件对不同工艺的适应性，作为本发明的一种优选实施方式，如图10所示，上磁性部230包括固定设置在顶座210上的上铁芯231和环绕上铁芯231设置的上电磁线圈232；下磁性部240包括固定设置在底座220上的下铁芯241和环绕下铁芯241设置的下电磁线圈242；上磁性部230能够在上电磁线圈232中通电时产生磁场，下磁性部240能够在下电磁线圈242中通电时产生磁场，上电磁线圈232与下电磁线圈242同轴设置。
63.在本发明实施例中，上磁性部230和下磁性部240均为电磁铁，二者产生的磁场强度与其电磁线圈中的电流大小相关，从而可以通过改变通给电磁线圈电流的大小，来改变上磁性部230与下磁性部240产生的磁场强度，进而改变上磁性部230与下磁性部240之间的电磁斥力，这种效果实现二者等效的电磁弹簧可变刚度的效果。
64.例如，若增大通给电磁线圈电流的大小，则上磁性部230和下磁性部240产生的磁场强度增大，进而增大上磁性部230与下磁性部240之间的电磁斥力，在此情况下同样的上下电磁铁之间距离的变化量对应更大的电磁斥力的变化，反映出来的效果即为电磁弹簧的刚度变大；反之若减小通给电磁线圈电流的大小，则会减小上磁性部230与下磁性部240之间的电磁斥力，同样的上下电磁铁之间距离的变化量对应更小的电磁斥力的变化，反映出来的效果即为电磁弹簧的刚度变小。相较于普通的弹簧减震原理，本发明实施例中两电磁铁等效的电磁弹簧的刚度刚度可变，从而可以灵活适应多种工艺需求。
65.作为本发明的一种优选实施方式，支撑装置20还可以配合控制器实现对减振效果的实时调节，例如，该风冷系统还可以包括控制器和功率检测电路或设置在风机10上的振动传感器，控制器根据检测电路检测到的风机10的实时功率或者振动传感器检测到的风机10的振动幅度、频率等参数确定通向上电磁线圈232以及下电磁线圈242的电流大小，即，使通向电磁线圈的电流随风机10的功率或振动幅度、频率的增大而增大，从而使弹性支撑模组等效的电磁弹簧的刚度实时适应风机10的使用情况。
66.作为本发明的一种优选实施方式，如图10所示，支撑装置20还包括风机调节板21和风机支撑座22，风机调节板21水平设置在风机支撑座22的顶面上方，风机调节板21与风机10连接，风机支撑座22用于与半导体工艺设备的机架固定连接，第一弹性机构200的数量为多个，且多个第一弹性机构200设置在风机调节板21与风机支撑座22之间，顶座210与风机调节板21固定连接，底座220与风机支撑座22固定连接(即，底座220用于通过风机支撑座22与半导体工艺设备的机架固定连接)。
67.在本发明实施例中，支撑装置20还包括风机调节板21和风机支撑座22，多个第一弹性机构200水平设置在风机调节板21与风机支撑座22之间，从而提高了风机10底部的平稳性。
68.可选地，风机调节板21与风机支撑座22之间设置有四个第一弹性机构200，四个第
一弹性机构200呈正方形排布(即相邻第一弹性机构200之间的连线能够组成一正方形图案)。
69.作为本发明的一种优选实施方式，支撑装置20还包括第一螺母，如图10所示，上铁芯231包括相互连接的第一连接杆201和铁芯主体202，第一连接杆201的横截面尺寸小于铁芯主体202的横截面尺寸，顶座210上形成有形状与第一连接杆201对应的第一避让孔，风机调节板21上形成有位置与多个第一弹性机构200一一对应且形状与第一连接杆201对应的多个第一安装孔；第一连接杆201上形成有外螺纹，第一连接杆201的顶端依次穿过第一避让孔以及对应的第一安装孔，第一螺母套设在第一连接杆201上，以将上铁芯231、顶座210和风机调节板21固定连接。
70.在本发明实施例中，上铁芯231包括相互连接的第一连接杆201和铁芯主体202，第一连接杆201的顶端依次穿过顶座210上的第一避让孔以及风机调节板21上的第一安装孔，并与第一螺母连接，从而同时实现将顶座210、上磁性部230与风机调节板21三者固定连接，节约了单独将顶座210与风机调节板21固定连接并单独将上磁性部230与顶座210固定连接所需的紧固件数量，减轻了支撑装置20的整体重量。
71.作为本发明的一种可选实施方式，如图10所示，顶座210包括相互连接(可形成为一体)的顶连接板211和顶连接筒212，底座220包括相互连接(可形成为一体)的底连接板221和底连接筒222，顶连接板211与底连接板221沿高度方向相对设置，顶连接筒212与底连接筒222同轴，且顶连接筒212的外壁与底连接筒222的内壁配合接触，或者，顶连接筒212的内壁与底连接筒222的外壁配合接触(图10中所示为顶连接筒212的外壁与底连接筒222的内壁配合接触的情况)。
72.即，在本发明实施例中，顶座210和底座220朝向对方的一侧均具有筒状结构，在容纳电磁铁结构的同时，两筒状结构相互套设，从而实现运动导向作用，保证顶座210与底座220之前只能沿竖直方向相对升降运动，避免风机调节板21与风机支撑座22之间发生滑动，进而保证风机10水平位置的稳定性。
73.可选地，顶座210和底座220均为金属材质。
74.作为本发明的一种优选实施方式，如图6至图9所示，风冷组件还包括多个第一防震橡胶座23，多个第一防震橡胶座23连接在风机10的底面与风机调节板21的顶面之间。
75.即，本发明实施例中将电磁弹簧与橡胶两种减震结构串联，使二者组成的结构同时具有防震橡胶的高弹性和电磁弹簧的黏弹性两种特性，不仅提高了支撑装置20的轴向防震能力，而且使支撑装置20在横向及回转方向均具有隔离振动的性能；并且，防震橡胶的内部阻尼比金属大，对高频振动的隔离性能好，隔声效果也很好；而电磁弹簧则具有弹性刚度可变，固有频率低，低频隔振性能好等优点，本发明实施例中通过组合两种减震方式形成二级减震，能够有效弥补单一减震方式的不足，进一步提高了对风机的减震效果。
76.可选地，风机10的底面与风机调节板21的顶面之间设置有四个第一防震橡胶座23，四个第一防震橡胶座23呈正方形排布。
77.作为本发明的一种可选实施方式，第一防震橡胶座23还可以替换为防震凝胶座，防震凝胶座的防震体采用聚硅酮材质，与橡胶相比更少出现弹力减弱的现象，对于轻负载、微振动的防震效果更好。
78.由于风机10结构的特殊性，其下部表面通常为曲面，为便于实现对风机10进行调
平，可选地，如图6、图8、图9所示，风机10的侧面底部固定有转接座110，转接座110的底部即为风机10的底部，即，利用转接座110形成风机10的平整底面。
79.本发明的发明人在研究中还发现，在现有的风冷组件中，支撑横梁31还存在振动导致结构不稳定的问题。具体地，为避免风机10倾斜，在安装支撑横梁31时还需对支撑横梁31两侧的固定支架32进行调平，即，每侧的固定支架32与机架之间均可通过一组螺钉螺母结构进行高度调节。然而，由于支撑横梁31与风机10之间仅通过两个第二防震橡胶座34连接，第二防震橡胶座34的隔振效果有限，极容易导致固定支架32与机架之间连接的螺钉等结构在风机10的运行过程中因震动而松动乃至脱落，并进一步导致支撑横梁31不平以及两第二防震橡胶座34的受力不均匀问题，不仅会进一步降低第二防震橡胶座34的减震能力，还会导致第二防震橡胶座34损坏，加剧风机10的振动对机台的影响。
80.为解决该技术问题，作为本发明的一种优选实施方式，如图6、图7、图11所示，风冷组件还包括支撑横梁31和至少一个第二弹性机构300，支撑横梁31用于固定设置在机架上，第二弹性机构300包括安装座310、连接件320和弹性件330，连接件320与风机10固定连接，安装座310与支撑横梁31连接，弹性件330连接在安装座310与连接件320之间，用于向连接件320提供向上的弹力。
81.在本发明实施例中，支撑横梁31通过第二弹性机构300与风机10连接，第二弹性机构300的安装座310和连接件320分别固定在支撑横梁31与风机10上，且二者通过弹性件330相互连接，从而通过弹性件330产生的弹力实现风机10顶部的吊装，弹性件330能够在风机10振动时发生弹性形变，使安装座310和连接件320能够相对往复运动，从而减轻传递至支撑横梁31的振动幅度，提高机台稳定性。
82.作为本发明的一种可选实施方式，如图11所示，连接件320包括第二连接杆321和连接在第二连接杆321顶端的弹簧座块322，安装座310具有底板311，且底板311上形成有形状与第二连接杆321对应的第二避让孔，弹性件330套设在第二连接杆321上且位于弹簧座块322与安装座310的底板311之间，第二连接杆321的底端通过第二避让孔向下穿出并与风机10固定连接。
83.作为本发明的一种优选实施方式，如图11所示，安装座310还包括顶板312和连接在顶板312与底板311之间的壳体313，第二弹性机构300还包括减震橡胶块342、第三连接杆341和第三螺母343，顶板312上形成有形状与第三连接杆341对应的第三避让孔，减震橡胶块342上形成有形状与第三连接杆341对应的第四避让孔，第三连接杆341上具有外螺纹，第三连接杆341的顶端与支撑横梁31固定连接，第三连接杆341的底端依次穿过第三避让孔及第四避让孔，第三螺母343套设在第三连接杆341的底端，以将安装座310吊装连接在支撑横梁31上。
84.在本发明实施例中，固定在支撑横梁31上的第三连接杆341的底端通过减震橡胶块342与安装座310的顶板312接触，从而将吊式弹簧与橡胶两种减震结构串联，使二者组成的结构同时具有防震橡胶的高弹性和电磁弹簧的黏弹性两种特性，不仅提高了第二弹性机构300的轴向防震能力，而且使第二弹性机构300在横向及回转方向均具有隔离振动的性能；
85.并且，防震橡胶的内部阻尼比金属大，对高频振动的隔离性能好，隔声效果也很好；而弹簧的固有频率低，低频隔振性能好，本发明实施例中通过组合两种减震方式形成二
级减震，能够有效弥补单一减震方式的不足，进一步提高了对风机的减震效果。
86.可选地，风冷组件包括两个第二弹性机构300。
87.为便于调节风机10的水平度，作为本发明的一种优选实施方式，如图11所示，风冷组件还包括风机吊板120，风机吊板120固定设置在风机10上，且风机吊板120具有水平连接部121，水平连接部121上形成有位置与多个第二弹性机构300一一对应的多个第二安装孔；
88.第二弹性机构300还包括两个锁紧螺母351和两个锁紧螺母垫圈352，第二连接杆321的底端穿过对应的第二安装孔，第二连接杆321上具有外螺纹，锁紧螺母351和锁紧螺母垫圈352均套设在第二连接杆321上，且两个锁紧螺母351分别位于水平连接部121的上下两侧，每个锁紧螺母351与水平连接部121之间均设置有一个锁紧螺母垫圈352，两个锁紧螺母351能够通过两个锁紧螺母垫圈352夹紧水平连接部121，以将第二连接杆321与风机吊板120可调节地连接。
89.在需要对风机10的水平度进行调节时，可拧松两个第二弹性机构300的第二连接杆321上的锁紧螺母351，并对风机吊板120的水平连接部121的位置进行调节，再将每个第二连接杆321处水平连接部121上下两侧的锁紧螺母351拧紧，即可再次将两第二连接杆321与风机10固定连接。
90.可选地，锁紧螺母351可以为锁紧圆螺母。
91.可选地，如图11所示，风机吊板120还包括竖直连接部122，竖直连接部122的下沿与水平连接部121的边缘固定连接(例如，可以形成为一体)，即，风机吊板120的横截面形状为“l”形，竖直连接部122与风机10顶部的侧面固定连接。
92.可选地，如图11所示，连接件320还包括第二螺母323，第二连接杆321为螺杆，第二螺母323套设在第二连接杆321的顶端，以通过弹性件330向上的弹力以及第二螺母323的限位作用将弹簧座块322固定在第二连接杆321的顶端。
93.可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
技术特征：
1.一种风冷组件，应用于半导体工艺设备，所述风冷组件包括风机和支撑装置，所述风机用于向所述半导体工艺设备的工艺腔室提供气体，所述支撑装置用于固定设置在所述半导体工艺设备的机架上，并支撑所述风机，其特征在于，所述支撑装置包括至少一个第一弹性机构，所述第一弹性机构包括顶座、底座和弹性支撑模组，所述顶座与所述风机的底部连接，所述底座用于与所述半导体工艺设备的机架固定连接，所述弹性支撑模组用于驱动所述顶座与所述底座相互远离，且所述弹性支撑模组施加在所述顶座与所述底座上的驱动力随所述顶座与所述底座相互靠近而增大。2.根据权利要求1所述的风冷组件，其特征在于，所述弹性支撑模组包括上磁性部和下磁性部，所述上磁性部固定设置在所述顶座上、所述下磁性部固定设置在所述底座上，且所述上磁性部与所述下磁性部能够产生互斥的磁场，以驱动所述顶座与所述底座相互远离。3.根据权利要求2所述的风冷组件，其特征在于，所述上磁性部包括固定设置在所述顶座上的上铁芯和环绕所述上铁芯设置的上电磁线圈；所述下磁性部包括固定设置在所述底座上的下铁芯和环绕所述下铁芯设置的下电磁线圈；所述上磁性部能够在所述上电磁线圈中通电时产生磁场，所述下磁性部能够在所述下电磁线圈中通电时产生磁场，所述上电磁线圈与所述下电磁线圈同轴设置。4.根据权利要求3所述的风冷组件，其特征在于，所述支撑装置还包括风机调节板和风机支撑座，所述风机调节板水平设置在所述风机支撑座的顶面上方，所述风机调节板与所述风机连接，所述风机支撑座用于与所述半导体工艺设备的机架固定连接，所述第一弹性机构的数量为多个，且多个所述第一弹性机构设置在所述风机调节板与所述风机支撑座之间，所述顶座与所述风机调节板固定连接，所述底座与所述风机支撑座固定连接。5.根据权利要求4所述的风冷组件，其特征在于，所述支撑装置还包括第一螺母，所述上铁芯包括相互连接的第一连接杆和铁芯主体，所述第一连接杆的横截面尺寸小于所述铁芯主体的横截面尺寸，所述顶座上形成有形状与所述第一连接杆对应的第一避让孔，所述风机调节板上形成有位置与多个所述第一弹性机构一一对应且形状与所述第一连接杆对应的多个第一安装孔；所述第一连接杆上形成有外螺纹，所述第一连接杆的顶端依次穿过所述第一避让孔以及对应的所述第一安装孔，所述第一螺母套设在所述第一连接杆上，以将所述上铁芯、所述顶座和所述风机调节板固定连接。6.根据权利要求5所述的风冷组件，其特征在于，所述支撑装置还包括多个第一防震橡胶座，多个所述第一防震橡胶座连接在所述风机的底面与所述风机调节板的顶面之间。7.根据权利要求1至6中任意一项所述的风冷组件，其特征在于，所述风冷组件还包括支撑横梁和至少一个第二弹性机构，所述支撑横梁用于固定设置在所述机架上，所述第二弹性机构包括安装座、连接件和弹性件，所述连接件与所述风机固定连接，所述安装座与所述支撑横梁连接，所述弹性件连接在所述安装座与所述连接件之间，用于向所述连接件提供向上的弹力。8.根据权利要求7所述的风冷组件，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述连接件包括第二连接杆和连接在所述第二连接杆顶端的弹簧座块，所述安装座具有底板，且所述底板上形成有形状与所述第二连接杆对应的第二避让孔，所述弹性件套设在所述第二连接杆上且位于所述弹簧座块与所述安装座的所述底板之间，所述第二连接杆的底端通过所述第二避让孔向下穿出并与所述风机固定连接。
9.根据权利要求8所述的风冷组件，其特征在于，所述安装座还包括顶板和连接在所述顶板与所述底板之间的壳体，所述第二弹性机构还包括减震橡胶块、第三连接杆和第三螺母，所述顶板上形成有形状与所述第三连接杆对应的第三避让孔，所述减震橡胶块上形成有形状与所述第三连接杆对应的第四避让孔，所述第三连接杆上具有外螺纹，所述第三连接杆的顶端与所述支撑横梁固定连接，所述第三连接杆的底端依次穿过所述第三避让孔及所述第四避让孔，所述第三螺母套设在所述第三连接杆的底端，以将所述安装座吊装连接在所述支撑横梁上。10.根据权利要求8所述的风冷组件，其特征在于，所述风冷组件还包括风机吊板，所述风机吊板固定设置在所述风机上，且所述风机吊板具有水平连接部，所述水平连接部上形成有位置与多个所述第二弹性机构一一对应的多个第二安装孔；所述第二弹性机构还包括两个锁紧螺母和两个锁紧螺母垫圈，所述第二连接杆的底端穿过对应的所述第二安装孔，所述第二连接杆上具有外螺纹，所述锁紧螺母和所述锁紧螺母垫圈均套设在所述第二连接杆上，且两个所述锁紧螺母分别位于所述水平连接部的上下两侧，每个所述锁紧螺母与所述水平连接部之间均设置有一个所述锁紧螺母垫圈，两个锁紧螺母能够通过两个所述锁紧螺母垫圈夹紧所述水平连接部，以将所述第二连接杆与所述风机吊板可调节地连接。
技术总结
本发明提供一种风冷组件，应用于半导体工艺设备，风冷组件包括风机和支撑装置，风机用于向半导体工艺设备的工艺腔室提供气体，支撑装置用于固定设置在半导体工艺设备的机架上，并支撑风机；支撑装置包括至少一个第一弹性机构，第一弹性机构包括顶座、底座和弹性支撑模组，顶座与风机的底部连接，底座用于与半导体工艺设备的机架固定连接，弹性支撑模组用于驱动顶座与底座相互远离，且弹性支撑模组施加在顶座与底座上的驱动力随顶座与底座相互靠近而增大。在本发明中，弹性支撑模组将顶座与底座撑开的驱动力随顶座与底座相互靠近而增大，从而能够阻断振动通过支撑装置向机架传导，提高了对风机的减震效果，减少了风机振动对机台造成的危害。造成的危害。造成的危害。
