1.设计任务………………………………………………………2
1.1设计指标…………………………………………………2
1.2设计内容 分数乘法的意义…………………………………………………2
2.设计方案及步骤……………………………………………3
3.MOS管的器件特性模拟与优化(ISE)………………3
3.1设计流程……………………………………………………3
3.2Dessis模块建立……………………………………………13
3.3程序运行关于地球的资料…………………………………………………17
3.4查看输出特性曲线和转移特性曲线……………………六年级求比值的过程19
4.n阱CMOS芯片制作的工艺实施方案…………………20
5.总结……………………………………………………………26
6.参考文献……………………………………………………28
1.
过新年作文500字设计任务
1.1设计指标
1.1.1特性指标要求: n沟多晶硅栅MOSFET:阈值电压VTn=0.5V, 漏极饱和电流IDsat≥1mA, 漏源饱和电压VDsat≤3V,漏源击穿电压BVDS=35V, 栅源击穿电压BVGS≥20V, 跨导gm≥2mS, 截止频率fmax≥3GHz(迁移率µn取600cm2/V·s);p沟多晶硅栅MOSFET:阈值电压VTp=地产推广 -1V, 漏极饱和电流IDsat≥1mA, 漏源饱和电压VDsat≤312存单法V,漏源击穿电压BVDS=35V, 栅源击穿电压BVGS≥20V, 跨导gm≥0.5mS, 截止频率fmax≥1GHz(迁移率µp取220cm2/V·s)
1.1.2结构参数参考值:
p型硅衬底的电阻率为30 cmsuv汽车推荐;
n阱CMOS芯片的n阱掺杂后的方块电阻为1500 / ,结深为5~6 m;
pMOS管的源、漏区掺杂后的表面浓度1 1020cm-3,结深为0.3~0.5 m;
nMOS管的源、漏区掺杂后的表面浓度1 1020cm-3,结深为0.3~0.5 m;
场氧化层厚度为1 m;垫氧化层厚度约为600 Å;栅氧化层厚度为400 Å;
氮化硅膜厚约为1000 Å;多晶硅栅厚度为4000 ~5000 Å。
1.2设计内容:
1. MOS管的器件特性模拟与优化(用ISE软件)
2. 结构参数验证
3. n阱CMOS芯片制作的工艺实施方案(包括工艺流程、方法、条件、结果)
2.设计方案及步骤
1. 根据参数要求计算得到理想化nMOS和pMOS的沟道W/L和衬底掺杂,设定初始的结构参数。
2. 运用MDraw模块画出nMOS相应图形。
3. 编写转移特性和输入输出的Dessis程序。
4. 运行MDraw和转移特性Dessis,先得到nMOS的转移特性Id-Vg曲线,确定出阈值电压。
5. 调整衬底掺杂和二氧化硅层厚度及沟道长度,使阈值电压和跨导达到所给参数要求。
6. 运行MDraw和输入输出Dessis程序,得到nMOS的Id-Vd输入输出特性曲线。
7. 在画出不同Vg下的Id-Vd输入输出曲线。
8. 按照上述步骤完成pMOS管的器件模拟及优化。
3.MOS管的器件特性模拟与优化(ISE)
关于ISE软件
工艺及器件仿真工具ISE-TCAD是瑞士ISE公司开发的软件,是一种建立在物理基础上的数值仿真工具,它既可以进行工艺流程的仿真、器件的描述,也可以进行器件仿真、电路性能仿真及电缺陷仿真等。
TCAD软件包是由多个模块组成的,主要是工艺仿真工具DIOS、器件生成工具MDRAW、器件仿真工具DESSIS。这些模块都可以在GENESISe平台中打开和运行。
汽车维修与保养3.1设计流程
nMOS和pMOS器件设计流程包括利用工艺仿真工具DIOS创建器件结构,然后使用器件生成工具MDRAW进行器件网格和掺杂的优化,最后使用器件仿真工具DESSIS进行器件特性仿真。
3.1.1在ISE中建立一个新的项目
首先进入ISE TCAD运行的Linux操作环境,进入操作界面按照Project →New → New Project顺序进行创建新目录。
在工作主界面的Family Tree目录下的No Tools边框上面,右键Add →Add Tool →Tools →MDraw →OK,在Create Default Experime边框选定OK ,