镀膜载具的制作方法
1.本技术涉及涂层领域，更具体地，涉及一种镀膜载具。
背景技术：
2.在工业制成领域中，物理气相沉积(pvd)涂层被广泛的应用在模具或工具表面上，可提高基体材料的表面性能，是其适应于工艺环境与提高使用寿命的一种有效途径。随着表面镀膜载具技术的发展，其应用领域更加广泛，目前越来越多的产品需要通过镀膜工艺增加其使用寿命。然而，对于工业产品不同的结构与尺寸，现行的镀膜设备往往需要进一步的修改才能够进行镀膜工艺，这会带来极高的镀膜成本与限制。
3.现有技术中，对于带状的产品(例如，油墨刮刀、带锯条等)的镀膜工艺设置，由于带状的产品对于长度设置需要，多半采用连续炉腔的设置进行镀膜工艺。而连续炉腔的造价昂贵，同时只能够针对单一产品。
4.因此，如何改善目前的镀膜工艺设计，以降低镀膜工艺的制备成本与提高镀膜产品的良率，业内还有很多技术问题需要解决。
技术实现要素：
5.本技术实施例的目的之一在于提供一种镀膜载具，其通过螺旋设置的隔板，能够将带状待镀物固定于隔板的螺旋状结构中，并对带状待镀物暴露的部分进行镀膜工艺。本技术的镀膜载具通过中心杆与载盘的环形设计，能够将待镀物以垂直设置的方式进行镀膜工艺，并与旋转镀膜的镀膜工艺进行匹配。本技术的镀膜载具能够有效提高带状镀膜产品的镀膜效果及产品良率，且造价便宜，能够适用于现有的镀膜设备中。
6.根据本技术的一个方面，本技术部分实施例提供了一种镀膜载具，其包括：载盘，载盘包含第一表面及与第一表面相对的第二表面；中心杆，中心杆设置于载盘的中心，其中中心杆沿垂直于载盘的第一表面的方向延伸穿过载盘；及隔板，隔板设置于载盘的第一表面上，其中隔板沿载盘的中心向外的方向螺旋延伸形成螺旋状结构。
7.在一些实施例中，隔板接近载盘的中心的端部与载盘的中心的距离为25mm至75mm。
8.在一些实施例中，隔板的最小内径大于约50mm。
9.在一些实施例中，隔板的最大外径为载盘外径的95％。
10.在一些实施例中，隔板的螺旋状结构的层间距为1μm至15μm。
11.在一些实施例中，隔板的螺旋状结构的圈数为10圈至500圈。。
12.在一些实施例中，隔板的宽度为2μm至15μm。
13.在一些实施例中，镀膜载具进一步包括固定杆，其中固定杆设置于载盘的第二表面上。
14.在一些实施例中，固定杆经设置以将载盘垂直固定。
15.在一些实施例中，镀膜载具进一步包括固定件，其中固定件经设置以将待镀物与
隔板固定。
16.在一些实施例中，隔板每隔5cm至20cm的距离设置固定件。
17.在一些实施例中，固定件包含夹扣、固定环中的一种或多种。
18.在一些实施例中，隔板进一步包括翼状部件，翼状部件设置于隔板的端部。
19.在一些实施例中，翼状部件还包含接合件，接合件经设置以将隔板的所述端部与载盘结合。
20.在一些实施例中，接合件包含螺栓、铆钉或焊料中的一种或多种。
21.本技术实施例提供的额外层面及优点将部分地在后续说明中描述、显示、或是经由本技术实施例的实施而阐释。
附图说明
22.在下文中将简要地说明为了描述本技术实施例或现有技术所必要的附图以便于描述本技术的实施例。显而易见地，下文描述中的附图仅只是本技术中的部分实施例。对本领域技术人员而言，在不需要创造性劳动的前提下，依然可以根据这些附图中所例示的结构来获得其他实施例的附图。
23.图1为根据本技术一些实施例的镀膜载具的纵向正面结构示意图。
24.图2为根据本技术一些实施例的镀膜载具的纵向侧面结构示意图。
25.图3为根据本技术一些实施例的镀膜载具的侧向结构示意图。
具体实施方式
26.本技术的实施例将会被详细的描示在下文中。本技术的实施例不应该被解释为对本技术的限制。
27.除非另外明确指明，本文使用的下述术语具有下文指出的含义。
28.如本文中所使用，术语“大致”、“大体上”、“实质”及“约”用以描述及说明小的变化。当与事件或情形结合使用时，所述术语可指代其中事件或情形精确发生的例子以及其中事件或情形极近似地发生的例子。举例来说，当结合数值使用时，术语可指代小于或等于所述数值的
±
10％的变化范围，例如小于或等于
±
5％、小于或等于
±
4％、小于或等于
±
3％、小于或等于
±
2％、小于或等于
±
1％、小于或等于
±
0.5％、小于或等于
±
0.1％、或小于或等于
±
0.05％。举例来说，如果两个数值之间的差值小于或等于所述值的平均值的
±
10％(例如小于或等于
±
5％、小于或等于
±
4％、小于或等于
±
3％、小于或等于
±
2％、小于或等于
±
1％、小于或等于
±
0.5％、小于或等于
±
0.1％、或小于或等于
±
0.05％)，那么可认为所述两个数值“大体上”相同。
29.在具体实施方式及权利要求书中，由术语“中的至少一者”、“中的至少一个”、“中的一种或多种”、“中的一者或多者”或其他相似术语所连接的项目的列表可意味着所列项目的任何组合。例如，如果列出项目a及b，那么短语“a及b中的一者或多者”意味着仅a；仅b；或a及b。在另一实例中，如果列出项目a、b及c，那么短语“a、b及c中的一者或多者”意味着仅a；或仅b；仅c；a及b(排除c)；a及c(排除b)；b及c(排除a)；或a、b及c的全部。项目a可包含单个元件或多个元件。项目b可包含单个元件或多个元件。项目c可包含单个元件或多个元件。
30.再者，为便于描述，“第一”、“第二”、“第三”等等可在本文中用于区分一个图或一
系列图的不同组件。除非经特别指定或限定之外，“第一”、“第二”、“第三”等等不意欲描述对应组件。
31.在工业制成领域中，涂层(coating)工艺被广泛的应用于各个物件或工具件的表面上，以对其表面性质进行改善，其包括，耐磨性、耐热性、耐腐蚀性等等。然而，随着涂层应用的范围逐渐的扩大，对于具有不同尺寸或形状的产品的镀膜需求也随之提高。然而，现行的带状镀膜产品的镀膜工艺一般是通过特制的连续镀膜炉腔进行，这类连续镀膜炉腔的造价昂贵，同时无法对不同尺寸的产品进行镀膜工艺，这导致了带状镀膜产品高昂的开发与制备成本。
32.鉴于上述问题，根据本技术的一个方面，本技术部分实施例提供了一种镀膜载具，其通过螺旋设置的隔板，能够将带状待镀物固定于隔板的螺旋状结构中，进而对带状待镀物暴露的部分进行镀膜工艺。本技术实施例提供的镀膜载具能够适用于现有的镀膜设备中，并可根据带状产品的尺寸进行简易的调整，其制备成本低。同时，本技术实施例提供的镀膜载具能够有效提升现行带状镀膜产品的良率。
33.图1为根据本技术一些实施例的镀膜载具的纵向正面结构示意图。
34.如图1所示，根据本技术一些实施例的一种镀膜载具10，其包括：载盘101、中心杆102及隔板103。
35.载盘101包含第一表面及与第一表面相对的第二表面，第一表面与第二表面可以是大体上平坦的表面。在一些实施例中，第一表面与第二表面大体上平行。载盘101在不违背本技术的精神下，可以是本领域中任何合适的导电材料，而不受其限制。在一些实施例中，载盘101为铁、钢材或不锈钢材中的一种或多种，以提供一定的结构强度。载盘101的尺寸可以根据镀膜设备的炉径进行调整，而不受其限制。载盘101的形状可以根据实际需要进行调整，而不受其限制。在一些实施例中，载盘101的形状包含圆形、正方形或长方形。在一些实施例中，载盘101中存在空洞结构以降低载盘101的重量。
36.中心杆102设置于载盘101的中心，并垂直于载盘的表面。中心杆102与载盘101的接合可以是机械接合或粘结剂结合，而不受其限制。在一些实施例中，中心杆102沿垂直于载盘101的第一表面的方向延伸。在一些实施例中，中心杆102能够与镀膜炉中的制动器匹配，使镀膜载具10沿载盘101的中心轴旋转，进而对固定在载盘101上的待镀物104以旋转方式进行镀膜工艺。中心杆102在不违背本技术的精神下，可以是本领域中任何合适的材料，而不受其限制。在一些实施例中，中心杆102的直径小于50mm。在一些实施例中，中心杆102的直径为10mm至50mm。
37.隔板103设置于载盘的第一表面上，隔板103沿载盘101的中心向外的方向螺旋延伸形成螺旋状结构，其中螺旋状结构的内圈与外圈之间形成的间隙能够用于固定待镀物104。本领域技术人员可以根据实际的镀膜范围需要及待镀物的尺寸，调整隔板103的长度与高度，而不受其限制。
38.在一些实施例中，隔板103接近载盘的中心的端部与载盘的中心的距离为25mm至75mm。在一些实施例中，隔板103接近载盘的中心的端部与载盘的中心的距离为25mm至50mm。在一些实施例中，隔板的最小内径大于约50mm。在一些实施例中，隔板的最小内径大于约70mm。隔板103的设置能够确保待镀物104的带状结构不会过度弯曲，并且对镀膜工艺提供一个更为平整的镀膜表面，以优化镀膜效果。在一些实施例中，隔板的最大外径为载盘
外径的95％。在一些实施例中，隔板的最大外径为载盘外径的60％至95％。通过限制隔板的最大外径与载盘外径的比例，能够提高镀膜载具运作时的稳定性。
39.在一些实施例中，隔板103的螺旋状结构的任一圈与相邻圈之间层间距小于50μm。在一些实施例中，隔板103的螺旋状结构的任一圈与相邻圈之间层间距为1μm至15μm。在一些实施例中，隔板103的螺旋状结构的层间距为2μm至5μm。隔板103的螺旋状结构的层间距在该范围内能够有效固定待镀物104，同时能够提高对待镀物104的覆盖效果，使待镀物104中的不需要镀层的区域能够有效与需要镀层的区域进行区隔，提高镀层后的产品效果。在一些实施例中，隔板103的宽度为2μm至15μm。在一些实施例中，隔板103的宽度为3μm至5μm，以提供足够的结构强度。
40.在一些实施例中，隔板103的螺旋状结构的最内圈与最外圈之间的间距大于约5mm。在一些实施例中，隔板103的螺旋状结构的最内圈与最外圈之间的间距为约10mm至约400mm)在一些实施例中，隔板103的螺旋状结构的最内圈与最外圈之间的间距为20mm至150mm。通过限制隔板103的螺旋状结构的最内圈与最外圈之间的间距，能够保证镀膜工艺实施位置的集中，进而优化在该范围中沉积材料的均匀性。
41.在一些实施例中，隔板103的螺旋状结构的圈数为10圈至500圈。
42.图2为根据本技术一些实施例的镀膜载具的纵向侧面示意图。
43.如图2所示，在一些实施例中，待镀物104沿垂直于载盘101的第一表面的方向上的高度高于隔板103的高度，以对待镀物104相较于隔板103突出的部分进行镀膜工艺。隔板103在不违背本技术的精神下，可以是本领域中任何合适的材料，而不受其限制。
44.在一些实施例中，中心杆102沿垂直于载盘101的表面方向贯穿载盘101。在一些实施例中，中心杆102能够支撑镀膜载具10，使镀膜载具10以直立的形式，将待镀物104置入反应炉中，该设置能够有效降低镀膜材料沉积在隔板103与待镀物104之间的间隙中，避免多余的镀膜材料的堆积。
45.在一些实施例中，镀膜载具进一步包括固定杆(未在附图中显示)，其中固定杆设置于载盘的第二表面上，以提供对镀膜载具的支撑，使其能够以直立的方式进行待镀物104的装载或卸载。在一些实施例中，固定杆经设置以将载盘垂直固定。
46.在一些实施例中，待镀物104能够有效的固定在隔板103的螺旋状结构中，而不需要其他固定部件。
47.图3为根据本技术一些实施例的镀膜载具的侧向示意图。
48.如图3所示，在一些实施例中，隔板103进一步包括翼状部件105，翼状部件105设置于隔板103的端部，以进一步固定隔板103中设置的待镀物104。在一些实施例中，翼状部件105为t字型结构。
49.在一些实施例中，翼状部件105还包含接合件(未在附图中显示)，接合件经设置以将隔板103的所述端部与载盘结合。在一些实施例中，接合件包含螺栓、铆钉或焊料中的一种或多种。接合件可以采用本领域中任何其他合适的接合方法而不受其限制。在本技术的一些实施例中，翼状部件105与载盘101的结合方式包括，但不限于，螺栓、铆钉、热压合、黏结、焊接或其组合。
50.在一些实施例中，镀膜载具10进一步包括固定件106，其中固定件106经设置以进一步将待镀物104与隔板103固定。在一些实施例中，沿隔板103每隔5cm至20cm的距离设置
固定件。在一些实施例中，沿隔板103每隔7cm至10cm的距离设置固定件，以提高待镀物104的固定程度。固定件106可以是本领域中任何合适的固定部件，而不受其限制。在一些实施例中，将待镀物104及固定件结合的固定件包含，但不限于，夹扣、固定环中的一种或多种。
51.整个说明书中对“实施例、“部分实施例”、“一个实施例”、“另一举例”、“举例”、“具体举例”或“部分举例”的引用，其所代表的意思是在本技术中的至少一个实施例或举例包含了该实施例或举例中所描述的特定特征、结构、材料或特性。因此，在整个说明书中的各处所出现的描述，例如：“在一些实施例中”、“在实施例中”、“在一个实施例中”、“在另一个举例中”，“在一个举例中”、“在特定举例中”或“举例”，其不必然是引用本技术中的相同的实施例或示例。此外，本文中的特定特征、结构、材料或特性可以以任何合适的方式在一个或多个实施例或举例中结合。
52.尽管已经演示和描述了说明性实施例，本领域技术人员应该理解上述实施例不能被解释为对本技术的限制，并且可以在不脱离本技术的精神、原理及范围的情况下对实施例进行改变，替代和修改。
技术特征：
1.一种镀膜载具，其特征在于，所述镀膜载具包括：载盘，所述载盘包含第一表面及与所述第一表面相对的第二表面；中心杆，所述中心杆设置于所述载盘的中心，其中所述中心杆沿垂直于所述载盘的第一表面的方向延伸穿过所述载盘；隔板，所述隔板设置于所述载盘的所述第一表面上，其中所述隔板沿所述载盘的所述中心向外的方向螺旋延伸形成螺旋状结构。2.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述隔板接近所述载盘的所述中心的端部与所述载盘的所述中心的距离为25mm至75mm。3.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述隔板的所述螺旋状结构的层间距为1μm至15μm，且所述隔板的宽度为2μm至15μm。4.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述隔板的所述螺旋状结构的圈数为10圈至500圈。5.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述隔板的最小内径大于约50mm，且所述隔板的最大外径为所述载盘外径的95％。6.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述镀膜载具进一步包括固定杆，其中所述固定杆设置于所述载盘的所述第二表面上。7.根据权利要求6所述的镀膜载具，其特征在于，所述固定杆经设置以将所述载盘垂直固定。8.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述镀膜载具进一步包括固定件，其中所述固定件经设置以将待镀物与所述隔板固定。9.根据权利要求8所述的镀膜载具，其特征在于，沿所述隔板每隔5cm至20cm的距离设置所述固定件。10.根据权利要求8所述的镀膜载具，其特征在于，所述固定件包含夹扣、固定环中的一种或多种。11.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述隔板进一步包括翼状部件，所述翼状部件设置于所述隔板的端部。12.根据权利要求11所述的镀膜载具，其特征在于，所述翼状部件还包含接合件，所述接合件经设置以将所述隔板的所述端部与所述载盘结合。13.根据权利要求12所述的镀膜载具，其特征在于，所述接合件包含螺栓、铆钉或焊料中的一种或多种。
技术总结
本申请涉及一种镀膜载具。本申请实施例提供了一种镀膜载具包括：载盘，所述载盘包含第一表面及与所述第一表面相对的第二表面；中心杆，所述中心杆设置于所述载盘的中心，其中所述中心杆沿垂直于所述载盘的第一表面的方向延伸穿过所述载盘；及隔板，所述隔板设置于所述载盘的所述第一表面上，其中所述隔板沿所述载盘的所述中心向外的方向螺旋延伸形成螺旋状结构。本申请提供的镀膜载具能够用于带状产品的镀膜工艺，并能够应用于现有的镀膜工艺设备进行生产，有效产品的镀膜效率及效果，且载具成本造价便宜。具成本造价便宜。具成本造价便宜。
