一种外延炉调节气流用省力扳手的制作方法
1.本实用新型涉及半导体加工工艺技术领域，特别是涉及一种外延炉调节气流用省力扳手。
背景技术：
2.常规的外延炉上的气流调节孔上通过引脚螺帽螺钉进行密封，引脚螺帽螺钉在开启和关闭时，通常选择借助老虎钳将引脚螺帽螺钉从气流调节孔拔出或塞入，从而实现调节气流的作用，而该方法会造成外延炉气流调节螺钉损坏、操作费时费力、可能造成气流调节不到位或过度调节等异常，为了解决上述问题，需要设计一种辅助结构来实现气流调节孔的闭合和开启。
技术实现要素：
3.本实用新型所要解决的技术问题是提供一种外延炉调节气流用省力扳手，具有结构简单、安装难度低、操作简便、使用寿命长等特点。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种外延炉调节气流用省力扳手，包括引脚固定把手、引脚支架和引脚移动把手，所述的引脚固定把手下侧竖直安装有引脚支架，所述的引脚固定把手的一端上转动安装有引脚移动把手，所述的引脚移动把手的一端朝引脚支架上部延伸，并插入到引脚支架内，所述的引脚支架内部设置有贯穿两侧的中空部，中空部内安装有引脚固定头，所述的引脚固定头上端与引脚移动把手的插入端转动相连，所述的引脚固定头的下端安装有引脚安装部，所述的引脚安装部上安装有引脚结构。
5.本技术方案中通过设置引脚固定把手用来将本装置与外延炉进行对接，使得引脚支架能够对气流调节孔进行对齐，同时通过设置引脚移动把手，方便用户操作，通过引脚移动把手的杠杆原理来方便引脚固定头下的引脚结构能够从气流调节孔内快速插入或拔出，方便操作的同时，确保密封插销不会受到额外外力而形变，确保装置的使用寿命。
6.作为对本技术方案的一种补充，所述的引脚结构下端伸出引脚安装部，上端设置有直径大于本身的对接帽。
7.本技术方案中引脚结构类似螺栓和螺钉的结构，其上端采用对接帽的结构，并匹配安装在引脚安装部内，使得装置进行插拔动作时，主要受力点可以在对接帽上，同时引脚结构的杆身处于竖直状，方便插入到气流调节孔内进行密封。
8.作为对本技术方案的一种补充，所述的引脚固定头上端设置有连接凸出，连接凸出和引脚移动把手的端部之间通过转轴连接。
9.本技术方案中通过设置连接凸出，方便引脚固定头与引脚移动把手对接，同时通过转轴连接，方便引脚移动把手控制引脚固定头进行下压动作。
10.作为对本技术方案的一种补充，所述的引脚移动把手与引脚固定把手对接点与插入引脚支架的端末之间的长度占引脚移动把手总长的三分之一。
11.本技术方案中通过控制引脚移动把手与引脚固定把手对接点与插入引脚支架的端末之间的长度，能够优化整个装置，使得装置操作时更加省力，确保插入的力量和拔出的力量既不会太大也不会太小，确保动作流畅，保证装置使用稳定。
12.有益效果：本实用新型涉及一种外延炉调节气流用省力扳手，通过设置引脚固定把手用来将本装置与外延炉进行对接，使得引脚支架能够对气流调节孔进行对齐，同时通过设置引脚移动把手，方便用户操作，通过引脚移动把手的杠杆原理来方便引脚固定头下的引脚结构能够从气流调节孔内快速插入或拔出，方便操作的同时，确保密封插销不会受到额外外力而形变，确保装置的使用寿命，具有结构简单、安装难度低、操作简便、使用寿命长等特点。
附图说明
13.图1是本实用新型的主视图；
14.图2是本实用新型的左视图。
15.图示：1、引脚固定头，2、引脚支架，3、引脚移动把手，4、引脚固定把手，5、引脚安装部。
具体实施方式
16.下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本技术所附权利要求书所限定的范围。
17.本实用新型的实施方式涉及一种外延炉调节气流用省力扳手，如图1—2所示，包括引脚固定把手4、引脚支架2和引脚移动把手3，所述的引脚固定把手4下侧竖直安装有引脚支架2，所述的引脚固定把手4的一端上转动安装有引脚移动把手3，所述的引脚移动把手3的一端朝引脚支架2上部延伸，并插入到引脚支架2内，所述的引脚支架2内部设置有贯穿两侧的中空部，中空部内安装有引脚固定头1，所述的引脚固定头1上端与引脚移动把手3的插入端转动相连，所述的引脚固定头1的下端安装有引脚安装部5，所述的引脚安装部5上安装有引脚结构。
18.本技术方案中通过设置引脚固定把手4用来将本装置与外延炉进行对接，使得引脚支架2能够对气流调节孔进行对齐，同时通过设置引脚移动把手3，方便用户操作，通过引脚移动把手3的杠杆原理来方便引脚固定头1下的引脚结构能够从气流调节孔内快速插入或拔出，方便操作的同时，确保密封插销不会受到额外外力而形变，确保装置的使用寿命。
19.作为对本技术方案的一种补充，所述的引脚结构下端伸出引脚安装部5，上端设置有直径大于本身的对接帽。
20.本技术方案中引脚结构类似螺栓和螺钉的结构，其上端采用对接帽的结构，并匹配安装在引脚安装部5内，使得装置进行插拔动作时，主要受力点可以在对接帽上，同时引脚结构的杆身处于竖直状，方便插入到气流调节孔内进行密封。
21.作为对本技术方案的一种补充，所述的引脚固定头1上端设置有连接凸出，连接凸出和引脚移动把手3的端部之间通过转轴连接。
22.本技术方案中通过设置连接凸出，方便引脚固定头1与引脚移动把手3对接，同时通过转轴连接，方便引脚移动把手3控制引脚固定头1进行下压动作。
23.作为对本技术方案的一种补充，所述的引脚移动把手3与引脚固定把手4对接点与插入引脚支架2的端末之间的长度占引脚移动把手3总长的三分之一。
24.本技术方案中通过控制引脚移动把手3与引脚固定把手4对接点与插入引脚支架2的端末之间的长度，能够优化整个装置，使得装置操作时更加省力，确保插入的力量和拔出的力量既不会太大也不会太小，确保动作流畅，保证装置使用稳定。
25.实施例
26.为了确保引脚结构能够实现对气流调节孔的密封，气流调节孔得的侧壁上设置有能够形变的橡胶圈，引脚结构插入时，橡胶圈形变，两者形成过盈配合，形成密封。
27.设计引脚固定头1，使设备调节气流用引脚结构刚好卡进该引脚固定头1内并固定锁紧，避免拔起和压入过程中因局部受力损坏引脚结构；
28.设计具有引脚固定头1行程10mm的保护距离，使引脚固定头1拔起和压入的距离在固定行程范围内，确保完全拔起或完全压入，防止行程过剩损害引脚结构，防止行程不足造成气流调节不可靠或不准确。
29.设计合适的引脚支架2，方便移动和固定在气流调节孔的周围，实现气流调节时快速固定引脚结构，做到省时省力。
30.脚架两侧设计引脚固定把手4和引脚移动把手3，利用杠杆原理确保省力，调节动作方便快捷高效。
31.需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
32.除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
33.在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
34.为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特
征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述做出相应解释。
35.此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。
36.以上对本技术所提供的一种外延炉调节气流用省力扳手，进行了详细介绍，本文中应用了具体例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。
技术特征：
1.一种外延炉调节气流用省力扳手，其特征在于：包括引脚固定把手(4)、引脚支架(2)和引脚移动把手(3)，所述的引脚固定把手(4)下侧竖直安装有引脚支架(2)，所述的引脚固定把手(4)的一端上转动安装有引脚移动把手(3)，所述的引脚移动把手(3)的一端朝引脚支架(2)上部延伸，并插入到引脚支架(2)内，所述的引脚支架(2)内部设置有贯穿两侧的中空部，中空部内安装有引脚固定头(1)，所述的引脚固定头(1)上端与引脚移动把手(3)的插入端转动相连，所述的引脚固定头(1)的下端安装有引脚安装部(5)，所述的引脚安装部(5)上安装有引脚结构。2.根据权利要求1所述的一种外延炉调节气流用省力扳手，其特征在于：所述的引脚结构下端伸出引脚安装部(5)，上端设置有直径大于本身的对接帽。3.根据权利要求1所述的一种外延炉调节气流用省力扳手，其特征在于：所述的引脚固定头(1)上端设置有连接凸出，连接凸出和引脚移动把手(3)的端部之间通过转轴连接。4.根据权利要求1所述的一种外延炉调节气流用省力扳手，其特征在于：所述的引脚移动把手(3)与引脚固定把手(4)对接点与插入引脚支架(2)的端末之间的长度占引脚移动把手(3)总长的三分之一。
技术总结
本实用新型涉及一种外延炉调节气流用省力扳手，包括引脚固定把手、引脚支架和引脚移动把手，所述的引脚固定把手下侧竖直安装有引脚支架，所述的引脚固定把手的一端上转动安装有引脚移动把手，所述的引脚移动把手的一端朝引脚支架上部延伸，并插入到引脚支架内，所述的引脚支架内部设置有贯穿两侧的中空部，中空部内安装有引脚固定头，所述的引脚固定头上端与引脚移动把手的插入端转动相连，所述的引脚固定头的下端安装有引脚安装部，所述的引脚安装部上安装有引脚结构。本实用新型具有结构简单、安装难度低、操作简便、使用寿命长等特点。使用寿命长等特点。使用寿命长等特点。
